Comparison of electrochemical characteristics of thin-film batteries with a composite anode Si@O@Al and lithium metal formed by in situ method

Cover Page

Cite item

Full Text

Abstract

This study compares the electrochemical characteristics of solid-state thin-film lithium-ion batteries with two different structures: Ti/Anode/LiPON/LiCoO2/Ti (with an anode) and Ti/LiPON/LiCoO2/Ti (anode-free). Si@O@Al composite anode with thicknesses of 154 and 15 nm, as well as pre-lithiated LixSi@O@Al composite with a thickness of 192 nm, were used as anodes. In anode-free batteries, the lithium anode was formed by the in situ method. Batteries with 154 nm Si@O@Al and LixSi@O@Al anodes have good cyclability due to their moderate volume change during lithium-ion insertion/extraction and reliable adhesion to the LiPON solid electrolyte. These batteries are promising in terms of high energy density due to the lithium anode formation in situ, although they have poor cycling performance due to peeling off the upper current collector. The introducing of a Si@O@Al thin film with a thickness of ~15 nm between the LiPON and the current collector allows maintaining the high energy density that is inherent in batteries with lithium anodes, while also improving their cyclability.

Full Text

ВВЕДЕНИЕ

Тонкопленочные твердотельные литий-ионные аккумуляторы (ТТЛИА) [1, 2] являются перспективными источниками питания для автономных миниатюрных устройств, включая микроэлектромеханические системы (МЭМС), медицинские имплантаты, активные метки радиочастотной идентификации (RFID-метки) и системы на кристалле (System-on-Chip). По принципу действия ТТЛИА схожи с традиционными литий-ионными аккумуляторами с жидким электролитом (ЛИА), однако они полностью исключают возможность прорастания дендритов лития, что принципиально повышает их пожаробезопасность и надежность. Кроме того, переход к полностью твердотельной конструкции позволяет сделать аккумуляторы гибкими и уменьшить их геометрические размеры до нескольких квадратных миллиметров, а c помощью литографических методов – вплоть до 0.5 × 0.5 мм2 [3]. Однако до широкого внедрения ТТЛИА необходимо решить ряд задач [4–6], включая разработку твердого электролита с высокой ионной проводимостью (σLi+>10-3 См/см), что на три порядка больше, чем у твердого электролита LiPON (σLi+ ~3 × 10–6 См/см) [7], а также повышение удельной энергии аккумулятора.

Удельная энергия (Wdis) может быть увеличена двумя способами – за счет повышения емкости электродов и/или разрядного напряжения. Это следует напрямую из расчетной формулы:

Wdis=QdisU¯dis, (1)

где Qdis – удельная разрядная емкость, которая обычно рассчитывается на 1 см2 активной площади ТТЛИА и 1 мкм толщины катодного слоя, U¯dis – среднее разрядное напряжение аккумулятора, которое находят путем интегрирования разрядной кривой Udis(t):

U¯dis=1τ0τUdis(t)dt. (2)

Первый способ увеличения удельной энергии представляется затруднительным в случае ТТЛИА. Это связано как с фундаментальными причинами ограниченности удельной емкости положительного электрода, так и с технологическими трудностями получения тонких пленок с необходимой кристаллической структурой. Показательным примером является катодный материал V2O5 c теоретической удельной емкостью 883 мА ч/г. На практике теоретическая емкость тонкопленочного катода V2O5 оказалась труднодостижимой ввиду наличия в материале множества дополнительных оксидных фаз, обладающих более низкой удельной емкостью [8]. Поэтому, целесообразно сконцентрироваться на увеличении удельной энергии ТТЛИА за счет повышения разрядного напряжения.

Электрохимическая стабильность твердых электролитов позволяет, с одной стороны, использовать катоды с напряжением ~5 В (относительно Li0/Li+), например, LiCoPO4, LiNiVO4 или Li2CoPO4F [9], а с другой стороны, металлический литий, имеющий самый низкий стандартный потенциал (–3.040 В относительно стандартного водородного потенциала). Однако литий чрезвычайно активный металл, который реагирует с H2O, O2, N2 и CO2 из атмосферы, поэтому для таких аккумуляторов требуется надежная герметизация. Кроме того, при большой теоретической емкости лития 3828 мА ч/г, его практическая емкость составляет всего лишь 380–800 мА ч/г. Причина кроется в инкапсуляции лития, т.е. образовании при заряде вокруг кристаллитов лития пассивирующей пленки. Кроме того, аккумуляторы с металлическим литием небезопасны при эксплуатации. Дополнительной проблемой анода из металлического лития в твердотельных аккумуляторах является образование пустот на границе с твердым электролитом, что приводит к сокращению активной площади аккумулятора [10].

Применение альтернативных анодных материалов в ТТЛИА, таких как кремний и композиты на его основе, ведет к снижению среднего разрядного напряжения аккумулятора и, следовательно, к уменьшению удельной энергии. Тем не менее, их использование может быть оправдано при условии более высокой циклируемости по сравнению с литиевыми аккумуляторами. Применение чистого кремния в ТТЛИА возможно только при определенных условиях [11, 12], включая малую толщину анода (<80 нм) и ограниченное потенциальное окно. В этом случае ТТЛИА с кремниевым анодом может пройти до 1500 циклов заряда-разряда с незначительной потерей емкости. Более широкие возможности предоставляют композитные материалы, например Si@O@Al [13], который в составе ТТЛИА выдерживает до тысячи циклов заряд-разряд [14]. Немаловажным условием высокой циклируемости безлитиевых ТТЛИА является кулоновская эффективность. Если в аккумуляторе изначально не предусмотрен избыток Li, то для обеспечения долгосрочной службы (более 5000 циклов) кулоновская эффективность должна составлять не менее 99.9%.

Один из способов решения указанных проблем, при сохранении высокой удельной емкости ТТЛИА, состоит в использовании так называемых “безанодных” аккумуляторов (“anode-free batteries”), в которых активный материал отрицательного электрода (металлический литий), формируется in situ [15–20]. Суть способа в том, что ТТЛИА исходно изготавливается без анодного слоя, т.е. на твердый электролит сразу наносится металлический токоотвод. В процессе заряда ионы лития экстрагируются из положительного электрода и, восстанавливаясь, осаждаются в виде слоя металла на границе раздела между твердым электролитом и токоотводом. В процессе разряда литий возвращается обратно в положительный электрод.

Ниже приведено описание результатов испытания “безанодного” ТТЛИА и сопоставление его разрядных характеристик с характеристиками аккумуляторов с композитным анодом Si@O@Al. “Безанодный” ТТЛИА сравнивается с аккумуляторами трех типов, имеющих одинаковую структуру Ti/Анод/LiPON/LiCoO2/Ti, но отличающихся толщиной анода и содержанием лития в анодном материале. В качестве анода выступают слои Si@O@Al толщиной 154 и 15 нм, а также LixSi@O@Al толщиной 192 нм. Такой подход позволяет исследовать зависимость удельной емкости, удельной энергии, разрядного напряжения и темпа деградации ТТЛИА от природы анода, его толщины и степени его предварительного литирования.

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

Нанесение слоев ТТЛИА

В качестве подложек использовались стандартные кремниевые пластины КЭФ-1.0 (100) диаметром 76 мм со слоем термического окисла толщиной ~1 мкм. Перед нанесением слоев подложки обрабатывались в смеси Каро (H2SO4 : H2O2 = 3 : 2 по об. дол.) при температуре около 75 °С в течение 5 мин. Дополнительная очистка подложки проводилась в плазме непосредственно перед нанесением слоев. Слои тонкопленочных аккумуляторов наносились через металлические маски (трафареты) методом высокочастотного магнетронного распыления на установке SCR 651 “Tetra” (Alcatel, Франция). Слои наносились в следующей последовательности: нижний токоотвод Ti, катод LiCoO2 (LCO), твердый электролит LiPON, анод (варьировался) и верхний токоотвод Ti. Параметры нанесения отдельных слоев приведены в табл. 1. Слои LCO и LiPON наносились через одну маску без выноса на атмосферу.

 

Таблица 1. Параметры нанесения аккумуляторных слоев

Слой

Мишень

Давление, Па

Состав и расход газа, н.см3/мин

Расстояние между мишенью и подложкой, мм

Мощность магнетрона, Вт

Токоотводы Ti

Ti

0.2

20 (Ar)

105

300

Анод

Si@O@Al

Si3Al

1.75

200 (Ar)

0.6 (O2)

95

400

Анод

LixSi@O@Al

Si3Al0.64·0.12Li2O

1.75

200 (Ar)

0.6 (O2)

95

400

Электролит

LiPON

Li3PO4

2

50 (N2)

95

150

Катод LCO

LiCoO2

1

20 (Ar)

5 (O2)

95

200

 

Мишени для распыления имели форму диска диаметром 100 мм и толщиной 6 мм, изготовленного из порошков соответствующего состава методом горячего прессования в ООО “Гирмет” г. Москва. Мишень состава Si3Al0.64·0.12Li2O была синтезирована на основе Si3Al путем частичного замещения алюминия на оксид лития (Li2O). Для усиления адгезии между Si@O@Al и LiPON был введен буферный слой. Для этого на LiPON предварительно наносился тонкий, толщиной ~5 нм слой Si–Al без кислорода. Далее Si-Al подвергался бомбардировке ионами аргона при давлении 1.75 Па и напряжении смещения –5 В, в течение 5 мин для более эффективного сцепления этого слоя с поверхностью LiPON. Поверх буферного слоя Si-Al наносился анодный слой Si@O@Al. Аналогичная процедура выполнялась при изготовлении образцов с литированным анодом LixSi@O@Al. Для изготовления “безанодных” ТТЛИА, на этапе нанесения анодного слоя часть окон в маске перекрывалась дополнительным экраном. На рис. 1 представлены этапы нанесения слоя Si@O@Al: образцы с номерами 1, 2, 3 и 7 – изготовлены с анодом, 4, 5, 6, 8 и 9 – “безанодные”.

 

Рис. 1. (а) – подложка с аккумуляторами после нанесения LiPON, (б) – маска для нанесения анодного слоя с дополнительным экраном, (в) – подложка после нанесения анодного слоя (в данном случае Si@O@Al).

 

В одной партии, на одной подложке изготавливались 9 образцов ТТЛИА с активной площадью 0.25 см2. После изготовления образцы разделялись и ламинировались полимерной пленкой толщиной 60 мкм для защиты от окружающей среды. Далее, с помощью токопроводящего клея “Контактол-A” (Keller, Россия) к Ti-токоотводам приклеивались медные электроды, посредством которых образцы подключались к измерительному прибору.

Методы исследования

Толщина слоев ТТЛИА измерялась с использованием сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) Supra 40 (Carl Zeiss, Германия). Элементный анализ слоев, за исключением лития, проводился методом энергодисперсионного рентгеновского анализа (ЭДРА) с помощью приставки EDAX к СЭМ Quanta 3D 200i (FEITM, Нидерланды). Отношение Li/Co в слое LCO определяли методом атомно-эмиссионной спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ИСП-АЭС). Для этого слой LCO толщиной ~1 мкм, нанесенный на кремниевую подложку размером 50 × 50 мм2, растворялся в водном растворе HNO3 (концентрация 5 моль/дм3) при температуре 50°С. Полученный раствор анализировался с помощью спектрометра iCAP6300 Duo (Thermo Fisher Scientific, США) в Курчатовском комплексе химических исследований (ИРЕА). Калибровка проводилась с использованием стандартных растворов, приготовленных из одноэлементных веществ, с разным соотношением Li/Co. Калибровка была опробована на порошке LiCoO2 (99%) производства OOO “Катодные материалы” г. Новосибирск. По данным ИСП-АЭС, соотношение Li/Co для порошка составляло 0.95. Таким образом, относительная погрешность метода ИСП-АЭС составляет примерно 5%.

Структура пленки LCO была исследована методом спектроскопии комбинационного рассеяния (рамановская спектроскопия) на спектрометре EnSpectr R532 (ООО “Спектр-М”, Россия). Спектр снимался в режиме: длительность экспозиции – 3000 мс, количество измерений – 100. Анализировался участок спектра 350–850 см‒1.

Для определения плотности слой LCO толщиной 940 нм был нанесен на отдельную подложку Ti(200 нм)/SiO2(1000 нм)/Si размером 50 × 50 мм2. Подслой титана (200 нм) использовался для воспроизведения микроструктуры слоя LCO в составе ТТЛИА. Масса LCO определялась методом взвешивания подложки до и после нанесения слоя. Для взвешивания использовались лабораторные весы ВЛ-224В (Госметр, Россия), которые имеют I специальный класс точности. Масса слоя LCO после вычета подложки составила mfilm = 0.0105±0.0006 г. Толщина слоя измерялась на сколе с помощью СЭМ Supra 40. Плотность слоя рассчитывались по формуле ρ = mfilm/Vfilm, где Vfilm=dfilm·S – объем слоя.

Характеристики готовых аккумуляторов исследовались методами гальваностатического циклирования и циклической вольтамперометрии (ЦВА) с использованием потенциостатов-гальваностатов Р-20Х8 и Р-40Х (Elins, Россия). Зависимости ЦВА снимались в диапазоне напряжений от 1.5 до 4.2 В для образцов с анодами Si@O@Al толщиной 154 и 15 нм и от 1.0 до 4.1 В для LixSi@O@Al и “безанодного” образца. Скорость развертки напряжения составляла 1 мВ/c. Все испытания проводились при комнатной температуре 23±2°С. Длительное циклирование проводилось при плотности тока 32 мкА/см2. Пределы напряжения подбирались под конкретную электрохимическую систему с учетом данных ЦВА.

РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ

Исследование аккумуляторных слоев

На рис. 2 показаны СЭМ-изображения поперечного скола ТТЛИА. Катодный слой LCO на поперечном сколе имеет мелкозернистую столбчатую структуру, ориентированную перпендикулярно подложке. Такая структура характерна для LCO, нанесенного при комнатной температуре [21]. Из-за столбчатой структуры поверхность LCO шероховатая, высота неровностей достигает 10 нм. После нанесения пленки LiPON происходит сглаживание поверхности. Такого рода сглаживание является преимуществом стеклообразного твердого электролита LiPON перед кристаллическими твердыми электролитами. После сглаживания верхняя пленка Si@O@Al плотно прилегает к поверхности LiPON. Плотный контакт наряду с адгезионным слоем Si-Al увеличивает устойчивость интерфейса LiPON/Si@O@Al к циклическим изменениям объема анода. Если на сколе LCO видна столбчатая структура, то сколы анодных слоев Si@O@Al (рис. 2а) и LixSi@O@Al (рис. 2в) выглядят однородными. Границы Ti/Si@O@Al и Ti/LixSi@O@Al на сколе выглядят ровными, без отслоений. На рис. 2г представлен типичный “безанодный” аккумулятор. Титан известен как один из лучших адгезионно-активных материалов, однако при скалывании в некоторых местах титановый токоотвод отделился от LiPON.

 

Рис. 2. СЭМ-изображения поперечного скола ТТЛИА: (а) – с анодом Si@O@Al толщиной 154 нм, (б) – образец с анодом Si@O@Al толщиной 15 нм, (в) – с литированным анодом LixSi@O@Al и (г) – “безанодный” образец.

 

В табл. 2 представлены данные элементного анализа слоев ТТЛИА. Отношение Al/Si в образце Si@O@Al составляет 0.25, что несколько ниже по сравнению со стехиометрическим составом мишени Si3Al (Al/Si=0.33). Неожиданно сильное отклонение состава обнаружено в слое LixSi@O@Al. Здесь отношение Al/Si составляет 0.06, что ниже в 3.5 раза по сравнению с отношением элементов для мишени Si3Al0.64·0.12Li2O (Al/Si = 0.21). Такое отклонение вероятно связано с уменьшением скорости распыления алюминия мишени с добавкой Li2O. Отношение элементов P, O и N в пленке LiPON удовлетворяют требованиям для электролита LixPOyNz где 2.6 ≤ x ≤3.5, 1.9 ≤y ≤3.8 и 0.1 ≤z ≤1.3 [22]. Состав катодной пленки LCO, определенный с помощью методов ЭДРА и ИСП-АЭС, близок к стехиометрии мишени LiCoO2.

 

Таблица 2. Элементный состав функциональных слоев ТТЛИА

Слой

Метод

Состав, ат.%

Стехиометрическая формула

Si@O@Al

ЭДРА

Si – 63.6

O – 16

Al – 20.4

SiO0.25Al0.32

LixSi@O@Al

ЭДРА

Si – 65.9

O – 29.8

Al – 4.2

LixSiO0.45Al0.06

LiPON

ЭДРА

P – 25.4

O – 62.6

N – 12.0

LixPO2.5N0.47

LCO

ЭДРА и ИСП-АЭС

Li – 26.6

Co – 26.6

O – 46.8

LiCoO1.76

 

Средняя плотность LCO, измеренная в данной работе, составляет 4.5±0.4 г/см3, что ниже, чем у объемного кристаллического материала LiCoO2 – 5.05 г/см3 [23]. Плотность и элементный состав позволяют оценить теоретическую удельную емкость слоя LCO. Теоретическая емкость LixCoO2 при условии, что извлекается весь литий (0 < x < 1) составляет 274 мА ч/г. В действительности, обратимый диапазон ограничен значениями 0.5 < x <1, а выход за нижний предел x = 0.5 приводит к переходу из гексагональной в моноклинную структуру [24] и резкому уменьшению емкости. Следовательно, теоретическая обратимая емкость слоя LCO составляет QМтеор ≈ 137 мА ч/г [25]. В случае тонких пленок, удобно работать с удельной объемной емкостью в единицах мкА ч/(см2 мкм), где 1 мкА ч/(см2 мкм) = 10 мА ч/см3. Удельная объемная емкость связана с удельной массовой емкостью соотношением QVтеор= QМтеор ρ, тогда для плотности ρ(LCO) = 4.5 г/см3 получаем 616.5 мА ч/см3 или 61.6 мкА ч/(см2 мкм). Оценим удельную объемную емкость анода Si@O@Al. Если принять удельную емкость Si@O@Al равной 1500 мА ч/см2 [26], а среднюю плотность ~2.2 г/см3, то QVтеор будет приближенно равна 330 мкА ч/(см2 мкм). Таким образом, баланс емкостей электродов равной площади соответствует отношению толщин слоев d(LCO)/d(Si@O@Al) = = 5.3 (т.е. катоду с толщиной 500 нм соответствует анод с толщиной 94 нм).

На рис. 3 представлен спектр комбинационного рассеяния слоя LCO после удаления фона и спектральной подгонки с использованием функции Гаусса.

 

Рис. 3. Спектр комбинационного рассеяния катодного слоя LCO, нанесенного на подложку со структурой Ti(200 нм)/SiO2 (900 нм)/Si.

 

В спектре LCO разрешены четыре пика: 477 см–1, 521 см–1, 590 см–1 и 672 см–1. Первый и третий пики соответствуют колебательным модам растяжения Co-O (Eg) и изгиба O-Co-O (A1g) гексагональной структуры HT-LiCoO2 (пространственная группа R-3m) [27, 28]. Несмотря на значительный разброс в литературных данных относительно положений пиков Eg и A1g, разница между ними примерно равна Δ = 110 см–1, что очень близко к результатам настоящей работы 113 см‒1. Пики 521 и 672 см‒1 принадлежат примесной фазе LixCo3O4 [28, 29], хотя раман-активными являются только колебания структурных звеньев Co3O4. Фаза LixCo3O4 ранее была обнаружена в пленках LCO, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления [30] и импульсно-лазерного испарения [31].

Таким образом, катодный слой LCO, нанесенный на подложку без дополнительного нагрева, содержит как высокотемпературную гексагональную фазу HT-LiCoO2, так и примесную фазу LixCo3O4, обедненную литием и кислородом.

Электрохимические испытания ТТЛИА

На рис. 4 представлены разрядные кривые образцов с анодами Si@O@Al, LixSi@AO@Al и “безанодных” аккумуляторов. Все образцы с анодами имели порядковые номера 1‒3 в своей партии, “безанодный” образец – 4. Наибольшая удельная емкость 45.45 мкА ч/(см2 мкм) была получена для образца с анодом Si@O@Al толщиной 154 нм, что составляет 74% от расчетного значения емкости катода 61.6 мкА ч/(см2 мкм). Наименьшая удельная емкость 34.3 мкА ч/(см2 мкм) (56% от расчетной) получена для образца с тонким анодом Si@O@Al. Промежуточные значения емкостей получены для образцов с литированным анодом LixSi@AO@Al – 42.3 мкА ч/(см2 мкм) (69% от расчетной) и “безанодного” аккумулятора – 38.3 мкА ч/(см2 мкм) (62% от расчетной). Однако благодаря более высокому рабочему напряжению ~3.7 В, удельная энергия “безанодного” ТТЛИА превосходит удельную энергию сопоставимых по удельной емкости аккумуляторов с анодами Si@O@Al-154 нм и LixSi@O@Al с рабочим напряжением ~3.0 В (табл. 3).

 

Рис. 4. Сравнение разрядных кривых анодных и “безанодных” ТТЛИА. Обозначения на рисунке: 1Si@O@Al (154 нм)/LiPON (500 нм)/LCO (490 нм), 2Si@O@Al (15 нм)/LiPON (518 нм)/LCO (474 нм), 3LixSi@O@Al (192 нм) /LiPON (513 нм)/LCO (672 нм) и 4 – “безанодный” ТТЛИА со структурой (in situ Li)/LiPON(571 нм)/LCO(733 нм). Плотность тока равна 32 мкА/см2, потенциальное окно 1.5 В – 3.8 для ТТЛИА с анодами Si@O@Al-154 нм и LixSi@O@Al, 3.0 – 4.0 В для “безанодного” и Si@O@Al-15 нм.

 

Таблица 3. Параметры ТТЛИА с различными анодами

Тип анода

Окно, В

QVdis, мкА ч/ (см2 мкм)

U¯dis, В

WVdis, мкВт ч/(см2 мкм)

fdcyc, %/цикл

Si@O@Al-154 нм

1.5–3.8

45.5

3.0

136.5

0.12

Si@O@Al-15 нм

3.0–4.0

34.3

3.63

124.5

0.38

LixSi@O@Al

1.5–3.8

42.3

3.06

129.4

0.10

“Безанодный” (in situ Li)

3.0–4.0

38.3

3.66

140.2

0.43

 

На рис. 5 представлены ЦВА образцов с различными анодами. Основной пик на положительном полуцикле ЦВА соответствует реакции окисления Co+3/Co+4 катода во время заряда аккумулятора, которая сопровождается экстракцией Li+ из катодной матрицы. Пик на отрицательном полуцикле соответствует реакции восстановления Co+4/Co+3 во время разряда и внедрения Li+ обратно в катод. Положение пиков зависит от материала анода. Экстремумы ЦВА-пиков “безанодного” образца соответствуют потенциалам 3.97 В и 3.69 В. В данном случае положение пиков отсчитывается от потенциала металлического лития, который осаждается in situ на границе LiPON/Ti. Для сравнения, окислительно-восстановительный потенциал хорошо кристаллизованной пленки LiCoO2 с гексагональной кристаллической структурой (HT-LiCoO2) находится в пределах 3.8 – 4.2 В относительно Li0/Li+ [32]. Данные ЦВА для “безанодного” образца подтверждают наличие высокотемпературной гексагональной фазы HT-LiCoO2 в слое LCO. С другой стороны, обнаруженные пики достаточно широкие, что свидетельствует о нанокристаллическом строении катода. Похожая картина наблюдалась после отжига тонкой пленки LCO при температуре 500 °С [33].

 

Рис. 5. ЦВА образцов ТТЛИА с различными анодами. Нумерация на рисунке соответствует образцам с анодами: 1Si@O@Al-154 нм, 2Si@O@Al-15 нм, 3LixSi@O@Al и 4 – “безанодный”. Скорость развертки потенциала – 0.5 мВ/c, пределы циклирования 1.5 В-4.2 для ТТЛИА с анодами Si@O@Al-154, Si@O@Al-15 нм и “безанодного” образца, 1.0-4.1 В для образца LixSi@O@Al.

 

Образцы с анодом Si@O@Al толщиной 154 нм и LixSi@O@Al толщиной 192 нм имели экстремумы при потенциалах 3.65 В/3.02 В и 3.6 В/3.2 В соответственно. В первом случае потенциалы измерялись относительно потенциала литирования Si@O@Al ~0.2 В (относительно Li0/Li+) и делитирования LixSi@O@Al при потенциале ~0.6 В (относительно Li0/Li+) [34]. Экстремумы основных ЦВА-пиков образца с тонким Si@O@Al (15 нм) находятся при потенциалах 3.89 и 3.68 В. Данные значения близки к потенциалам, полученным для “безанодного” образца. Это связано с тем, что емкость анода несопоставимо меньше емкости катода. В процессе заряда избыток ионов лития из катода осаждается в виде металла на границе Si@O@Al/Ti, аналогично процессу в “безанодных” аккумуляторах. Таким образом, образцы ТТЛИА с тонким анодным слоем Si@O@Al представляют собой переходный тип между анодным и “безанодным” аккумуляторами.

На ЦВА некоторых образцов также наблюдалась вторая пара более слабых пиков. Для “безанодных” образцов экстремумы дополнительных пиков располагались при потенциалах ~3.39 и ~2.78 В, а для образцов с анодом Si@O@Al-154 нм – при потенциалах ~2.45 и ~2.15 В. Данные пики, вероятно, связаны с окислительно-восстановитеными процессами в примесной фазе LixCo3O4 [35].

На рис. 6 представлены зависимости разрядной емкости различных ТТЛИА от номера цикла. Для удобства сравнения разрядные емкости были нормированы относительно емкости, полученной в ходе первого рабочего цикла. Образцы с анодами Si@O@Al-154 нм, Si@O@Al-15 нм и LixSi@O@Al прошли суммарно по 100 циклов, а “безанодный” образец – 74 цикла. Образцы с анодами Si@O@Al-154 и LixSi@O@Al демонстрируют хорошую циклируемость.

 

Рис. 6. Зависимость разрядной емкости от номера цикла. Нумерация на рисунке соответствует образцам с анодами: 1Si@O@Al-154 нм, 2Si@O@Al-15 нм, 3LixSi@O@Al и 4 – “безанодный”. Плотность тока заряда-разряда 32 мкА/см2. Для образцов с анодами Si@O@Al-154 нм и LixSi@O@Al использовалось потенциальное окно 1.5 – 3.8 В, для “безанодного” образца и с тонким анодом Si@O@Al-15 нм – окно 3.0 – 4.0 В.

 

Циклируемость аккумуляторов удобно сравнивать с помощью параметра – темпа деградации (fdcyc), который показывает относительное падение емкости за один цикл и рассчитывается по формуле:

fdcyc=Qdis(1)Qdis(n)Qdis(1)n100%, (3)

где n – количество пройденных циклов, Qdis(1)– разрядная емкость в первом цикле и Qdis(n) – разрядная емкость в n-м цикле. Темпы деградации образцов Si@O@Al-154 нм и LixSi@O@Al составили 0.12%/цикл и 0.10%/цикл соответственно. Образец с тонким анодом Si@O@Al-15 нм потерял 38% от первоначальной емкости за 100 циклов (fdcyc ≈ 0.38%/цикл), а “безанодный” образец – 32% за 74 цикла (fdcyc ≈ 0.43%/цикл).

В случае “безанодных” аккумуляторов деградация значительно ускоряется за счет неравномерного in situ осаждения лития на границе с электролитом, что также отмечалось в других работах [10, 36]. Это хорошо видно на СЭМ-изображении поперечного скола “безанодного” образца после циклирования (см. рис. 7). Кроме того, адгезия лития к титановому токоотводу невелика, а необходимый контакт создается в основном за счет ламинирующей пленки. После удаления пленки верхний токоотвод легко отшелушивается. Сравнительно хорошая циклируемость аккумуляторов с анодами Si@O@Al-154 нм или LixSi@O@Al обусловлена сочетанием надежного адгезионного сцепления анода и электролита, а также умеренным изменением объема анодного слоя во время циклирования. Последнее достигается за счет баланса емкостей анода и катода. Во всех случаях кулоновская эффективность составляла более 99%. Из этого следует, что основным механизмом деградации является уменьшение активной площади ТТЛИА в результате медленного механического разрушения контакта с верхним токоотводом.

 

Рис. 7. СЭМ-изображения поперечного скола “безанодного” ТТЛИА после циклирования.

 

В табл. 3 сведены характеристики аккумуляторов с различными анодами. Аккумуляторы с анодами Si@O@Al-154 нм и LixSi@O@Al обладают рядом преимуществ, включая широкий диапазон рабочих напряжений, относительно высокую емкость и низкий темп деградации. “Безанодные” аккумуляторы имеют высокое рабочее напряжение и, как следствие, наибольшую энергоемкость среди представленных образцов. Однако высокий темп деградации нивелирует это преимущество после первых 20 циклов. Можно отметить, что добавление тонкого слоя Si@O@Al немного улучшает циклируемость по сравнению с “безанодными” ТТЛИА, при этом сохраняется высокое рабочее напряжение, характерное для “безанодных” ТТЛИА или аккумуляторов с литиевым металлическим анодом.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Таким образом, “безанодные” аккумуляторы представляют интерес в связи с упрощением технологии изготовления ТТЛИА и относительно высокой удельной энергией. Однаком циклируемость “безанодных” аккумуляторов целиком определялась качеством герметизации. Здесь герметизация, кроме основной барьерной функции, обеспечивала механический прижим верхнего титанового токоотвода к LiPON. Напротив, хорошая циклируемость образцов с композитными анодами Si@O@Al-154 нм и LixSi@O@Al достигается благодаря правильно подобранным толщинам анода и катода, а также улучшенному адгезионному сцеплению c LiPON за счет введения буферного слоя Si-Al. Образец с анодом Si@O@Al-15 нм имел переходные характеристики – разрядное напряжение составляло 3.63 В, что всего на 0.03 В меньше, чем у “безанодного” образца, кроме того, наблюдалось снижение темпа деградации. Надо полагать, что более тонкая подстройка толщины Si@O@Al позволит обеспечить компромисс между высокой удельной энергией и циклируемостью.

БЛАГОДАРНОСТИ

Работа выполнена на оборудовании Центра коллективного пользования “Диагностика микро- и наноструктур”. Выражаем благодарность сотрудникам Курчатовского комплекса химических исследований (ИРЕА) за проведение анализа методом ИСП-АЭС.

ФИНАНСИРОВАНИЕ РАБОТЫ

Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России в рамках государственного задания ЯрГУ № FENZ-2024-0005.

КОНФЛИКТ ИНТЕРЕСОВ

Авторы заявляют, что у них нет конфликта интересов.

×

About the authors

S. V. Kurbatov

RUDN University

Author for correspondence.
Email: kurbatov-93@bk.ru
Russian Federation, 6 Miklukho-Maklaya St, Moscow, 117198

L. A. Mazaletsky

P.G. Demidov Yaroslavl State University

Email: kurbatov-93@bk.ru
Russian Federation, 14 Sovetskaya str., Yaroslavl, 150003

A. A. Mironenko

P.G. Demidov Yaroslavl State University

Email: kurbatov-93@bk.ru
Russian Federation, 14 Sovetskaya str., Yaroslavl, 150003

V. V. Naumov

P.G. Demidov Yaroslavl State University

Email: kurbatov-93@bk.ru
Russian Federation, 14 Sovetskaya str., Yaroslavl, 150003

A. S. Rudy

P.G. Demidov Yaroslavl State University

Email: rudy@uniyar.ac.ru
Russian Federation, 14 Sovetskaya str., Yaroslavl, 150003

A. M. Skundin

A.N. Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry of RAS

Email: kurbatov-93@bk.ru
Russian Federation, Moscow

D. E. Pukhov

Valiev Institute of Physics and Technology of Russian Academy of Sciences

Email: kurbatov-93@bk.ru

Yaroslavl branch

Russian Federation, Yaroslavl

M. A. Smirnova

P.G. Demidov Yaroslavl State University

Email: kurbatov-93@bk.ru
Russian Federation, 14 Sovetskaya str., Yaroslavl, 150003

References

  1. Skundin, A., Kulova, T., Rudy, A., and Mironenko, A., All solid state thin-film lithium-ion batteries: materials, technology, and diagnostics. CRC Press, 2021, 201 p.
  2. Xia, Q., Zan, F., Zhang, Q., Liu, W., Li, Q., He, Y., Hua, J., Liu, J., Xu, J., Wang, J., Wu, C., and Xia H., All‐solid‐state thin film lithium/lithium‐ion microbatteries for powering the Internet of things, Adv. Mater., 2023, vol. 35, p. 2200538. doi: 10.1002/adma.202200538
  3. Kuriyama, T., Suzuki, A., Okamoto, Y., Kimura, I., Morikawa, Y., and Mita, Y., A micromachined all-solid on-chip thin-film battery towards uninterruptible photovoltaic cells, 2018 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP). IEEE, 2018. p. 1. doi: 10.1109/DTIP.2018.8394215
  4. Kasemchainan, J. and Bruce, P.G., All-solid-state batteries and their remaining challenges, Johnson Matthey Technol. Rev., 2018, vol. 62, p. 177. doi: 10.1595/205651318X696747
  5. Wu, B., Chen, C., Danilov, D.L., Eichel, R.A., and Notten, P.H., All-solid-state thin film Li-ion batteries: New challenges, new materials, and new designs, Batteries, 2023, vol. 9, no. 3, p. 186. doi: 10.3390/batteries9030186
  6. Kerman, K., Luntz, A., Viswanathan, V., Chiang, Y.M., and Chen, Z., Practical challenges hindering the development of solid state Li-ion batteries, J. Electrochem. Soc., 2017, vol. 164, p. A1731. doi: 10.1149/2.1571707jes
  7. Bates, J.B., Dudney, N.J., Gruzalski, G.R., Zuhr, R.A., Choudhury, A., Luck, C.F., and Robertson, J.D., Electrical properties of amorphous lithium electrolyte thin films, Solid State Ionics, 1992, vol. 53‒56, p. 647. doi: 10.1016/0167-2738(92)90442-R
  8. Васильев, С.В., Геращенко, В.Н., Кулова, Т.Л., Лебедев, М.Е., Мазалецкий, Л.А., Метлицкая, А.В., Мироненко, А.А., Московский, С.Б., Никольская, Н.Ф., Пухов, Д.Э., Рудый, А.С., Скундин, А.М., Сологуб, В.А., Федоров, И.С., Чурилов, А.Б. Тонкопленочный положительный электрод на основе оксидов ванадия для литий-ионных аккумуляторов. Микроэлектроника. 2016. Т. 45. C. 363. doi: 10.7868/S0544126916050112 [Vasil’ev, S.V., Gerashchenko, V.N., Kulova, T.L., Lebedev, M.E., Mazaletskii, L.A., Metlitskaya, A.V., Mironenko, A.A., Moskovskii, S.B., Nikol’skaya, N.F., Pukhov, D.E., Rudyi, A.S., Skundin, A.M., Sologub, V.A., Fedorov, I.S., and Churilov, A.B., Thin-film positive electrode based on vanadium oxides for lithium-ion accumulators, Russ. Microelectron., 2016, vol. 45, p. 335.] doi: 10.1134/S1063739716050115
  9. Julien, C.M. and Mauger, A., Review of 5-V electrodes for Li-ion batteries: status and trends, Ionics, 2013, vol. 19, p. 951. doi: 10.1007/s11581-013-0913-2
  10. Dudney, N.J., West, W.C., and Nanda, J., Handbook of solid-state batteries: 2nd Edition. Eds. World Scientific, 2015. vol. 6, 822 p.
  11. Phan, V.P., Pecquenard, B., and Le Cras, F., High‐performance all‐solid‐state cells fabricated with silicon electrodes, Adv. Funct. Mater., 2012, vol. 22, p. 2580. doi: 10.1002/adfm.201200104
  12. Pearse, A.J., Schmitt, T.E., Fuller, E.J., El-Gabaly, F., Lin, C.F., Gerasopoulos, K., Kozen, A.C., Talin, A.A., Rubloff, G., and Gregorczyk, K.E., Nanoscale solid state batteries enabled by thermal atomic layer deposition of a lithium polyphosphazene solid state electrolyte, Chem. Mater., 2017, vol. 29, p. 3740. doi: 10.1021/acs.chemmater.7b00805
  13. Mironenko, A.A., Fedorov, I.S., Rudy, A.S., Andreev, V.N., Gryzlov, D.Y., Kulova, T.L., and Skundin, A.M., Charge–discharge performances of the Si–O–Al electrodes, Monatsh. Chem., 2019, vol. 150, p. 1753. doi: 10.1007/s00706-019-02497-1
  14. Рудый, А.С., Мироненко, А.А., Наумов, В.В., Федоров, И.С., Скундин, А.М., Торцева, Ю.С. Тонкопленочные твердотельные литий-ионные аккумуляторы системы LiCoO 2 /LiPON/Si@O@Al. Микроэлектроника. 2021. Т. 50. С. 370. doi: 10.31857/S0544126921050057 [Rudy, A.S., Mironenko, A.A., Naumov, V.V., Fedorov, I.S., Skundin, A.M., and Tortseva, Yu.S., Thin-Film Solid State Lithium-Ion Batteries of the LiCoO 2 /Lipon/Si@O@Al System, Russ. Microelectron., 2021, vol. 50, p. 333.] doi: 10.1134/S106373972105005X
  15. Neudecker, B.J., Dudney, N.J., and Bates, J.B., “Lithium-Free” thin-film battery with in situ plated Li anode, J. Electrochem. Soc., 2000, vol. 147, p. 517. doi: 10.1149/1.1393226
  16. Yamamoto, T., Iwasaki, H., Suzuki, Y., Sakakura, M., Fujii, Y., Motoyama, M., and Iriyama, Y., A Li-free inverted-stack all-solid-state thin film battery using crystalline cathode material, Electrochem. Commun., 2019, vol. 105, p. 1. doi: 10.1016/j.elecom.2019.106494
  17. Lee, S.H., Liu, P., and Tracy, C.E., Lithium thin-film battery with a reversed structural configuration SS/Li/Lipon/ Li x V 2 O 5 /Cu, Electrochem. Solid-State Lett., 2003, vol. 6, p. A275. doi: 10.1149/1.1623171
  18. Xie, Z., Wu, Z., An, X., Yue, X., Wang, J., Abudula, A., and Guan, G., Anode-free rechargeable lithium metal batteries: Progress and prospects, Energy Storage Mater., 2020, vol. 32, p. 386. doi: 10.1016/j.ensm.2020.07.004
  19. Liu, S., Jiao, K., and Yan, J., Prospective strategies for extending long-term cycling performance of anode-free lithium metal batteries, Energy Storage Mater., 2023, vol. 54, p. 689. doi: 10.1016/j.ensm.2022.11.021
  20. Jo, C.-H., Sohn, K.-S., and Myung, S.-T., Feasible approaches for anode-free lithium-metal batteries as next generation energy storage systems, Energy Storage Mater., 2023, vol. 57, p. 471. doi: 10.1016/j.ensm.2023.02.040
  21. Bates, J.B., Dudney, N.J., Neudecker, B.J., Hart, F.X., Jun, H.P., and Hackney, S.A., Preferred orientation of polycrystalline LiCoO 2 films, J. Electrochem. Soc., 2000, vol. 147, p. 59. doi: 10.1149/1.1393157
  22. Fleutot, B., Pecquenard, B., Martinez, H., Letellier, M., and Levasseur, A., Investigation of the local structure of LiPON thin films to better understand the role of nitrogen on their performance, Solid State Ionics, 2011, vol. 186, p. 29. doi: 10.1016/j.ssi.2011.01.006
  23. Akimoto, J., Gotoh, Y., and Oosawa, Y., Synthesis and structure refinement of LiCoO 2 single crystals, Solid State Chem., 1998, vol. 141, p. 298. doi: 10.1006/jssc.1998.7966
  24. Reimers, J.N. and Dahn, J.R., Electrochemical and in situ X-ray diffraction studies of lithium intercalation in Li x CoO 2 , J. Electrochem. Soc., 1992, vol. 139, p. 2091. doi: 10.1149/1.2221184
  25. Bates, J.B., Dudney, N.J., Neudecker, B., Ueda, A., and Evans, C.D., Thin-film lithium and lithium-ion batteries, Solid State Ionics, 2000, vol. 135, p. 33. doi: 10.1016/S0167-2738(00)00327-1
  26. Кулова, Т.Л., Скундин, А.М., Андреев, В.Н., Грызлов, Д.Ю., Мироненко, А.А., Рудый, А.С., Гусев, В.Н., Наумов, В.В. Исследование тонкопленочных электродов системы кремний-ку алюминий-кислород для литий-ионного аккумулятора. Электрохимическая энергетика. 2013. Т. 13. №. 3. С. 136. [Kulova, T.L., Skundin, A.M., Andreev, V.N., Gryzlov, D.Yu., Mironenko, A.A., Rudy, A.S., Gusev, V.N., and Naumov, V.V., A Study of thin-film electrodes of silicon‒aluminum‒oxygen system for lithium-ion battery, Elektrokhimicheskaya Energetika (in Russian) 2013, vol. 13, no. 3, p. 136.]
  27. Liao, C.L. and Fung, K.Z., Lithium cobalt oxide cathode film prepared by rf sputtering, J. Power Sources, 2004, vol. 128, p. 263. doi: 10.1016/j.jpowsour.2003.09.065
  28. Prachařová, J., Přidal, J., Bludska, J., Jakubec, I., Vorlı́ček, V., Malkova, Z., Makris, T.D., Giorgi, R., and Jastrabık, L., LiCoO 2 thin-film cathodes grown by RF sputtering, J. Power Sources, 2002, vol. 108, p. 204. doi: 10.1016/S0378-7753(02)00018-6
  29. Tintignac, S., Baddour-Hadjean, R., Pereira-Ramos, J.P., and Salot, R., High performance sputtered LiCoO 2 thin films obtained at a moderate annealing treatment combined to a bias effect, Electrochim. Acta, 2012, vol. 60, p. 121. doi: 10.1016/j.electacta.2011.11.033
  30. Park, H.Y., Lee, S.R., Lee, Y.J., Cho, B.W., and Cho, W.I., Bias sputtering and characterization of LiCoO 2 thin film cathodes for thin film microbattery, Mater. Chem. Phys., 2005, vol. 93, p. 70. doi: 10.1016/j.matchemphys.2005.02.024
  31. Kuwata, N., Kumar, R., Toribami, K., Suzuki, T., Hattori, T., and Kawamura, J., Thin film lithium ion batteries prepared only by pulsed laser deposition, Solid State Ionics, 2006, vol. 177, p. 2827. doi: 10.1016/j.ssi.2006.07.023
  32. Iriyama, Y., Nishimoto, K., Yada, C., Abe, T., Ogumi, Z., and Kikuchi, K., Charge-transfer reaction at the lithium phosphorus oxynitride glass electrolyte/lithium manganese oxide thin-film interface and its stability on cycling, J. Electrochem. Soc., 2006, vol. 153, p. A821. doi: 10.1149/1.2178647
  33. Liao, C.L., Lee, Y.H., and Fung, K.Z., The film growth and electrochemical properties of rf-sputtered LiCoO 2 thin films, J. Alloys Compd., 2007, vol. 436, p. 303. doi: 10.1016/j.jallcom.2006.07.033
  34. Кулова, Т.Л., Скундин, А.М., Андреев, В.Н., Грызлов, Д.Ю., Мироненко, А.А., Рудый, А.С., Гусев, В.Н., Наумов, В.В. Исследование тонкопленочных кремний-алюминиевых электродов, синтезированных в присутствии кислорода, методом циклической вольтамперометрии. Электрохимия. 2015. Т. 51. С. 1298. doi: 10.7868/S0424857015120099 [Kulova, T.L., Skundin, A.M., Andreev, V.N., Gryzlov, D.Yu., Mironenko, A.A., Rudy, A.S., Gusev, V.N., and Naumov, V.V., Cyclic Voltammetry Studies of Silicon–Aluminum Thin-Film Electrodes Synthesized in the Presence of Oxygen, Russ. J. Electrochem., 2015, vol. 51, p. 1157.] doi: 10.1134/S1023193515120095
  35. Thackeray, M.M., Baker, S.D., Adendorff, K.T., and Goodenough, J.B., Lithium insertion into Co3O4: a preliminary investigation, Solid State Ionics, 1985, vol. 17, p. 175. doi: 10.1016/0167-2738(85)90069-4
  36. Lewis, J.A., Sandoval, S.E., Liu, Y., Nelson, D.L., Yoon, S.G., Wang, R., Zhao, Y., Tian, M., Shevchenko, P., Martínez-Pañeda, E., and McDowell, M.T., Accelerated Short Circuiting in Anode‐Free Solid‐State Batteries Driven by Local Lithium Depletion, Adv. Energy Mater., 2023, vol. 13, p. 2204186. doi: 10.1002/aenm.202204186

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
2. Fig. 1. (a) – substrate with batteries after applying LiPON, (b) – mask for applying the anode layer with an additional screen, (c) – substrate after applying the anode layer (in this case Si@O@Al).

Download (391KB)
3. Fig. 2. SEM images of a transverse cleavage of TTLIA: (a) – with a 154 nm thick Si@O@Al anode, (b) – a sample with a 15 nm thick Si@O@Al anode, (c) – with a lithiated LixSi@O@Al anode and (d) – “anodeless” sample.

Download (702KB)
4. Fig. 3. Raman spectrum of the LCO cathode layer deposited on a substrate with a Ti(200 nm)/SiO2 (900 nm)/Si structure.

Download (72KB)
5. Fig. 4. Comparison of discharge curves of anodic and “anodeless” TTLIA. Designations in the figure: 1 – Si@O@Al (154 nm)/LiPON (500 nm)/LCO (490 nm), 2 – Si@O@Al (15 nm)/LiPON (518 nm)/LCO (474 ​​nm), 3 – LixSi@O@Al (192 nm)/LiPON (513 nm)/LCO (672 nm) and 4 – “anodeless” TTLIA with the structure (in situ Li)/LiPON(571 nm)/LCO(733 nm). The current density is 32 μA/cm2, the potential window is 1.5 V – 3.8 for TTLIA with Si@O@Al-154 nm and LixSi@O@Al anodes, 3.0 – 4.0 V for “anodeless” and Si@O@Al-15 nm.

Download (59KB)
6. Fig. 5. CVA of TTLIA samples with different anodes. The numbering in the figure corresponds to the samples with anodes: 1 – Si@O@Al-154 nm, 2 – Si@O@Al-15 nm, 3 – LixSi@O@Al and 4 – “anodeless”. The potential scan rate is 0.5 mV/s, the cycling limits are 1.5 V-4.2 for TTLIA with Si@O@Al-154, Si@O@Al-15 nm anodes and the “anodeless” sample, 1.0-4.1 V for the LixSi@O@Al sample.

Download (86KB)
7. Fig. 6. Dependence of the discharge capacity on the cycle number. The numbering in the figure corresponds to the samples with anodes: 1 – Si@O@Al-154 nm, 2 – Si@O@Al-15 nm, 3 – LixSi@O@Al and 4 – “anodeless”. The charge-discharge current density is 32 μA/cm2. For the samples with the Si@O@Al-154 nm and LixSi@O@Al anodes, a potential window of 1.5 – 3.8 V was used, for the “anodeless” sample and with the thin Si@O@Al-15 nm anode – a window of 3.0 – 4.0 V.

Download (67KB)
8. Fig. 7. SEM images of the transverse cleavage of the “anodeless” TTLIA after cycling.

Download (83KB)

Copyright (c) 2024 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».