Отправить статью по E-mail 
Модификация поверхности кремния мощными световыми импульсами
- Авторы: Фаррахов Б.Ф.1, Фаттахов Я.В.1, Степанов А.Л.1
-
Учреждения:
- Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»
- Выпуск: Том 88, № 7 (2024)
- Страницы: 1099-1103
- Раздел: Спиновая физика, спиновая химия и спиновые технологии
- URL: https://journals.rcsi.science/0367-6765/article/view/279543
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0367676524070158
- EDN: https://elibrary.ru/PATHEQ
- ID: 279543
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Аннотация
Изучена возможность модификации приповерхностного слоя кремния до и после ионной имплантации с последующим импульсным световым отжигом для возможности структуирования поверхности подложек с целью повышения эффективности их применения в солнечной энергетике. Проведено сравнение результатов с данными, полученными на монокристаллическом и имплантированном германии.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Б. Ф. Фаррахов
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»
Автор, ответственный за переписку.
Email: bulat_f@mail.ru
Казанский физико-технический институт имени Е.К. Завойского
Россия, КазаньЯ. В. Фаттахов
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»
Email: bulat_f@mail.ru
Казанский физико-технический институт имени Е.К. Завойского
Россия, КазаньА. Л. Степанов
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»
Email: bulat_f@mail.ru
Казанский физико-технический институт имени Е.К. Завойского
Россия, КазаньСписок литературы
- Королева Д.А., Целищев В.А., Шайдаков В.В. Солнечная энергетика. М.: Инфа-Инженирия, 2023. 140 с.
- Смердов Р.С. // Физ. образ. в вузах. 2019. Т. 25. № 2. С. 276.
- Codrin A., Elena L., Stephen C. // PLoS ONE. 2014. V. 9. No. 10. Art. No. e109836.
- Аржанов А.И., Савостьянов А.О., Магарян К.А. и др. // Фотоника. 2022. Т. 16. № 2. С. 96; Arzhanov A.I., Savostianov A.O., Magaryan K.A. et al. // Photonics Russ. 2022. V. 16. No. 2. P. 96.
- Lima Monteiro D., Honorato F., Oliveira Costa R., Salles L. // Int. J. Photoener. 2012. V. 2012. Art. No. ID743608.
- Macdonald D., Cuevas A., Kerr M. et al. // Proc. Solar World Congress (Adelaide, 2001). P. 1.
- Томаев В.В., Полищук В.А., Леонов Н.Б., Вартанян Т.А. // Изв. РАН. Сер. физ. 2023. Т. 87. № 10. С. 1446; Tomaev V.V., Polishchuk V.A., Leonov N.B., Vartanyan T.A. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2023. V. 87. No. 10. P. 1478.
- Lima Monteiro D.W., Akhzar-Mehr O., Sarro P.M., Vdovin G. // Opt. Express. 2003. V. 11. No. 18. P. 2244.
- Rebecca S. // Progr. Photovolt. Res. Appl. 2021. V. 29. P. 1125.
- Hyeon-Seung L., Jaekwon S., Hyeyeon K. et al. // Sci. Reports. 2018. V. 8. Art. No. 3504.
- Гончар К.А., Божьев И.В., Шалыгина О.А., Осминкина Л.А. // Письма в ЖЭТФ. 2023. Т. 117. № 2. С. 115; Gonchar K.A, Bozh’ev I.V., Shalygina O.A., Osminkina L.A. // JETP Lett. 2023. V. 117. No. 2. P. 111.
- Фаттахов Я.В., Галяутдинов М.В., Львова Т.Н., Хайбуллин И.Б. // Опт. и спектроск. 2000. Т. 89. № 1. С. 182; Galyautdinov M.F., Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V., Zakharov M.V. // Opt. Spectrosc. 2009. V. 107. No. 1. P. 640.
- Фаррахов Б.Ф., Фаттахов Я.В., Галяутдинов М.Ф. // ПТЭ. 2019. № 2. С. 93; Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V., Galyautdinov M.F. // Instrum. Exp. Tech. 2019. V. 62. P. 226.
- Stepanov A.L., Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V. et al. // Vacuum. 2021. V. 186. Art. No. 110060.
- Гаврилова Т.П., Фаррахов Б.Ф., Фаттахов Я.В. и др. // ЖТФ. 2022. Т. 96. № 12. С. 1827; Gavrilova T.P., Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V. et al. // Tech. Phys. 2022. V. 67. No. 12. P. 1586.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 1. Фотографии поверхности кремния КДБ-1 (111), имплантированного ионами фосфора P+ с энергией 50 кэВ и дозой 3.12⋅1015 см−2 через металлическую сетку периодом 40 мкм, после импульсного светового отжига на УОЛ.П-1 с плотностями мощности 60 (а), 240 (б), 900 Вт⋅см−2 (в) и длительностями 3.5 (а), 750 (б) и 120 мс (в) соответственно. Фотографии неимплантированного кремния КДБ-1 (100) после импульсного светового отжига на УОЛ.П-1 с плотностью мощности 1200 Вт⋅см−2 и длительностями 70 (г) и 90 мс (д) (поверхность до отжига шлифовалась).
Скачать (351KB)
3.
Рис. 2. Фотографии поверхности неимплантированного кремния КДБ-1 (100) (а), (111) (б, в) после импульсного светового отжига на установке «Импульс-6» с плотностью мощности 20 Вт⋅см−2 и длительностями 5 (а), 10 (б) и 15 с (в) соответственно. Фотографии имплантированного ионами Ag+ германия с энергией 30 кэВ и дозой 1.5⋅1017 см−2, отожженного световыми импульсами с плотностью мощности 10 Вт⋅см−2 и длительностями 6 (г) и 4.5 с (д).
Скачать (350KB)
