Method of Processing Quartz Accessories in the Manufacturing of the Structures of Micro- and Nanoelectronics

T. A. Ismailov; T. É. Sarkarov; A. R. Shakhmaeva; B. A. Shangereeva

doi:10.1007/s10717-019-00118-1

Method of Processing Quartz Accessories in the Manufacturing of the Structures of Micro- and Nanoelectronics

Авторлар: Ismailov T.A.¹, Sarkarov T.É.¹, Shakhmaeva A.R.¹, Shangereeva B.A.¹
Мекемелер:
1. Dagestan State Technical University
Шығарылым: Том 75, № 11-12 (2019)
Беттер: 488-490
Бөлім: At Enterprises and Institutes
URL: https://journals.rcsi.science/0361-7610/article/view/245125
DOI: https://doi.org/10.1007/s10717-019-00118-1
ID: 245125

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

The effect of different methods of processing quartz accessories for the purpose of completely removing hardly soluble films of borosilicate and phosphosilicate glasses is investigated. It is shown that the methods developed for processing quartz accessories make it possible to increase cleaning efficiency substantially. The optimal processing regimes for quartz accessories are presented.