CVD-синтез пленок графитоподобного нитрида углерода из меламина
- Авторы: Ермакова Е.Н.1, Максимовский Е.А.1, Юшина И.В.1, Косинова М.Л.1
-
Учреждения:
- Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
- Выпуск: Том 68, № 2 (2023)
- Страницы: 256-264
- Раздел: НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ И НАНОМАТЕРИАЛЫ
- URL: https://journals.rcsi.science/0044-457X/article/view/136471
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044457X22601547
- EDN: https://elibrary.ru/LPSVDH
- ID: 136471
Цитировать
Аннотация
Разработана CVD-методика осаждения однородных пленок графитоподобного нитрида углерода на подложках из кремния и кварцевого стекла с использованием меламина в качестве прекурсора. Послойное нанесение при малых загрузках прекурсора позволяет осадить пленку толщиной до 1.4 мкм, однако существует возможность достичь больших величин за счет многократного повторения экспериментального цикла. Методом сканирующей электронной микроскопии исследовано влияние параметров синтеза на морфологию поверхности осаждаемых слоев. Химический состав и строение пленок графитоподобного нитрида углерода подтверждены набором спектроскопических методов и рентгеновской дифракцией. Оптические свойства исследованы с применением спектроскопии диффузного отражения. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что пленки, осажденные при температурах 550–650°C, обладают слоистой микрокристаллической структурой. Ширина запрещенной зоны полученных образцов составила 2.76–2.93 эВ.
Ключевые слова
Об авторах
Е. Н. Ермакова
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3
Е. А. Максимовский
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3
И. В. Юшина
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3
М. Л. Косинова
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3
Список литературы
- Liu Y.Y., Cohen M.L. // Science. 1989. V. 245. P. 841. https://doi.org/10.1126/science.245.4920.841
- Deng X., Hattori T., Umehara N. et al. // Thin Solid Films. 2017. V. 621. P. 12. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2016.11.025
- Contreras E., Bolívar F., Gómez M.A. // Surf. Coat. Technol. 2017. V. 332. P. 414. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.05.095
- Liu X., Umehara N., Tokoroyama T. et al. // Tribol. Int. 2019. V. 131. P. 102. https://doi.org/10.1016/j.triboint.2018.10.022
- Li X., Xing M. // Comput. Mater. Sci. 2019. V. 158. P. 170. https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2018.11.004
- Wu Q., Qianku Hu Q, Hou Y. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2018. V. 30. P. 385402. https://doi.org/10.1088/1361-648X/aada2c
- Du J., Li X. // J. Alloys Compd. 2020. V. 815. P. 152324. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2019.152324
- Khanis N.H., Ritikos R., Kamal S.A.A. et al. // Materials. 2017. V. 10. P. 102. https://doi.org/10.3390/ma10020102
- Kovacevic E., Strunskus T., Santhosh N.M. et al. // Carbon. 2021. V. 184. P. 82. https://doi.org/10.1016/j.carbon.2021.08.008
- Fina F., Callear S.K., Carins G.M. et al. // Chem. Mater. 2015. V. 27. P. 2612. https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.5b00411
- Dong G., Zhang Y., Pan Q. et al. // J. Photochem. Photobiol. C. 2014. V. 20. P. 33. https://doi.org/10.1016/j.jphotochemrev.2014.04.002
- Fu J., Yu J., Jiang C. et al. // Adv. Energy Mater. 2018. V. 8. P. 1701503. https://doi.org/10.1002/aenm.201701503
- Козлов Д.А., Артамонов К.А., Ревенко А.О. и др. // Журн. неорган. химии. 2022. Т. 67. № 5. С. 646. https://doi.org/10.31857/S0044457X22050105
- Fidan T., Torabfam M., Saleem Q. et al. // Adv. Energy Sustain. Res. 2021. V. 2. P. 3. https://doi.org/10.1002/aesr.202000073
- Peng G., Xing L., Barrio J. et al. // Angew. Chem. 2018. V. 57. P. 1186. https://doi.org/10.1002/anie.201711669
- Darkwah W.K., Ao Y. // Nanoscale Res. Lett. 2018. V. 13. P. 388. https://doi.org/10.1186/s11671-018-2702-3
- Guo W., Ming S., Chen Z. et al. // ChemElectroChem. 2018. V. 5. P. 3383. https://doi.org/10.1002/celc.201801045
- Majumder S. // Micro and Nano Technologies: Nanostructured Materials for Visible Light Photocatalysis. Amsterdam: Elsevier, 2022. P. 47. https://doi.org/10.1016/j.matlet.2014.08.078
- Wang J., Miller D.R., Gillan E.G. // Chem. Commun. 2002. P. 2258. https://doi.org/10.1039/B207041C
- Yadav R.M., Kumar R., Aliyan A. // New J. Chem. 2020. V. 44. P. 2644. https://doi.org/10.1039/C9NJ05108B
- Thomas A., Fischer A., Goettmann F. // J. Mater. Chem. 2008. V. 18. P. 4893. https://doi.org/10.1039/B800274F
- Sattler A., Pagano S., Zeuner M. // Chem. Eur. J. 2009. V. 15. P. 13161. https://doi.org/10.1002/chem.200901518
- Hong Y., Li C., Li D. et al. // Nanoscale. 2017. V. 9. P. 14 103. https://doi.org/10.1039/C7NR05155G
- Vu N.N., Nguyen C.C., Kaliaguine S. et al. // ChemSusChem. 2018. V. 12. P. 291. https://doi.org/10.1002/cssc.201802394
- Vasilchenko D., Zhurenok A., Saraev A. et al. // Chem. Eng. J. 2022. V. 445. P. 136721. https://doi.org/10.1016/j.cej.2022.136721
- Miller T.S., Belen Jorge A., Suter T.M. et al. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2017. V. 19. P. 15613. https://doi.org/10.1039/C7CP02711G
- Durairaj A., Sakthivel T., Ramanathan S. et al. // ACS Omega. 2019. V. 4. P. 6476. https://doi.org/10.1021/acsomega.8b03279
- Dongmei He, Du L., Wang K. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 1986. https://doi.org/10.1134/S0036023621130040
- Zhang Y.M., An C.W., Zhang D.F. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 679. https://doi.org/10.1134/S0036023621050223
- Сериков Т.М., Ибраев Н.Х., Исайкина О.Я. и др. // Журн. неорган. химии. 2021. Т. 66. № 1. С. 107. https://doi.org/10.31857/S0044457X21010074
- Cesaria M., Caricato A.P., Martino M. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 105. P. 031105. https://doi.org/10.1063/1.4890675
- Reddy K.R., Reddy C.H.V., Nadagouda M.N. et al. // J. Environ. Manage. 2019. V. 238. P. 25. https://doi.org/10.1016/j.jenvman.2019.02.075
- Dubov O., Marcé J.G., Fortuny A. et al. // J. Mater. Sci. 2022. V. 57. P. 4970. https://doi.org/10.1007/s10853-022-06906-5
- Kang Y., Yang Y., Yin L.C. et al. // Adv. Mater. 2015. V. 27. P. 4572. https://doi.org/10.1002/adma.201501939