CVD-синтез пленок графитоподобного нитрида углерода из меламина

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Разработана CVD-методика осаждения однородных пленок графитоподобного нитрида углерода на подложках из кремния и кварцевого стекла с использованием меламина в качестве прекурсора. Послойное нанесение при малых загрузках прекурсора позволяет осадить пленку толщиной до 1.4 мкм, однако существует возможность достичь больших величин за счет многократного повторения экспериментального цикла. Методом сканирующей электронной микроскопии исследовано влияние параметров синтеза на морфологию поверхности осаждаемых слоев. Химический состав и строение пленок графитоподобного нитрида углерода подтверждены набором спектроскопических методов и рентгеновской дифракцией. Оптические свойства исследованы с применением спектроскопии диффузного отражения. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что пленки, осажденные при температурах 550–650°C, обладают слоистой микрокристаллической структурой. Ширина запрещенной зоны полученных образцов составила 2.76–2.93 эВ.

Об авторах

Е. Н. Ермакова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3

Е. А. Максимовский

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3

И. В. Юшина

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3

М. Л. Косинова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: ermakova@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, 3

Список литературы

  1. Liu Y.Y., Cohen M.L. // Science. 1989. V. 245. P. 841. https://doi.org/10.1126/science.245.4920.841
  2. Deng X., Hattori T., Umehara N. et al. // Thin Solid Films. 2017. V. 621. P. 12. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2016.11.025
  3. Contreras E., Bolívar F., Gómez M.A. // Surf. Coat. Technol. 2017. V. 332. P. 414. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.05.095
  4. Liu X., Umehara N., Tokoroyama T. et al. // Tribol. Int. 2019. V. 131. P. 102. https://doi.org/10.1016/j.triboint.2018.10.022
  5. Li X., Xing M. // Comput. Mater. Sci. 2019. V. 158. P. 170. https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2018.11.004
  6. Wu Q., Qianku Hu Q, Hou Y. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2018. V. 30. P. 385402. https://doi.org/10.1088/1361-648X/aada2c
  7. Du J., Li X. // J. Alloys Compd. 2020. V. 815. P. 152324. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2019.152324
  8. Khanis N.H., Ritikos R., Kamal S.A.A. et al. // Materials. 2017. V. 10. P. 102. https://doi.org/10.3390/ma10020102
  9. Kovacevic E., Strunskus T., Santhosh N.M. et al. // Carbon. 2021. V. 184. P. 82. https://doi.org/10.1016/j.carbon.2021.08.008
  10. Fina F., Callear S.K., Carins G.M. et al. // Chem. Mater. 2015. V. 27. P. 2612. https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.5b00411
  11. Dong G., Zhang Y., Pan Q. et al. // J. Photochem. Photobiol. C. 2014. V. 20. P. 33. https://doi.org/10.1016/j.jphotochemrev.2014.04.002
  12. Fu J., Yu J., Jiang C. et al. // Adv. Energy Mater. 2018. V. 8. P. 1701503. https://doi.org/10.1002/aenm.201701503
  13. Козлов Д.А., Артамонов К.А., Ревенко А.О. и др. // Журн. неорган. химии. 2022. Т. 67. № 5. С. 646. https://doi.org/10.31857/S0044457X22050105
  14. Fidan T., Torabfam M., Saleem Q. et al. // Adv. Energy Sustain. Res. 2021. V. 2. P. 3. https://doi.org/10.1002/aesr.202000073
  15. Peng G., Xing L., Barrio J. et al. // Angew. Chem. 2018. V. 57. P. 1186. https://doi.org/10.1002/anie.201711669
  16. Darkwah W.K., Ao Y. // Nanoscale Res. Lett. 2018. V. 13. P. 388. https://doi.org/10.1186/s11671-018-2702-3
  17. Guo W., Ming S., Chen Z. et al. // ChemElectroChem. 2018. V. 5. P. 3383. https://doi.org/10.1002/celc.201801045
  18. Majumder S. // Micro and Nano Technologies: Nanostructured Materials for Visible Light Photocatalysis. Amsterdam: Elsevier, 2022. P. 47. https://doi.org/10.1016/j.matlet.2014.08.078
  19. Wang J., Miller D.R., Gillan E.G. // Chem. Commun. 2002. P. 2258. https://doi.org/10.1039/B207041C
  20. Yadav R.M., Kumar R., Aliyan A. // New J. Chem. 2020. V. 44. P. 2644. https://doi.org/10.1039/C9NJ05108B
  21. Thomas A., Fischer A., Goettmann F. // J. Mater. Chem. 2008. V. 18. P. 4893. https://doi.org/10.1039/B800274F
  22. Sattler A., Pagano S., Zeuner M. // Chem. Eur. J. 2009. V. 15. P. 13161. https://doi.org/10.1002/chem.200901518
  23. Hong Y., Li C., Li D. et al. // Nanoscale. 2017. V. 9. P. 14 103. https://doi.org/10.1039/C7NR05155G
  24. Vu N.N., Nguyen C.C., Kaliaguine S. et al. // ChemSusChem. 2018. V. 12. P. 291. https://doi.org/10.1002/cssc.201802394
  25. Vasilchenko D., Zhurenok A., Saraev A. et al. // Chem. Eng. J. 2022. V. 445. P. 136721. https://doi.org/10.1016/j.cej.2022.136721
  26. Miller T.S., Belen Jorge A., Suter T.M. et al. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2017. V. 19. P. 15613. https://doi.org/10.1039/C7CP02711G
  27. Durairaj A., Sakthivel T., Ramanathan S. et al. // ACS Omega. 2019. V. 4. P. 6476. https://doi.org/10.1021/acsomega.8b03279
  28. Dongmei He, Du L., Wang K. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 1986. https://doi.org/10.1134/S0036023621130040
  29. Zhang Y.M., An C.W., Zhang D.F. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 679. https://doi.org/10.1134/S0036023621050223
  30. Сериков Т.М., Ибраев Н.Х., Исайкина О.Я. и др. // Журн. неорган. химии. 2021. Т. 66. № 1. С. 107. https://doi.org/10.31857/S0044457X21010074
  31. Cesaria M., Caricato A.P., Martino M. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 105. P. 031105. https://doi.org/10.1063/1.4890675
  32. Reddy K.R., Reddy C.H.V., Nadagouda M.N. et al. // J. Environ. Manage. 2019. V. 238. P. 25. https://doi.org/10.1016/j.jenvman.2019.02.075
  33. Dubov O., Marcé J.G., Fortuny A. et al. // J. Mater. Sci. 2022. V. 57. P. 4970. https://doi.org/10.1007/s10853-022-06906-5
  34. Kang Y., Yang Y., Yin L.C. et al. // Adv. Mater. 2015. V. 27. P. 4572. https://doi.org/10.1002/adma.201501939

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2.

Скачать (149KB)
3.

4.

Скачать (509KB)

© Е.Н. Ермакова, Е.А. Максимовский, И.В. Юшина, М.Л. Косинова, 2023

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах