Термодинамическое моделирование процесса CVD в системе Ni–Si–C–H

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Благодаря уникальным свойствам бескислородная керамика является перспективной для применения в различных отраслях техники. Включение металлов или их соединений в эту керамику существенно расширяет возможности ее применения, поэтому активно разрабатываются способы синтеза таких композитов. Одним из способов получения таких пленок является осаждение из газовой фазы. Термодинамическое моделирование позволяет подобрать условия для этого процесса. В работе проведено термодинамическое моделирование CVD-процесса в системе Ni–Si–C–H, где прекурсорами были никелоцен и силан. Результаты работы могут быть полезны для разработки способов получения пленочных материалов на основе SiC и никельсодержащих фаз.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. А. Шестаков

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: vsh@niic.nsc.ru
Россия, пр-т Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090

М. Л. Косинов

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: vsh@niic.nsc.ru
Россия, пр-т Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090

Список литературы

  1. Шестаков А.М. // Тр. ВИАМ, 2021. Ч. 1. № 8 (102). C. 21. https://doi.org/10.18577/2307-6046-2021-0-8-21-33
  2. Hye-Rim Jeong, Tae-Hwan Huh, Byung Hyo Kim, Young-Je Kwark // Ceram. Int. 2022. V. 48. № 12. P. 16576. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.02.202
  3. Idesaki A., Colombo P. // Adv. Eng. Mater. 2012. V. 14. P. 1116. https://doi.org/10.1002/adem.201100354.
  4. Friebe L., Liu K., Obermeier B., Petrov S. et al. // Chem. Mater. 2007. V. 19. P. 2630. https://doi.org/10.1021/cm062470j
  5. Bazarjani M.S., Kleebe H.-J., Müller M.M. et al. // Chem. Mater. 2011. V. 23. Р. 4112. https://doi.org/10.1021/cm200589n
  6. Liu Y., Feng Y., Gong H. et al. // J. Alloys Compd. 2018. V. 749. P. 620. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.03.346
  7. Станкевич Е.В., Тявловская Е.А. // Журн. прикл. спектроскопии. 2010. Т. 77. № 5. С. 737.
  8. Fanping Meng, Bo Wang, Fangfang Ge, Feng Huang // Surf. Coat. Technol. 2012. V. 213. P. 77. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.10.020
  9. Asakuma N., Tada S., Kawaguchi E. et al. // Nanomater. 2022. V. 12. P. 1644. https://doi.org/10.3390/nano12101644
  10. Yu Liu, Xiao Lin, Hongyu Gong et al. // J. Alloys Compd. 2019. V. 771. P. 356. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.08.283
  11. Yu Liu, Xiao Lin, Hongyu Gong et al. // J. Alloys Compd. 2018. V. 749. P. 620. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.03.346
  12. Hahn G., Ewert J.-K., Denner C. et al. // Chem. Cat. Chem. 2016. V. 8. P. 2461. http://dx.doi.org/10.1002/cctc.201600391
  13. Xiaofei Zhang, Lixin Chen, Lala Meng. et al. // Ceram. Int. 2014. V. 40. P. 6937. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2013.12.017
  14. Friebe L., Liu K., Obermeier B. et al. // Chem. Mater. 2007. V. 19. P. 2630. https://doi.org/10.1021/cm062470j
  15. Sheikh Aamir Farooq, Ankush Raina, Sanjay Mohan. et al. // Nanomater. 2022. V. 12. P. 1323. https://doi.org/10.3390/nano12081323
  16. Sheikh Aamir Farooq, Ankush Raina, Sanjay Mohan et al. // Nanomater. 2022. V. 12. P. 1323. https://doi.org/10.3390/nano12081323
  17. Hwang Seong-Don, Remmes N.B., Dowben P.A., McIlroy D.N. // J. Vac. Sci. Technol. 1996. V. B14. P. 2957. https://doi.org/10.1116/1.588942
  18. Fanping Meng, Bo Wang, Fangfang Ge, Feng Huang // Surf. Coat. Technol. 2012. V. 213. P. 77. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.10.020
  19. Шестаков В.А., Косяков В.И., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2020. Т. 65. C. 829. [Shestakov V.A., Kosyakov V.I., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V. 65. P. 898. https://doi.org/10.7868/S0044457X1806017X]
  20. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Изв. АН. Сер. хим. 2021. № 2. С. 283. [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. Chem. Bull., Int. Ed. 2021. V. 70. № 2. P. 283. https://doi.org/10.1007/s11172-021-3083-9]
  21. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2021. Т. 66. № 11. С. 1585. [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 1703. https://doi.org/10.31857/S0044457X21110155]
  22. Шестаков В.А., Яковкина Л.В., Кичай В.Н. // Журн. неорг. химии. 2022. Т. 67. № 12. С. 1746. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600608 [Shestakov V.A., Yakovkina L.V., Kichay V.N. // Russ. J. Inorg. Chem. 2022. V. 67. № 12. P. 1956. https://doi.org/10.1134/S0036023622601179]
  23. Кузнецов Ф.А., Буждан Я.М., Коковин Г.А. // Изв. СО АН СССР. Сер. хим. наук. 1975. № 2. Вып. 1. С. 24.
  24. Kuznetsov F.A., Titov V.A. Proc. Int. Symp. on Advanced Materials. September 24–30. Jpn., 1995. P. 16.
  25. Термодинамические свойства индивидуальных веществ / Под ред. Глушко В.П. и др. М.: Наука, 1988. Т. 3. Кн. 2. 395 с.
  26. Barin I. Termodynamical data of pure substances. N.Y., 1989. 1739 p.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. CVD-диаграмма системы Ni(C5H5)2–9SiH4–nH2 при Р = 0.05 Торр. Штриховой линией отмечена температура плавления NiSi (992С).

Скачать (64KB)
Метаданные
3. Рис. 2. CVD-диаграмма системы Ni(C5H5)2–mSiH4–50H2, m = [SiH4]/[Ni(C5H5)2].

Скачать (87KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Зависимость величины x, отвечающей отношению суммы молей SiC и Ni7Si13 к сумме молей всех фаз комплекса, от параметра m при 700С.

Скачать (135KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».