Получение методом PECVD тонких пленок сульфида галлия и изучение их свойств - PDF (Русский)
© Л.А. Мочалов, М.А. Кудряшов, А.А. Логунов, М.А. Вшивцев, И.О. Прохоров, В.М. Воротынцев, В.М. Малышев, Т.С. Сазанова, Ю.П. Кудряшова, Е.Н. Буланов, А.В. Князев, 2023

