VAKUUMNOE UL'TRAFIOLETOVOE IZLUChENIE PLAZMENNOY STRUI

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Представлена связь между излучательными параметрами горячей плазмы за счет фоторекомбинации электронов и ионов. Полученные соотношения применены для анализа газоразрядной гелиевой плазмы, исследованной экспериментально в рамках конкретной схемы газового разряда. Показано, что такая плазма, из которой выделена центральная часть в результате истечения из области газового разряда через отверстие, является эффективным источником излучения в области вакуумного ультрафиолета. Такой источник может быть использован для литографии.

Авторлар туралы

V. Kraynov

Email: vyhrainov@mail.ru

B. Smirnov

Әдебиет тізімі

  1. Соснин Э.А., Сорокин Д.А. Современные источники вакуумного ультрафиолетового излучения: состояние и перспективы // Успехи прикл. физики. 2024. Т. 12. № 2. С. 159.
  2. Зайдель А.Н., Шрейдер Е.Я. Вакуумная спектроскопия и ее применение. М.: Наука, 1976. 432 с.
  3. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. Долгопрудный: Интеллект, 2009. 736 с.
  4. Жуков М.Ф., Короткева А.С., Урюков Б.А. Прикладная динамика термической плазмы. Новосибирск: Наука, 1975. 300 с.
  5. Асиновский Э.Н., Киршлин А.В., Низовский В.Л. Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте. М.: Физматлит, 2008. 264 с.
  6. Аньшаков А.С., Быков А.Н., Тимонеевский А.Н., Урбах Э.К. Взаимосвязь эрозионных процессов с аэродинамикой закрученного потока в цилиндрическом электроде плазмотрона // Теплофизика и аэромеханика. 2002. Т. 9. № 4. С. 623.
  7. Аньшаков А.С., Урбах Э.К., Ващенко С.П., Поздняков Б.А., Урбах А.Э., Фалеев В.А., Черепиченко В.С. Исследование сильногенной дуги в гелии // Теплофизика и аэромеханика. 2009. Т. 16. С. 687.
  8. Исакаев Э.Х., Чиннов В.Ф., Сараен М.А., Кавыршин Д.И. Неравновесность сильноионизованной гелиевой плазмы атмосферного давления // ТВТ. 2013. Т. 51. № 2. С. 163.
  9. Коршунов О.В., Чиннов В.Ф., Кавыршин Д.И. Сильноионизованная дуговая плазма He. Неравновесность, неидеальность и кинетика // ТВТ. 2019. Т. 57. № 2. С. 164.
  10. Шавелкина М.Б., Амиров Р.Х., Кавыршин Д.И., Чиннов В.Ф. Спектроскопическое исследование плазменной струи гелия с добавками углеводородов // ТВТ. 2020. Т. 58. № 3. С. 327.
  11. Smirnov B.M. Theory of Gas Discharge Plasma. Heidelberg: Springer, 2014. 424 p.
  12. Бете Г. Квантовая механика. М.: Мир, 1965. 334 с.
  13. Marr G.V., West J.B. Absolute Photoionization Cross-section Tables for Helium, Neon, Argon, and Krypton in the VUV Spectral Regions // Atom. Data Nucl. Data Tabl. 1976. V. 18. № 5. P. 497.
  14. Samson J.A.R., He Z.X., Yin L., Haddad G.N. Precision Measurements of the Absolute Photoionization Cross-sections of He // J. Phys. B. 1994. V. 27. P. 887.
  15. Samson J.A.R., Stolte W.S. Precision Measurements of the Absolute Photoionization Cross-sections of He, Ar, Ne, Kr, and Xe // J. Electron Spectrosc. Related Phenomena. 2002. V. 123. P. 265.
  16. Huebner W.F., Mukherjee J. Photoionization and Photo dissociation Rates in Solar and Blackbody Radiation Fields // Planetary Space Sci. 2015. V. 106. P. 11.
  17. Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Излучательные процессы в атомной физике. М.: Высшая школа, 1981. 290 с.
  18. Krainov V.P., Smirnov B.M. Atomic and Molecular Radiative Processes. Switzerland: Springer Nature, 2019. 274 p.
  19. Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Short-wavelength Emission from a Hot Dense Plasma // Plasma Phys. Rep. 2024. V. 50. № 8. P. 987.
  20. Saha M.N. On a Physical Theory of Stellar Spectra // Proc. Roy. Soc. 1921. V. 99A. Iss. 697. P. 135.
  21. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Т. 1. М.: Наука, 1976.
  22. D’Angelo N. Recombination of Ions and Electrons // Phys. Rev. 1961. V. 121. P. 501.
  23. Hinnov E., Hirschberger J.G. Electron‒Ion Recombination in Dense Plasmas // Phys. Rev. 1962. V. 125. P. 792.
  24. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме, М.: Атомиздат, 1968. 364 c.
  25. Bates D.R., Kingston D.R., McWhirter R.W.P. Recombination between Electrons and Atomic Ions. I. Optically Thin Plasmas // Proc. Roy. Soc. Ser. A. 1962. V. 267. Iss. 1330. P. 297.
  26. Watanabe T. Excitation Transfer of S-P Type between Identical Atoms // Phys. Rev. 1965. V. 139A. P. 1375.
  27. Смирнов Б.М. Асимптотические методы в теории атомных столкновений. М.: Атомиздат, 1973. 294 с.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу

© Russian Academy of Sciences, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».