Email this article 
VAKUUMNOE UL'TRAFIOLETOVOE IZLUChENIE PLAZMENNOY STRUI
- Authors: Kraynov V.P.1, Smirnov B.M.1
-
Affiliations:
- Issue: Vol 63, No 4 (2025)
- Pages: 475-480
- Section: Plasma Investigations
- URL: https://journals.rcsi.science/0040-3644/article/view/358252
- DOI: https://doi.org/10.7868/S3034610X25040033
- ID: 358252
Cite item
Open Access
Access granted
Subscription Access
Abstract
Представлена связь между излучательными параметрами горячей плазмы за счет фоторекомбинации электронов и ионов. Полученные соотношения применены для анализа газоразрядной гелиевой плазмы, исследованной экспериментально в рамках конкретной схемы газового разряда. Показано, что такая плазма, из которой выделена центральная часть в результате истечения из области газового разряда через отверстие, является эффективным источником излучения в области вакуумного ультрафиолета. Такой источник может быть использован для литографии.
References
- Соснин Э.А., Сорокин Д.А. Современные источники вакуумного ультрафиолетового излучения: состояние и перспективы // Успехи прикл. физики. 2024. Т. 12. № 2. С. 159.
- Зайдель А.Н., Шрейдер Е.Я. Вакуумная спектроскопия и ее применение. М.: Наука, 1976. 432 с.
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. Долгопрудный: Интеллект, 2009. 736 с.
- Жуков М.Ф., Короткева А.С., Урюков Б.А. Прикладная динамика термической плазмы. Новосибирск: Наука, 1975. 300 с.
- Асиновский Э.Н., Киршлин А.В., Низовский В.Л. Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте. М.: Физматлит, 2008. 264 с.
- Аньшаков А.С., Быков А.Н., Тимонеевский А.Н., Урбах Э.К. Взаимосвязь эрозионных процессов с аэродинамикой закрученного потока в цилиндрическом электроде плазмотрона // Теплофизика и аэромеханика. 2002. Т. 9. № 4. С. 623.
- Аньшаков А.С., Урбах Э.К., Ващенко С.П., Поздняков Б.А., Урбах А.Э., Фалеев В.А., Черепиченко В.С. Исследование сильногенной дуги в гелии // Теплофизика и аэромеханика. 2009. Т. 16. С. 687.
- Исакаев Э.Х., Чиннов В.Ф., Сараен М.А., Кавыршин Д.И. Неравновесность сильноионизованной гелиевой плазмы атмосферного давления // ТВТ. 2013. Т. 51. № 2. С. 163.
- Коршунов О.В., Чиннов В.Ф., Кавыршин Д.И. Сильноионизованная дуговая плазма He. Неравновесность, неидеальность и кинетика // ТВТ. 2019. Т. 57. № 2. С. 164.
- Шавелкина М.Б., Амиров Р.Х., Кавыршин Д.И., Чиннов В.Ф. Спектроскопическое исследование плазменной струи гелия с добавками углеводородов // ТВТ. 2020. Т. 58. № 3. С. 327.
- Smirnov B.M. Theory of Gas Discharge Plasma. Heidelberg: Springer, 2014. 424 p.
- Бете Г. Квантовая механика. М.: Мир, 1965. 334 с.
- Marr G.V., West J.B. Absolute Photoionization Cross-section Tables for Helium, Neon, Argon, and Krypton in the VUV Spectral Regions // Atom. Data Nucl. Data Tabl. 1976. V. 18. № 5. P. 497.
- Samson J.A.R., He Z.X., Yin L., Haddad G.N. Precision Measurements of the Absolute Photoionization Cross-sections of He // J. Phys. B. 1994. V. 27. P. 887.
- Samson J.A.R., Stolte W.S. Precision Measurements of the Absolute Photoionization Cross-sections of He, Ar, Ne, Kr, and Xe // J. Electron Spectrosc. Related Phenomena. 2002. V. 123. P. 265.
- Huebner W.F., Mukherjee J. Photoionization and Photo dissociation Rates in Solar and Blackbody Radiation Fields // Planetary Space Sci. 2015. V. 106. P. 11.
- Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Излучательные процессы в атомной физике. М.: Высшая школа, 1981. 290 с.
- Krainov V.P., Smirnov B.M. Atomic and Molecular Radiative Processes. Switzerland: Springer Nature, 2019. 274 p.
- Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Short-wavelength Emission from a Hot Dense Plasma // Plasma Phys. Rep. 2024. V. 50. № 8. P. 987.
- Saha M.N. On a Physical Theory of Stellar Spectra // Proc. Roy. Soc. 1921. V. 99A. Iss. 697. P. 135.
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Т. 1. М.: Наука, 1976.
- D’Angelo N. Recombination of Ions and Electrons // Phys. Rev. 1961. V. 121. P. 501.
- Hinnov E., Hirschberger J.G. Electron‒Ion Recombination in Dense Plasmas // Phys. Rev. 1962. V. 125. P. 792.
- Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме, М.: Атомиздат, 1968. 364 c.
- Bates D.R., Kingston D.R., McWhirter R.W.P. Recombination between Electrons and Atomic Ions. I. Optically Thin Plasmas // Proc. Roy. Soc. Ser. A. 1962. V. 267. Iss. 1330. P. 297.
- Watanabe T. Excitation Transfer of S-P Type between Identical Atoms // Phys. Rev. 1965. V. 139A. P. 1375.
- Смирнов Б.М. Асимптотические методы в теории атомных столкновений. М.: Атомиздат, 1973. 294 с.
Supplementary files
