ВАКУУМНОЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ ПЛАЗМЕННОЙ СТРУИ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Представлена связь между излучательными параметрами горячей плазмы за счет фоторекомбинации электронов и ионов. Полученные соотношения применены для анализа газоразрядной гелиевой плазмы, исследованной экспериментально в рамках конкретной схемы газового разряда. Показано, что такая плазма, из которой выделена центральная часть в результате истечения из области газового разряда через отверстие, является эффективным источником излучения в области вакуумного ультрафиолета. Такой источник может быть использован для литографии.

Об авторах

В. П. Крайнов

Московский физико-технический институт

Email: vyhrainov@mail.ru
Долгопрудный, Россия

Б. М. Смирнов

Объединенный институт высоких температур РАН

Москва, Россия

Список литературы

  1. Соснин Э.А., Сорокин Д.А. Современные источники вакуумного ультрафиолетового излучения: состояние и перспективы // Успехи прикл. физики. 2024. Т. 12. № 2. С. 159.
  2. Зайдель А.Н., Шрейдер Е.Я. Вакуумная спектроскопия и ее применение. М.: Наука, 1976. 432 с.
  3. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. Долгопрудный: Интеллект, 2009. 736 с.
  4. Жуков М.Ф., Короткева А.С., Урюков Б.А. Прикладная динамика термической плазмы. Новосибирск: Наука, 1975. 300 с.
  5. Асиновский Э.Н., Киршлин А.В., Низовский В.Л. Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте. М.: Физматлит, 2008. 264 с.
  6. Аньшаков А.С., Быков А.Н., Тимонеевский А.Н., Урбах Э.К. Взаимосвязь эрозионных процессов с аэродинамикой закрученного потока в цилиндрическом электроде плазмотрона // Теплофизика и аэромеханика. 2002. Т. 9. № 4. С. 623.
  7. Аньшаков А.С., Урбах Э.К., Ващенко С.П., Поздняков Б.А., Урбах А.Э., Фалеев В.А., Черепиченко В.С. Исследование сильногенной дуги в гелии // Теплофизика и аэромеханика. 2009. Т. 16. С. 687.
  8. Исакаев Э.Х., Чиннов В.Ф., Сараен М.А., Кавыршин Д.И. Неравновесность сильноионизованной гелиевой плазмы атмосферного давления // ТВТ. 2013. Т. 51. № 2. С. 163.
  9. Коршунов О.В., Чиннов В.Ф., Кавыршин Д.И. Сильноионизованная дуговая плазма He. Неравновесность, неидеальность и кинетика // ТВТ. 2019. Т. 57. № 2. С. 164.
  10. Шавелкина М.Б., Амиров Р.Х., Кавыршин Д.И., Чиннов В.Ф. Спектроскопическое исследование плазменной струи гелия с добавками углеводородов // ТВТ. 2020. Т. 58. № 3. С. 327.
  11. Smirnov B.M. Theory of Gas Discharge Plasma. Heidelberg: Springer, 2014. 424 p.
  12. Бете Г. Квантовая механика. М.: Мир, 1965. 334 с.
  13. Marr G.V., West J.B. Absolute Photoionization Cross-section Tables for Helium, Neon, Argon, and Krypton in the VUV Spectral Regions // Atom. Data Nucl. Data Tabl. 1976. V. 18. № 5. P. 497.
  14. Samson J.A.R., He Z.X., Yin L., Haddad G.N. Precision Measurements of the Absolute Photoionization Cross-sections of He // J. Phys. B. 1994. V. 27. P. 887.
  15. Samson J.A.R., Stolte W.S. Precision Measurements of the Absolute Photoionization Cross-sections of He, Ar, Ne, Kr, and Xe // J. Electron Spectrosc. Related Phenomena. 2002. V. 123. P. 265.
  16. Huebner W.F., Mukherjee J. Photoionization and Photo dissociation Rates in Solar and Blackbody Radiation Fields // Planetary Space Sci. 2015. V. 106. P. 11.
  17. Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Излучательные процессы в атомной физике. М.: Высшая школа, 1981. 290 с.
  18. Krainov V.P., Smirnov B.M. Atomic and Molecular Radiative Processes. Switzerland: Springer Nature, 2019. 274 p.
  19. Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Short-wavelength Emission from a Hot Dense Plasma // Plasma Phys. Rep. 2024. V. 50. № 8. P. 987.
  20. Saha M.N. On a Physical Theory of Stellar Spectra // Proc. Roy. Soc. 1921. V. 99A. Iss. 697. P. 135.
  21. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Т. 1. М.: Наука, 1976.
  22. D’Angelo N. Recombination of Ions and Electrons // Phys. Rev. 1961. V. 121. P. 501.
  23. Hinnov E., Hirschberger J.G. Electron‒Ion Recombination in Dense Plasmas // Phys. Rev. 1962. V. 125. P. 792.
  24. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме, М.: Атомиздат, 1968. 364 c.
  25. Bates D.R., Kingston D.R., McWhirter R.W.P. Recombination between Electrons and Atomic Ions. I. Optically Thin Plasmas // Proc. Roy. Soc. Ser. A. 1962. V. 267. Iss. 1330. P. 297.
  26. Watanabe T. Excitation Transfer of S-P Type between Identical Atoms // Phys. Rev. 1965. V. 139A. P. 1375.
  27. Смирнов Б.М. Асимптотические методы в теории атомных столкновений. М.: Атомиздат, 1973. 294 с.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).