Информация об авторе
Колодко, Д. В.
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 68, № 10 (2023) | ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ | Поток положительных ионов кислорода с высокой энергией из плазмы на подложку в импульсном магнетронном разряде с горячей мишенью | |
Том 68, № 11 (2023) | НАНОЭЛЕКТРОНИКА | Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде |