Informaçao sobre o Autor
Колодко, Д. В.
Edição | Seção | Título | Arquivo |
Volume 68, Nº 10 (2023) | ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ | Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target. | |
Volume 68, Nº 11 (2023) | НАНОЭЛЕКТРОНИКА | Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде |