Author Details
Лисенков, В. Ю.
Issue | Section | Title | File |
Vol 68, No 10 (2023) | ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ | Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target. | |
Vol 68, No 11 (2023) | НАНОЭЛЕКТРОНИКА | Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде |