作者的详细信息
Лисенков, В. Ю.
期 | 栏目 | 标题 | 文件 |
卷 68, 编号 10 (2023) | ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ | Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target. | |
卷 68, 编号 11 (2023) | НАНОЭЛЕКТРОНИКА | Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде |