ПРЕЦИЗИОННЫЙ ДАТЧИК ПОЛОЖЕНИЯ ДЛЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ ЛАЗЕРНОГО СИНТЕЗА МИКРОСТРУКТУР НА ТРЕХМЕРНЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Завьялова М. А.; Солдатенко А. В.; Кокарев С. А.

doi:10.31857/S003281622302012X

ПРЕЦИЗИОННЫЙ ДАТЧИК ПОЛОЖЕНИЯ ДЛЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ ЛАЗЕРНОГО СИНТЕЗА МИКРОСТРУКТУР НА ТРЕХМЕРНЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Authors: Завьялова М.¹, Солдатенко А.¹, Кокарев С.¹
Affiliations:
1. Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН
Issue: No 3 (2023)
Pages: 80-90
Section: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
URL: https://journals.rcsi.science/0032-8162/article/view/138376
DOI: https://doi.org/10.31857/S003281622302012X
EDN: https://elibrary.ru/UXQXIW
ID: 138376

Cite item

Full Text

Open Access
Restricted Access

Access granted
Restricted Access

Subscription Access

Abstract
About the authors
References
Supplementary files
Statistics

Abstract

Представлены результаты компьютерного моделирования прецизионного датчика положения на основе ножа Фуко для автоматической фокусировки излучения в ходе высокоскоростных лазерных технологических процессов, приведены результаты его внедрения и испытания на промышленных предприятиях в составе круговых лазерных записывающих систем. Данный датчик встраивается в лазерные комплексы для микроструктурирования поверхности оптических материалов и позволяет определять их положение с высоким разрешением (погрешность не превышает 0.1 мкм).

References

Skidanov R.V., Ganchevskaya S.V., Vasil’ev V.S., Blank V.A. // J. Opt. Technol. 2022. № 89. P. 132–136. https://doi.org/10.1364/JOT.89.000132
Gerhard C. Optics Manufacturing: Components and Systems. CRC Press. 2017. P. 325. ISBN: 9781351228367. https://doi.org/10.1201/9781351228367
Полещук А.Г., Корольков В.П., Вейко В.П., Заколдаев Р.А., Сергеев М.М. // Автометрия. 2018. № 2. С. 3. https://doi.org/10.15372/AUT20180201
Завьялова М.А. Дис. … канд. техн. наук, Новосибирск: Новосиб. гос. техн. ун-т, 2021.
Radtke D., Zeitner Uwe D. // Optics Express. 2007. V. 15. № 3. P. 1167. https://doi.org/10.1364/OE.15.001167
Taisheng Wang, Weixing Yu, Dengying Zhang, Chunrong Li, Hongxin Zhang, Wenbin Xu, Zhijun Xu, Hua Liu, Qiang Sun, Zhenwu Lu // Optics Express. 2010. V. 18. № 24. P. 25102. https://doi.org/10.1364/OE.18.025102
Luo J., Liang Y., Yang G. // Optical Engineering. 2011. V. 50 (7). P. 073601. https://doi.org/10.1117/1.3597327
Верхогляд А.Г., Завьялова М.А., Качкин А.Е., Кокарев С.А., Корольков В.П. // Датчики и системы. 2015. № 9–10. С. 45.
Handbook of Optics. MacGraw-Hill Companies. Inc. 1995. V. I. P. 31.14.
Chugui Yu.V., Verkhoglyad A.G., Zavyalov P.S., Sysoev E., Kulikov R.V., Vykhristyuk I.A., Zavyalova M.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P. // Int. J. of Automation Technology. 2015. V. 9. № 5. P. 515.