Тонкие пленки селенида галлия на кремнии, полученные плазмохимическим осаждением из газовой фазы

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Впервые методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) были получены тонкие пленки селенида галлия (GaSe) на кремнии (111), где высокочистые элементы галлий и селен были использованы в качестве прекурсоров. Реакционноспособные компоненты плазмы, образующиеся в газовой фазе, были изучены методом оптической эмиссионной спектроскопии. Все полученные пленки имеют стехиометрию близкую к GaSe. Увеличение мощности плазменного разряда до 50 Вт и выше приводит к формированию фазы ε-GaSe, а также к повышению структурного качества пленок и росту размеров зерен с одновременным их уплотнением.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

М. А. Кудряшов

Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева; Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Автор, ответственный за переписку.
Email: mikhail.kudryashov1986@yandex.ru
Россия, Нижний Новгород; Нижний Новгород

Л. А. Мочалов

Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева; Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mikhail.kudryashov1986@yandex.ru
Россия, Нижний Новгород; Нижний Новгород

Ю. П. Кудряшова

Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева; Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mikhail.kudryashov1986@yandex.ru
Россия, Нижний Новгород; Нижний Новгород

Е. А. Слаповская

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mikhail.kudryashov1986@yandex.ru
Россия, Нижний Новгород

Список литературы

  1. Grzonka J., Claro M.S., Molina‐Sánchez A., Sadewasser S., Ferreira P.J. // Adv. Funct. Mater. 2021. V. 31. № 48. P. 2104965.
  2. Jiang B., Hao Z., Ji Y., Hou Y., Yi R., Mao D. et al. // Light Sci. Appl. 2020. V. 9. № 1. P. 63.
  3. Curreli N., Serri M., Zappia M.I., Spirito D., Bianca G., Buha J. et al. // Adv. Electron. Mater. 2021. V. 7. № 3. P. 2001080.
  4. Urakami N., Nakakura S., Hashimoto Y. // Appl. Phys. Express. 2023. V. 16. № 5. P. 056503.
  5. Tonndorf P., Schwarz S., Kern J., Niehues I., Pozo-Zamudio O. Del, Dmitriev A.I. et al. // 2D Mater. 2017. V. 4. № 2. P. 021010.
  6. Shevchenko O.N., Mikerin S.L., Kokh K.A., Nikolaev N.A. // Appl. Sci. 2023. V. 13. № 4. P. 2045.
  7. Castellano A. // Appl. Phys. Lett. 1986. V. 48. № 4. P. 298.
  8. Chang C.-C., Zeng J.-X., Lan S.-M., Uen W.-Y., Liao S.-M., Yang T.-N. et al. // Thin Solid Films. 2013. V. 542. P. 119.
  9. Liu C.-W., Dai J.-J., Wu S.-K., Diep N.-Q., Huynh S.-H., Mai T.-T. et al. // Sci. Rep. 2020. V. 10. № 1. P. 12972.
  10. Sakr G.B. // Mater. Sci. Eng. B. 2007. V. 138. № 1. P. 1.
  11. Mahmoud W.E., Al-Ghamdi A.A., Shirbeeny W., Al-Hazmi F.S., Khan S.A. // Superlattices Microstruct. 2013. V. 63. P. 162.
  12. Elamin A.A., Alsulaim G. // Asp. Min. Miner. Sci. 2023. V. 10. № 5. P. 1188.
  13. Jian S.-R., Juang J.-Y., Luo C.-W., Ku S.-A., Wu K.-H. // J. Alloys Compd. 2012. V. 542. P. 124.
  14. Ohyama M., Fujita Y. // Surf. Coatings Technol. 2003. V. 169–170. P. 620.
  15. Kudryashov M., Mochalov L., Nezdanov A., Kornev R., Logunov A., Usanov D. et al. // Superlattices Microstruct. 2019. V. 128. P. 334.
  16. Usanov D., Nezhdanov A., Kudryashov M., Krivenkov I., Markelov A., Trushin V. et al. // J. Non. Cryst. Solids. 2019. V. 513. P. 120.
  17. Sazanova T.S., Mochalov L.A., Logunov A.A., Kudryashov M.A., Fukina D.G., Vshivtsev M.A. et al. // Nanomaterials. 2022. V. 12. № 11. P. 1838.
  18. Minkov D., Angelov G., Nestorov R., Nezhdanov A., Usanov D., Kudryashov M., Mashin A. // Materials (Basel). 2020. V. 13. № 13. P. 2981.
  19. Mochalov L., Logunov A., Kudryashov M., Prokhorov I., Sazanova T., Yunin P. et al. // ECS J. Solid State Sci. Technol. 2021. V. 10. № 7. P. 073002.
  20. Ruedy J.E., Gibbs R.C. // Phys. Rev. 1934. V. 46. № 10. P. 880.
  21. Erdevdy M., Markush P., Shpenik O., Zvenihorodsky V. // Eur. Phys. J. D. 2015. V. 69. № 1. P. 17.
  22. Smirnov Y.M. // High Temp. 2006. V. 44. № 5. P. 656.
  23. Shirai T., Reader J., Kramida A.E., Sugar J. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 2007. V. 36. № 2. P. 509.
  24. Мансуров В.Г., Галицын Ю.Г., Малин Т.В., Тийс С.А., Федосенко Е.В., Кожухов А.С., Журавлев К.С., Cora I., Pecz B. // ФТП. 2018. Т. 52. № 12. С. 1407.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Схематичное изображение плазмохимической установки для синтеза тонких пленок GaSe.

Скачать (491KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Эмиссионные спектры смесей Ar–Se (1), Ar–Ga (2) и Ar–Ga–Se (3).

Скачать (279KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Карта распределения элементарных галлия и селена по поверхности пленки, осажденной на кремний при мощности плазмы 50 Вт.

Скачать (548KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Дифрактограммы пленок селенида галлия, осажденных при различных значениях мощности плазмы.

Скачать (256KB)
Метаданные
6. Рис. 5. СЭМ-изображения пленок селенида галлия, осажденных при разной мощности плазмы: 30 (а), 50 (б) и 70 Вт (в). Масштабная линейка 200 нм.

Скачать (679KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».