Sources of Carbon Impurities in the Preparation of High-Purity Monoisotopic 28Si by a Hydride Method


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

This paper examines sources of carbon impurities in polycrystalline monoisotopic 28Si prepared by a hydride method. Analytical data on the concentrations of carbon-containing impurities in volatile silicon compounds (28SiH4 and 28SiH4), process gases (Ar and H2), and polycrystalline 28Si are used to identify the major sources of carbon in the polycrystalline 28Si prepared by the hydride method. These are the starting 28SiH4 and calcium hydride used in 28SiH4 conversion into 28SiH4. The rate of carbon intake into polycrystalline silicon from the apparatus material during the monosilane pyrolysis process does not exceed 9 × 1011 cm–2 h–1. Polycrystalline silicon has been precipitated from monosilane with different concentrations of hydrocarbon impurities. At hydrocarbon concentrations in the range 10–4 to 10–3 mol %, the carbon concentration in the monosilane correlates with that in the silicon obtained from it. High-purity monosilane has been used to prepare polycrystalline 28Si samples with concentrations of carbon impurities in the range (0.8–2.3) × 1015 cm–3. Based on calculations of the carbon impurity distribution along the length of a zone-refined ingot, we examine the effect of the initial carbon concentration in the starting polycrystal on the yield of single-crystal monoisotopic 28Si. Requirements are formulated for the carbon concentration in polycrystalline 28Si which ensure a high yield of single crystals with parameters suitable for metrological applications.

Об авторах

A. Bulanov

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances; Lobachevsky State University

Автор, ответственный за переписку.
Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951; pr. Gagarina 23, Nizhny Novgorod, 603950

V. Gavva

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

A. Sozin

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

M. Churbanov

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances; Lobachevsky State University

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951; pr. Gagarina 23, Nizhny Novgorod, 603950

T. Kotereva

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

Yu. Kirillov

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

A. Lashkov

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

O. Troshin

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances; Lobachevsky State University

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951; pr. Gagarina 23, Nizhny Novgorod, 603950

T. Sorochkina

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

O. Chernova

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

N. Abrosimov

Leibniz-Institut für Kristallzüchtung

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Германия, Max-Born-Str. 2, Berlin, D-12489

L. Shabarova

Devyatykh Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: bulanov@ihps.nnov.ru
Россия, ul. Tropinina 49, Nizhny Novgorod, 603951

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Pleiades Publishing, Ltd., 2018

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».