Correlation between the structure, specific resistance, and optical properties of ITO films grown by CVD

I. G. Atabaev; M. U. Khazhiev; S. B. Zakirova; Z. Shermatov

doi:10.3103/S0003701X1704003X

Correlation between the structure, specific resistance, and optical properties of ITO films grown by CVD

Авторлар: Atabaev I.G.¹, Khazhiev M.U.¹, Zakirova S.B.¹, Shermatov Z.¹
Мекемелер:
1. Physicotechnical Institute, Physics–Sun Scientific Production Association
Шығарылым: Том 53, № 4 (2017)
Беттер: 322-325
Бөлім: Solar Engineering Materials Science
URL: https://journals.rcsi.science/0003-701X/article/view/149349
DOI: https://doi.org/10.3103/S0003701X1704003X
ID: 149349

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

By means of chemical vapor deposition (CVD) in a quasi-closed space with the use of a separate vaporizer, indium and tin oxides (ITOs)/glass structures with high conductivity and transparency and a thickness of up to 3 μm are obtained; they are suitable for the manufacture of protective coatings of mirrors with a reflecting facial layer.