Интерференционная холоэллипсометрия «in situ» прозрачного двумерного одноосного кристалла при нормальном отражении лазерного излучения

Обложка

Цитировать

Аннотация

В работе представлены: а) метод интерференционной холоэллипсометрии in situ (эллипсометрия полного набора измеряемых параметров: модулей и фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения света с линейными p- и s-поляризациями) при нормальном отражении лазерного излучения от прозрачного двумерного одноосного кристалла с оптической осью в плоскости отражающей поверхности; б) реализующий предложенный метод холоэллипсометр на основе интерферометра Майкельсона с фазовой модуляцией лазерного излучения.

Об авторах

Мухаммед Али

Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана

Email: MochmedAli2206@jmail.com
Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана

Юрий Юрьевич Качурин

Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана

Email: caich@mail.ru
Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана

Анатолий Павлович Кирьянов

Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН

Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН

Татьяна Александровна Рыжова

Российский университет дружбы народов

Российский университет дружбы народов

Игорь Петрович Шапкарин

Московский государственный университет дизайна и технологий

Московский государственный университет дизайна и технологий

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).