ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПАССИВИРУЮЩИХ СТРУКТУР МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ
- Авторы: Мамонтов В.С.1, Гурин С.А.2, Новичков М.Д.1,2, Агафонов Д.В.1,2, Закирова К.Л.1
-
Учреждения:
- Пензенский государственный университет
- Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов
- Выпуск: № 2 (2025)
- Страницы: 43-48
- Раздел: ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ
- URL: https://journals.rcsi.science/2307-5538/article/view/296481
- DOI: https://doi.org/10.21685/621.382
- ID: 296481
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Актуальность и цели. Актуальность данного исследования связана с развитием радиоэлектронной аппаратуры, которая требует улучшения электрических параметров электронных компонентов, в том числе временной и температурной стабильности. Материалы и методы. Исследованы процессы, протекающие в структуре тонких пленок, приводящие к изменению сопротивления тонкопленочного резистора с течением времени. Результаты. Представлена технология синтеза тонкопленочных резисторов с защитным покрытием и параметры, определяющие материалы тонких пленок и их последовательность. Выводы. Разработанная технология позволяет до- биться значений ТКС тонкопленочных резисторов в диапазоне ±3 1/°C.
Об авторах
Виталий Сергеевич Мамонтов
Пензенский государственный университет
Автор, ответственный за переписку.
Email: kipra@pnzgu.ru
доцент кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры
(Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)Сергей Александрович Гурин
Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов
Email: teslananoel@rambler.ru
кандидат технических наук, начальник лаборатории,
(Россия, г. Пенза, ул. Каракозова, 44)Максим Дмитриевич Новичков
Пензенский государственный университет; Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов
Email: novichkov1998maks@gmail.com
аспирант; инженер-технолог
(Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40); (Россия, г. Пенза, ул. Каракозова, 44)Дмитрий Вячеславович Агафонов
Пензенский государственный университет; Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов
Email: dmitryagafonov@list.ru
магистрант; инженер-конструктор
(Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40); (Россия, г. Пенза, ул. Каракозова, 44)Камила Ленаровна Закирова
Пензенский государственный университет
Email: Zakirovacamila@yandex.ru
магистрант
(Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)Список литературы
- Лучинин В. В., Мальцев П. П. Нанотехнологии в новом технологическом укладе // Нано- и микро- системная техника. 2021. Т. 23, № 1. С. 3–5.
- Волков В. С., Баринов И. Н. Компенсация температурной погрешности чувствительности высоко- температурных полупроводниковых датчиков давления // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2013. № 1. С. 30–36.
- Лугин А. Н. Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов : монография. Пенза : Инф.-изд. центр ПГУ, 2009. 287 с.
- Асташенкова О. Н., Корляков А. В. Контроль физико-механических параметров тонких пленок // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 2. С. 24–29.
- Сергеев В. Е., Воротынцев В. М. Разработка модифицированной технологии термостабилизации тонкопленочных резистивных элементов // Проектирование и технология электронных средств. 2021. № 1. С. 4–9.
- Chen C., Zhu J., Chen Y., Wang G. Unveiling structural characteristics for ultralow resistance drift in BiSb- Ge2Sb2Te5 materials for phase-change neuron synaptic devices // Journal of Alloys and Compounds. 2022. Vol. 892. P. 162148.
- Pecherskaya E. A., Gurin S. A., Novichkov M. D. Combined Thin-Film Resistive and Strain-Resistant Structures with Temperature Self-Compensation // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2022. Vol. 16, № 6. P. 1074–1080. doi: 10.1134/s1027451022060209
- Сергеев В. Е., Воротынцев В. М. Разработка модифицированной технологии термостабилизации тонкопленочных резистивных элементов // Проектирование и технология электронных средств. 2021. № 1. С. 4–9.
- Аверин И. А., Печерская Р. М. Управление параметрами резистивных структур посредством отжига // Труды Международного симпозиума Надежность и качество. 2008. Т. 2. С. 144–145.
- Печерская Е. А., Гурин С. А., Новичков М. Д. Высокотемпературный отжиг многослойных резистивных структур // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2023. № 1. С. 56–61. doi: 10.21685/2307-5538-2023-1-7
- Гурин С. А. Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации : дис. … канд. техн. наук. СПб., 2016. 157 с.
Дополнительные файлы
