Эллипсометрический контроль толщины пленок карбида кремния на полиметилметакрилатной основе


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Путем экспериментального измерения нанесенных ионно-плазменным напылением тонких пленок SiC было показано, что эллипсометрический контроль технологического процесса изготовления сложных композиционных покрытий, позволяющий точно выбрать время нанесения покрытия для получения нужной толщины.

Об авторах

А. П Воронов

ГБОУ ВПО «Московский государственный медико-стоматологический университет им. А.И. Евдокимова»

Кафедра комплексного зубопротезирования 127206, г. Москва

Игорь Анатольевич Воронов

ГБОУ ВПО «Московский государственный медико-стоматологический университет им. А.И. Евдокимова»

Email: voronov77@mail.ru
Кафедра комплексного зубопротезирования 127206, г. Москва

Е. А Митрофанов

ОАО «НИИ вакуумной техники им. С.А. Векшинского»

117105, г. Москва

Список литературы

  1. Vedam K. Spectroscopic ellipsometry: a historical overview. Thin Solid Films. 1998; 313-314: 1-9.
  2. Azzam R.M.A. Ellipsometry. In: Handb. Opt. Vol. I: Geom. Phys. Opt. Polariz. Light. Components Instruments. Third Ed. / Ed. M. Bass. McGraw Hill Professional, Access Engineering; 2010: 16.116.25.
  3. Воевода М.И. и др. Применение эллипсометрии для исследований биоорганических сред. Автометрия. 2011; 47(5): 114-21.
  4. Kolodnyi G.Y. et al. Ion beam optical coatings for visible and near-IR lasers. In: Laser Opt. 2000 / Ed V.I. Ustugov. International Society for Optics and Photonics; 2001: 120-5.
  5. Крылова Т.Н., Бохонская И.Ф., Карапетян Г.А. Измерение прозрачных пленок на поверхности стекла эллипсометрическим и спектрофотометрическим методами. Оптика и спектроскопия. 1980; 49(4): 802-8.
  6. Anusavice K.J. Phillips’ Science of Dental Materials. 11th Ed. Elsevier Health Sciences; 2003.
  7. Gautam R. et al. Biocompatibility of polymethylmethacrylate resins used in dentistry. J. Biomed. Mater. Res. B: Appl. Biomater. 2012; 100(5): 1444-50.
  8. Nikawa H., Yamamoto T., Hamada T. Effect of components of resilient denture-lining materials on the growth, acid production and colonization of Candida albicans. J. Oral Rehabil. 1995; 22(11): 817-24.
  9. Austin A.T., Basker R.M. The level of residual monomer in acrylic denture base materials with particular reference to a modified method of analysis. Br. Dent. J. 1980; 149(10): 281-6.
  10. Kallus T., Mjor I.A. Incidence of adverse effects of dental materials. Scand. J. Dent. Res. 1991; 99(3): 236-40.
  11. Takami Y. et al. Protein adsorption onto ceramic surfaces. J. Biomed. Mater. Res. 1998; 40(1): 24-30.
  12. Harder C., Rzany A., Schaldach M. Coating of vascular stents with antithrombogenic amorphous silicon carbide. Progr. Biomed. Res. 1999; 4: 71-7.
  13. Huguenin-Love J. et al. Growth and characterization of silicon carbide thin films on silicon using a hollow cathode pulse sputtering technique. Thin Solid Films. 2012; 520(7): 2395-408.
  14. Saddow S.E. et al. Chapter 2: SiC films and coatings: Amorphous, polycrystalline, and single crystal forms. Silicon Carbide Biotechnol. Elsevier; 2012: 17-61.
  15. Азарова В.В., Вольпян О.Д., Фокин В.В. Эллипсометрия градиентных диэлектрических нанопленок. В кн.: Труды X Межвузовской научной школы молодых специалистов «Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине». 2011; 19-27.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© ООО "Эко-Вектор", 2015


 


Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».