Synthesis of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride from a Gas Mixture of Methyltris(Diethylamino)Silane, Nitrogen, and Oxygen


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

A synthesis of thin films consisting of hydrogenated silicon oxycarbonitride using high-frequency discharge plasma from a novel organosilicon compound methyltris(diethylamino)silane (MTDEAS) mixed with oxygen and nitrogen are studied. CVD diagrams are obtained as a result of the thermodynamic modeling of the Si–C–N–H–O system in the temperature range from 300 to 1300 K, which makes it possible to optimize the synthesis of film materials such as SiCxNyOz:H. The silicon oxycarbonitride films of various compositions are experimentally obtained in the range of deposition temperatures from 373 to 973 K for different compositions of the initial MTDEAS + O2+ xN2 gas mixture. A change in the chemical composition of the gas mixtures leads to obtaining SiCxNyOz:H films having a large range of functional properties; the refractive index varies from 1.5 to 2.21; the adjustable transparency varies from 92–99.7% in the UV visible and IR spectral regions; and the tunable band gap characteristics vary in the range from 2.5 to 4.5 eV and from 2.9 to 0.7 eV for films grown from MTDEAS + O2+ N2 and MTDEAS + O2+ 2N2 mixtures, respectively. It is shown that the films contain nanocrystals of phases belonging to structures such as Si3 – xCxN4 embedded in the amorphous matrix of hydrogenated silicon oxycarbonitride layers.

Об авторах

N. Fainer

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences

Автор, ответственный за переписку.
Email: nadezhda@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

A. Plekhanov

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences

Email: nadezhda@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

E. Maksimovsky

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences

Email: nadezhda@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

Yu. Rumyantsev

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences

Email: nadezhda@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Inc., 2018

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».