Device for Determining the Contour of the Visible Area of Optical Elements (Contourograph)

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

This work presents a device for determining the contour of the visible area of optical elements (contourograph), designed for precise correlation of the coordinates of the visible area of the optical part with its physical dimensions. The developed device ensures the determination of the coordinates of the processed surface with an accuracy of ± 2.5 μm, which is necessary for high-precision ion beam processing. The contourograph is capable of outlining objects of arbitrary shape, including curved ones, as well as the contours of objects oriented at arbitrary angles relative to the linear motorized translators of the device. The high accuracy of determining the position of the processed surface directly affects the quality of ion beam processing, which allows for significant improvement in the characteristics of the optical element and, consequently, the optical system as a whole. During the work, the contourograph was successfully applied in the manufacturing of a substrate for the element of a two-mirror monochromator for station 1-1 "Microfocus" of the 4th generation synchrotron "SKIF" (Novosibirsk, Russia), demonstrating its practical significance and efficiency. By using the contourograph, an optical surface with the required characteristics was achieved, with the root mean square deviation of the surface reduced by 25 times - from the initial 25.7 nm to 1.0 nm.

Авторлар туралы

A. Artuhov

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

E. Glushkov

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

M. Mikhailenko

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

A. Pestov

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

E. Petrakov

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

V. Polkovnikov

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

A. Chernyshev

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

N. Chkhalo

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

R. Shaposhnikov

Institute for Physics of Microstructures RAS

Email: chernyshev@ipmras.ru
Nizhny Novgorod, 603950

Әдебиет тізімі

  1. Hoffman C., Giallorenzi T.G., Slater L.B. // Appl. Opt. 2015. V. 54. N. 31. P. F268. https://www.doi.org/10.1364/AO.54.00F268
  2. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я., Лучин В.И., Нечай А.Н., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Торопов М.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И., Щербаков А.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2017. No 1. С. 5. https://www.doi.org/10.7868/s0207352817010048
  3. Wagner Ch., Harned N. // Nature Photon. 2010. V. 4. N. 1. P. 24. https://www.doi.org/10.1038/nphoton.2009.251
  4. Born M., Wolf E. // Principles of Optics (Cambridge University). 1999. Sec. 9.3. P. 528.
  5. Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zabrodin I.G. // Precis. Eng. 2017. V. 48. P. 338. https://www.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
  6. Wilson S.R., Reicher D.W., McNeil J.R. // Proc. SPIE. 1988. V. 966. P. 74. https://www.doi.org/10.1117/12.948051
  7. Weiser M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2009. V. 267. No 8-9. P. 1390. https://www.doi.org/10.1016/j.nimb.2009.01.051
  8. Wilson S.R., McNeil JR. // Proc. SPIE. 1987. V. 818. P. 320. https://www.doi.org/10.1117/12.978903
  9. Mikhailenko M.S., Pestov A.E., Chkhalo N.I., Goncharov L.A., Chernyshev A.K., Zabrodin I.G., Kaskov I.A., Krainov P.V., Astakhov D.I., Medvedev V.V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2021. V. 1010. P. 165554. https://www.doi.org/10.1016/j.nima.2021.165554
  10. Lu Y., Xie X., Zhou L., Dai Z., Chen G. // Appl. Opt. 2017. V. 56. No 2. P. 260. https://www.doi.org/10.1364/AO.56.000260
  11. Bauer J., Ulitschka M., Pietag F., Arnold T. // J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 2018. V. 4. No 4. P. 046003. https://www.doi.org/10.1117/1.JATIS.4.4.046003
  12. Petrakov E.V., Glushkov E.I., Chernyshev A.K., Chkhalo N.I. // Opt. Eng. 2024. V. 63. No 11. P. 114104. https://doi.org/10.1117/1.OE.63.11.114104
  13. Chernyshev A., Chkhalo N., Malyshev I., Mikhailenko M., Pestov A., Pleshkov R., Smertin R., Svechnikov M., Toropov M. // Precis. Eng. 2021. V. 69. P. 29. https://www.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
  14. Xie L., Tian Y., Shi F., Guo S., Zhou G. // J. Mater. Process. Technol. 2024. V. 327. P. 118341. https://www.doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2024.118341
  15. Антюшин Е.С., Ахсахалян А.А., Зуев С.Ю., Лопатин А.Я., Малышев И.В., Нечай А.Н., Перекалов А.А., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Уласевич Б.А., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И., Соловьев А.А., Стародубцев М.В. // ЖТФ. 2022. Т. 92. No 8. С. 1202. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52784.80-22
  16. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Soloviev A.A. // Appl. Opt. 2016. V. 55. P. 619. https://www.doi.org/10.1364/AO.55.000619
  17. Kuzin S., Bogachev S., Pertsov A., Loboda I., Chervinsky V., Chkhalo N., Lopatin A., Malyshev I., Pestov A., Pleshkov R., Polkovnikov V., Toropov M., Tsybin N., Zuev S. // Appl. Opt. 2023. V. 62. P. 8462. https://www.doi.org/10.1364/AO.501437
  18. Артюхов А.И., Морозов С.С., Петрова Д.В., Чхало Н.И., Шапошников Р.А. // ЖТФ. 2024. Т. 94. No 8. С. 1295. https://www.doi.org/10.61011/JTF.2024.08.58557.165-24
  19. Apache NetBeans (2024) The Apache Software Foundation. https://netbeans.apache.org/front/main/index.html
  20. Java programming language (2024) Oracle Corporation, USA. https://www.oracle.com/java/
  21. Swing Package (2024) Oracle Corporation, USA. https://docs.oracle.com/en/java/javase/17/docs/api/java.desktop/javax/swing/package-summary.html
  22. Glushkov E.I., Malyshev I.V., Petrakov E.V., Chkhalo N.I., Khomyakov Yu.V., Rakshun Ya.V., Chernov V.A., Dolbnya I.P. // J. Surf. Invest: X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2023. V. 17. No 1. P. 233. https://www.doi.org/10.1134/S1027451023070133
  23. Chernov V.A., Bataev I.A., Rakshun Y.V., Khomyakov Y.V., Gorbachev M.V., Trebushinin A.E., Chkhalo N.I., Krasnorutskiy D.A., Naumkin V.S., Sklyarov A.N., Mezentsev N.A., Korsunsky A.M., Dolbnya I.P. // Rev. Sci. Instrum. 2023. V. 94 P. 013305. https://www.doi.org/10.1063/5.0103481
  24. Забродин И.Г., Зорина М.В., Каськов И.А., Малышев И.В., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чернышев А.К., Чхало Н.И. // ЖТФ. 2020. Т. 90. No 11. С. 1922. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49985.112-20

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу

© Russian Academy of Sciences, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».