Структура, транспортные и магнитные свойства ультратонких и тонких пленок FeSi на Si(111)
- Авторы: Галкин Н.Г.1, Чернев И.М.1, Субботин Е.Ю.1, Горошко О.А.1, Доценко С.А.1, Маслов А.М.1, Галкин К.Н.1, Кропачев О.В.1, Горошко Д.Л.1, Самардак А.Ю.2, Герасименко А.В.3, Аргунов Е.В.4
-
Учреждения:
- Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
- Дальневосточный федеральный университет
- Институт химии ДВО РАН
- Национальный исследовательский технологический университет “МИСиС”
- Выпуск: № 4 (2024)
- Страницы: 3–16
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.rcsi.science/1028-0960/article/view/260982
- DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096024040014
- EDN: https://elibrary.ru/GKRPEZ
- ID: 260982
Цитировать
Аннотация
Методами твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии при 350°С выращены поликристаллические и эпитаксиальные пленки моносилицида железа (FeSi) толщиной 3.2–20.35 нм на подложке Si(111), что подтверждено данными рентгеновской дифракции. Исследования морфологии показали, что пленки сплошные и гладкие со среднеквадратичной шероховатостью от 0.4 до 1.1 нм при росте методом твердофазной эпитаксии, а в случае молекулярно-лучевой эпитаксии имеют повышенную шероховатость и состоят из коалесцировавших зерен с размерами до 1 мкм и плотностью проколов до 1 × 107 см–2. При твердофазной эпитаксии увеличение толщины приводит к неполному образованию силицида и появлению слоя неупорядоченного моносилицида железа толщиной от 10 до 20 нм с возможным избытком железа. Это подтверждено изменением характера температурной зависимости удельного сопротивления ρ от полупроводникового до полуметаллического и уменьшением удельного сопротивления в полтора–два раза. Установлен немонотонный характер температурной зависимости удельного сопротивления ρ(T) ультратонкой пленки FeSi толщиной 3.2 нм, на котором выделены максимум при 230–240 К, участок роста от 160 до 65 К с Eg = 14.8 мэВ и дальнейший рост без насыщения до температуры 1.5 К. При увеличении толщины пленок FeSi, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, минимум и максимум не наблюдаются, но сохраняется тенденция немонотонного роста ρ(T) с уменьшением температуры и открытием запрещенной зоны Eg = 23 мэВ. Рассмотрены вероятные причины возникновения эффектов на зависимостях ρ(T). В ультратонкой и тонкой пленках FeSi, выращенных методами твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии соответственно, обнаружен аномальный эффект Холла, который подтвержден слабыми ферромагнитными свойствами пленок. Полученные результаты доказали возможность роста и управления свойствами ультратонких и тонких пленок FeSi на кремнии, полученных методами твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии, что обеспечило их уникальные транспортные и магнитные свойства, отсутствующие у монокристаллов.
Полный текст
Об авторах
Н. Г. Галкин
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
И. М. Чернев
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
Е. Ю. Субботин
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: jons712@mail.ru
Россия, 690041, Владивосток
О. А. Горошко
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
С. А. Доценко
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
А. М. Маслов
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
К. Н. Галкин
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
О. В. Кропачев
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
Д. Л. Горошко
Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690041, Владивосток
А. Ю. Самардак
Дальневосточный федеральный университет
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Институт наукоемких технологий и передовых материалов
Россия, 690922, Владивосток, о. РусскийА. В. Герасименко
Институт химии ДВО РАН
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 690022, Владивосток
Е. В. Аргунов
Национальный исследовательский технологический университет “МИСиС”
Email: galkin@iacp.dvo.ru
Россия, 119049, Москва
Список литературы
- Jaccarino V., Wertheim G.K., Wernick J.H., Walker L.R., Arajs S. // Phys. Rev. 1967. V. 160. P. 476. https://www.doi.org/10.1103/PhysRev.160.476
- Aeppli G., Fisk Z., Thompson J.D, Mandrus D., Hund-ley M.F., Miglori A., Bucher B., Schlesinger Z., Aeppli G., Bucher E., DiTusa J.F., Oglesby C.S., Ott H-R., Canfi-eld P.C., Brown S.E. // Comments Condens. Matter Phys. 1992. V. 16. P. 155. https://www.doi.org/10.1016/0921-4526(94)00588-M
- Schlesinger Z., Fisk Z., Zhang H.-T., Maple M.B., DiTusa J.F., Aeppli G. // Phys. Rev. Lett. 1993. V. 71. P. 1748. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevLett.71.1748
- Degiorgi L., Hunt M.B., Ott H.R., Dressel M., Feenstra B.J., Gruner G., Fisk Z., Canfield P. // Europhys. Lett. 1994. V. 28. P. 341. https://www.doi.org/10.1209/0295-5075/28/5/008
- Damascelli A., Schulte K., Van der Marel D., Menov-sky A.A. // Phys. Rev. B. 1997. V. 55. P. R4863. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.55.R4863
- Fäth M., Aarts J., Menovsky A.A., Nieuwenhuys G.J., Mydosh J.A. // Phys. Rev. B. 1998. V. 58. P. 15483. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.58.15483
- Samuely P., Szabó P., Mihalik M., Hudáková N., Menovsky A.A. // Physica B. 1996. V. 218. P. 185. https://www.doi.org/10.1016/0921-4526(95)00589-7
- Lacerda A., Zhang H., Canfield P.C., Hundley M.F., Fisk Z., Thompson J.D., Seaman C.L., Maple M.B., Aeppli G. // Physica B. 1993. V. 186–188. P. 1043. https://www.doi.org/10.1016/0921-4526(93)90780-A
- Breuer K., Messerli S., Purdie D., Garnier M., Hengsberger M., Baer Y., Mihalik M. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. P. R7061. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.56.R7061
- Tajima K., Endoh Y., Fischer J.E., Shirane G. // Phys. Rev. B. 1988. V. 38. P. 6954. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.38.6954
- Beille J., Voiron J., Roth M. // Solid State Commun. 1983. V. 47. P. 399. https://www.doi.org/10.1016/0038-1098(83)90928-6
- Takahashi Y., Moriya T. // J. Phys. Soc. Jpn. 1979. V. 46. P. 1451. https://www.doi.org/10.1143/JPSJ.46.1451
- Takahashi Y., Tano M., Moriya T. // J. Magn. Magn. Mater. 1983. V. 31. P. 329. https://www.doi.org/10.1016/0304-8853(83)90266-4
- Evangelou S.N., Edwards D.M. // J. Phys. C. 1983. V. 16. P. 2121. https://www.doi.org/10.1088/0022-3719/16/11/015
- Fisk Z., Sarrao J.L., Thompson J.D., Mandrus D., Hundley M.F., Migliori A., Bucher B., Schlesinger Z., Aeppli G., Bucher E., DiTusa J.F., Oglesby C.S., Ott H.R., Canfield P.C., Brown S.E. // Physica B. 1995. V. 206–207. P. 798. https://www.doi.org/10.1016/0921-4526(94)00588-M
- Varma C.M. // Phys. Rev. B. 1994. V. 50. P. 9952. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.50.9952
- Fu C., Doniach S. // Phys. Rev. B. 1995. V. 51. P. 17439. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.51.17439
- Anisimov V.I., Ezhov S.Y., Elfimov I.S., Solovyev I.V., Rice T.M. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 76. P. 1735. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevLett.76.1735
- Jarlborg T. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 77. P. 3693. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevLett.77.3693
- Klein M., Zur D., Menzel D., Schoenes J., Doll K., Roder J., Reinert F. // Phys. Rev. Lett. 2008. V. 101. P. 046406. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevLett.101.046406
- Khmelevskyi S., Kresse G., Mohn P. // Phys. Rev. B. 2018. V. 98. P. 125205. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.98.125205
- Neef M., Doll K., Zwicknagl G. // J. Phys.: Condens. Matter. 2006. V. 18. P. 7437. https://www.doi.org/10.1088/0953-8984/18/31/035
- Glushkov V.V., Demishev S.V., Kondrin M.V., Pronin A.A., Voskoboinikov I.B., Sluchanko N.E., Moshchalkov V.V., Menovsky A.A. // Physica B. 2002. V. 312–313. P. 509. https://www.doi.org/10.1016/S0921-4526(01)01329-1
- Glushkov V.V., Voskoboinikov I.B., Demishev S.V., Krivitskii I.V., Menovsky A., Moshchalkov V.V., Sama-rin N.A., Sluchanko N.E. // J. Experim. Theor. Phys. 2004. V. 99. P. 394. https://www.doi.org/10.1134/1.1800197
- Arita M., Shimada K., Takeda Y., Nakatake M. Namatame H., Taniguchi M., Negishi H., Oguchi T., Saitoh T., Fujimori A.M., Kanomata T. // Phys. Rev. B. 2008. V. 77. P. 205117. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.77.205117
- Eo Y.S., Avers K., Horn J.A., Yoon H., Saha S., Suarez A., Fuhrer M.S., Paglione J. arXiv:2302.09996v1 [cond-mat.str-el] https://www.doi.org/110.48550/arXiv.2302.09996
- Klein M., Zur D., Menzel D., Schoenes J., Doll K., Röder J., Reinert F. // Phys. Rev. Lett. 2008. V. 101. P. 046406. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevLett.101.046406
- Tomczak J.M., Haule K., Kotliar G. // PNAS. 2012. V. 109. P. № 9. P. 3243. https://www.doi.org/10.1073/pnas.1118371109
- Fang Y., Ran S. // PNAS. 2018. V. 115. № 34. P. 8558. https://www.doi.org/10.1073/pnas.1806910115
- Changdar S., Aswartham S., Bose A., Kushnirenko Y., Shipunov G., Plumb N. C., Shi M., Narayan A., Büchner B., Thirupathaiah S. // Phys. Rev. B. 2020. V. 101. P. 235105. https://www.doi.org/10.1103/physrevb.101.235105
- Breindel A.J., Deng Y., Moir C.M., Maple M.B. // PNAS. 2023. V. 120. № 8. P. e2216367120. https://www.doi.org/10.1073/pnas.2216367120
- Rakoski A., Eo Y.S., Kurdak C., Kang B., Song M., Cho B. // J. Supercond. Novel Magn. 2019. V. 33. № 1. P. 265. https://www.doi.org/10.1007/s10948-019-05281-8
- Ohtsuka Y., Kanazawa N., Hirayama M., Matsui A., Nomoto T., Arita R., Nakajima T., Hanashima T., Ukleev V., Aoki H., Mogi M., Fujiwara K., Tsukazaki A., Ichikawa M., Kawasaki M., Tokura Y. // Sci. Adv. 2021. V. 7. P. eabj0498. https://www.doi.org/10.1126/sciadv.abj0498
- Rashba E.I. // Sov. Phys. Solid State. 1960. V. 2. P. 1109.
- Hori T., Kanazawa N., Hirayama M., Fujiwara K., Tsukazaki A., Ichikawa M., Kawasaki M., Tokura Y. // Adv. Mater. 2023. V. 35. P. 2206801. https://www.doi.org/10.1002/adma.202206801
- Кучис Е.В. Гальваномагнитные эффекты и методы их исследования. М.: Радио и связь, 1990. 264 с.
- Crystallography Open Database (COD). https://www.crystallography.net/cod/result.php
- Vinh L.T., Chevrier J., Derrien J. // Phys. Rev. B. 1992. V. 46. P. 15946. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.46.15946
- Mi W.B., Liu H., Li Z.Q.,Wu P., Jiang E.Y., Bai H.L. // J. Phys. D. 2006. V. 39. P. 5109. https://www.doi.org/10.1088/0022-3727/39/24/002
- Prakash R., Choudhary R.J., Sharath Chandra L.S., Lakshmi N., Phase D.M. // J. Phys.: Condens. Matter. 2007. V. 19. P. 486212. https://www.doi.org/10.1088/0953-8984/19/48/486212
- Thorne R.E. // Phys. Today. 1996. V. 49. № 5. P. 42. https://www.doi.org/10.1063/1.881498
- Mott N.F. // Philosoph. Magazine: J. Theor. Experim. Appl. Phys. 1969. V. 19. № 160. P. 835. https://www.doi.org/10.1080/14786436908216338
- Efros A.L. // J. Phys. C. 1975. V. 8. № 4. P. L49. https://www.doi.org/10.1088/0022-3719/8/4/003
- Altshuler B.L., Khmel'nitzkii D., Larkin A.I., Lee P.A. // Phys. Rev. B. 1980. V. 22. P. 5142. https://www.doi.org/10.1103/PhysRevB.22.5142
- Shevlyagin A.V., Galkin N.G., Galkin K.N., Subbotin E.Y., Il’yaschenko V.M., Gerasimenko A.V., Tkachenko I.A. // J. Alloys Compd. 2022. V. 910. P. 164893. https://www.doi.org/10.1016/j.jallcom.2022.164893
- Смит Р. Полупроводники. М.: Мир, 1982. 560 с.
- Savitzky A., Golay M.J. // Anal. Chem. 1964. V. 36. Р. 1627. https://www.doi.org/10.1021/ac60214a047