Study of Reflectivity and Microstructure of Mo/Be Multilayer Mirrors

G. D. Antysheva; Антышева Г. Д.; N. Kumar; Кумар Н.; R. S. Pleshkov; Плешков Р. С.; P. A. Yunin; Юнин П. А.; V. N. Polkovnikov; Полковников В. Н.; N. I. Chkhalo; Чхало Н. И.

doi:10.31857/S1028096023120026

Исследование отражательной способности и микроструктуры многослойных зеркал Mo/Be

Авторы: Антышева Г.Д.¹^,2, Кумар Н.¹, Плешков Р.С.¹, Юнин П.А.¹^,2, Полковников В.Н.¹, Чхало Н.И.¹
Учреждения:
1. Институт физики микроструктур РАН
2. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Выпуск: № 12 (2023)
Страницы: 3-6
Раздел: Статьи
URL: https://journals.rcsi.science/1028-0960/article/view/232205
DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096023120026
EDN: https://elibrary.ru/AXEXHB
ID: 232205

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Коэффициент отражения и микроструктура многослойных зеркал Mo/Be были исследованы в зависимости от величины Γ – отношения толщины слоя Mo к периоду d_p. Толщина и период слоев были изучены с помощью рентгеновской дифракции (длина волны 0.154 нм). Четко выраженные пики брэгговского отражения высокой интенсивности указывают на хорошую воспроизводимость толщин слоев по глубине многослойной структуры и высокое качество границ раздела. Отражательная способность зеркала на длине волны 11.4 нм составляла максимум 62% при Γ = 0.42. Она резко снижалась при более высоком и более низком значении Γ. Оба слоя Mo и Be при Γ = 0.42 представляли собой поликристаллы, которые были исследованы с помощью рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рассеяния света соответственно. Также было установлено, что размеры кристаллитов почти совпадают с толщинами слоев Be и Mo в периоде.

Ключевые слова

микроструктура, многослойная пленка Mo/Be, коэффициент отражения, граница раздела.

Список литературы

Medvedev R.V., Zameshin A.A., Sturm J.M., Yakshin A.E., Bijkerk F. // AIP Adv. 2020. V. 10. P. 45305. https://doi.org/10.1063/1.5143397
Underwood J.H., Barbee T.W., Jr., Frieber C. // Appl. Opt. 1986. V. 25. P. 1730. https://doi.org/10.1364/AO.25.001730
Yu B., Jin C., Yao S., Li C., Liu Y., Zhou F., Guo B., Wang H., Xie Y., Wang L. // Appl. Opt. 2017. V. 56. P. 7462. https://doi.org/10.1364/AO.56.007462
Huang Q., Medvedev V., van de Kruijs R., Yakshin A., Louis E., Bijkerk F. // Appl. Phys. Rev. 2017. V. 4. P. 11104. https://doi.org/10.1063/1.4978290
Akhsakhalyan A.D., Kluenkov E.B., Lopatin A.A., Luchin V.I., Nechay A.N., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Svechnikov M.V., Toropov M.N., Tsybin N.N., Chkhalo N.I., Shcherbakov A.V. // J. Surf. Invest.: X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2017. V. 11. P. 1. https://doi.org/10.7868/S0207352817010048
Bajt S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. P. 557.
Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Optics Express. 2018. V. 26. P. 33718. https://doi.org/10.1364/OE.26.033718
Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И. // УФН. 2020. Т. 190. С. 92. https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623
Kumar N., Pleshkov R.S., Garakhin S.A., Nezhdanov A.V., Yunin P.A., Polkovnikov V.N., Chkhalo N.I. // Surf. Interfaces. 2022. V. 28. P. 101656. https://doi.org/10.1016/j.surfin.2021.101656
Kozakov A.T., Kumar N., Garakhin S.A., Polkovnikov V.N., Chkhalo N.I., Nikolskii A.V., Scrjabin A.A., Nezhdanov A.V., Yunin P.A. // Appl. Surf. Sci. 2021. V. 566. P. 150616. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150616
Kumar N., Pleshkov R.S., Nezhdanov A.V., Polkovnikov V.N., Yunin P.A., Chkhalo N.I., Mashin A.I. // J. Phys. Chem. 2021. V. 125. P. 2729. https://doi.org/10.1021/ACS.JPCC.0C10210
Pardanaud C., Rusu M.I., Giacometti G., Martin C., Addab Y., Roubin P., Lungu C.P., Porosnicu C., Jepu I., Dinca P., Lungu M., Pompilian O.G., Mateus R., Alves E., Rubel M. // Phys. Scr. 2016. V. 167. P. 14027. https://doi.org/10.1088/0031-8949/T167/1/014027
Feldman D.W., Parker J.H., Jr., Ashkin M. // Phys. Rev. Lett. 1968. V. 21. P. 607. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.21.607
Roy A.P., Dasannacharya B.A., Thaper C.L., Iyengar P.K. // Phys. Rev. Lett. 1973. V. 30. P. 906. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.30.906
Nedelcu I., van de R.W.E., Yakshin A.E., Bijkerk F. // Phys. Rev. B. 2007. V. 76. P. 245404. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.76.245404
Гарахин С.А., Забродин И.Г., Зуев С.Ю., Каськов И.А., Лопатин А.Я., Нечай А.Н., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И. // Квантовая электроника. 2017. Т. 47. № 4. С. 385.
Landau L.D., Lifshitz E.M. Electrodynamics of Continuous Media. Oxford: Pergamon Press, 1984. 475 p.
Starkov I.A., Starkov A.S. // J. Phys.: Conf. Ser. 2016. V. 741. P. 12004. https://doi.org/10.1088/1742-6596/741/1/012004
Chkhalo N.I., Fedorchenko M.V., Kovalenko N.V., Kruglyakov E.P., Volokhov A.I., Chernov V.A., Mytnichenko S.V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 1995. V 359. P. 121. https://doi.org/10.1016/0168-9002(94)01633-X
Svechnikov M. // J. Appl. Crystallogr. 2020. V. 53. P. 244. https://doi.org/10.1107/S160057671901584X
Kumar N., Pleshkov R.S., Nezhdanov A.V., Polkovnikov V.N., Yunin P.A., Chkhalo N.I., Mashin A.I. // J. Phys. Chem. C. 2021. V. 125. P. 2729. https://doi.org/10.1021/ACS.JPCC.0C10210