Низкопериодические многослойные пленки Ti/NixMoy с варьируемой квазиоднородной структурой для нейтронной рефлектометрии
- Авторы: Авдеев М.В.1, Гапон И.В.2, Меркель Д.2, Ердаулетов М.1,3,4, Джансейтов Д.М.3,4, Тропин Т.В.1
-
Учреждения:
- Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка, Объединенный институт ядерных исследований
- Исследовательский центр Вигнера, Венгерская академия наук
- Институт ядерной физики, Министерство энергетики Республики Казахстан
- Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева
- Выпуск: № 8 (2023)
- Страницы: 46-51
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.rcsi.science/1028-0960/article/view/137796
- DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096023080046
- EDN: https://elibrary.ru/OBLHMB
- ID: 137796
Цитировать
Аннотация
Приведены результаты тестирования многослойных гетероструктур Ti/NixMoy с малым периодом подслоев на предмет практического применения квазиоднородного подхода с варьированием плотности эффективной длины рассеяния тонких (толщина <100 нм) пленок в экспериментах методом нейтронной рефлектометрии зеркального отражения с изменяющейся границей раздела. С помощью изменения эффективной плотности длины рассеяния пленок предлагается варьировать контраст между компонентами сложных границ раздела (состоящих из нескольких компонентов, в том числе имеющих коллоидную природу), повышая таким образом чувствительность и информативность нейтронного эксперимента, проводимого в режиме in situ. Структуры с разным соотношением толщин подслоев NixMoy и Ti синтезированы магнетронным напылением. На основе анализа кривых зеркального отражения нейтронов сделан вывод о применимости однородного приближения.
Об авторах
М. В. Авдеев
Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка,Объединенный институт ядерных исследований
Автор, ответственный за переписку.
Email: avd@nf.jinr.ru
Россия, 141980, Московская область, Дубна
И. В. Гапон
Исследовательский центр Вигнера, Венгерская академия наук
Email: avd@nf.jinr.ru
Венгрия, 1121, Будапешт
Д. Меркель
Исследовательский центр Вигнера, Венгерская академия наук
Email: avd@nf.jinr.ru
Венгрия, 1121, Будапешт
М. Ердаулетов
Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка,Объединенный институт ядерных исследований; Институт ядерной физики, Министерство энергетики Республики Казахстан; Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева
Email: avd@nf.jinr.ru
Россия, 141980, Московская область, Дубна; Казахстан, 050032, Алматы; Казахстан, 010000, Нур-Султан
Д. М. Джансейтов
Институт ядерной физики, Министерство энергетики Республики Казахстан; Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева
Email: avd@nf.jinr.ru
Казахстан, 050032, Алматы; Казахстан, 010000, Нур-Султан
Т. В. Тропин
Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка,Объединенный институт ядерных исследований
Email: avd@nf.jinr.ru
Россия, 141980, Московская область, Дубна
Список литературы
- Петренко В.И., Косячкин Е.Н., Булавин Л.А., Авдеев М.В. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2020. № 13. С. 3.
- Rus E.D., Dura J.A. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2019. V. 11. P. 47553.
- Lee C.H., Dura J.A., LeBar A., DeCaluwe S.C. // J. Power Sources. 2019. V. 412. P. 725.
- Avdeev M.V., Rulev A.A., Ushakova E.E. et al. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 486. P. 287.
- Косячкин Е.Н., Гапон И.В., Рулев А.А. и др. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 8. С. 10.
- Бобриков И.А, Гапон И.В., Авдеев М.В. // Физ. эл. частиц и атом. ядра. 2022. Т. 53. № 3. С. 692.
- Li Y., Xu X., Chen J. et al // J. Phys. Chem. C 2020. V. 124. 15107.
- Avdeev M.V., Rulev A.A., Bodnarchuk V.I. et al. // Appl. Surf. Sci. 2017. V. 424. P. 378.
- Петренко В.И., Косячкин Е.Н., Булавин Л.А., Авдеев М.В. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2018. № 7. С. 20.
- Veres T., Cser L., Bodnarchuk V. et al. // Thin Solid Films. 2013. V. 540. P. 69.
- Гапон И.В., Кузьменко М.О., Авдеев М.В., Иванова Н.А. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. № 4. С.30.
- Sivaramalingam A., Thankaraj Salammal S., Soosaimanickam A. et al., Role of TiO2 in Highly Efficient Solar Cells. In: Rajendran, S., Karimi-Maleh, H., Qin, J., Lichtfouse, E. (eds) Metal, Metal-Oxides and Metal Sulfides for Batteries, Fuel Cells, Solar Cells, Photocatalysis and Health Sensors. Environmental Chemistry for a Sustainable World, V. 62. Springer, Cham., 2021. https://doi.org/10.1007/978-3-030-63791-0_5
- Матвеев В.А., Плешанов Н.К., Геращенко О.В., Байрамуков В.Ю. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2014. № 10. С. 34.
- Kovács-Mezei R., Krist Th., Révay Zs. // Nucl. Instr. Methods A. 2008. V. 586. № 1. P. 51.
- Bottyán L., Merkel D.G., Nagy B. et al. // Rev. Sci. Instr. 2013. V. 84. №. 1. 015112.
- Nelson A. // J. Appl. Cryst. 2006. V. 39. P. 273.