Низкопериодические многослойные пленки Ti/NixMoy с варьируемой квазиоднородной структурой для нейтронной рефлектометрии

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Приведены результаты тестирования многослойных гетероструктур Ti/NixMoy с малым периодом подслоев на предмет практического применения квазиоднородного подхода с варьированием плотности эффективной длины рассеяния тонких (толщина <100 нм) пленок в экспериментах методом нейтронной рефлектометрии зеркального отражения с изменяющейся границей раздела. С помощью изменения эффективной плотности длины рассеяния пленок предлагается варьировать контраст между компонентами сложных границ раздела (состоящих из нескольких компонентов, в том числе имеющих коллоидную природу), повышая таким образом чувствительность и информативность нейтронного эксперимента, проводимого в режиме in situ. Структуры с разным соотношением толщин подслоев NixMoy и Ti синтезированы магнетронным напылением. На основе анализа кривых зеркального отражения нейтронов сделан вывод о применимости однородного приближения.

Об авторах

М. В. Авдеев

Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка,
Объединенный институт ядерных исследований

Автор, ответственный за переписку.
Email: avd@nf.jinr.ru
Россия, 141980, Московская область, Дубна

И. В. Гапон

Исследовательский центр Вигнера, Венгерская академия наук

Email: avd@nf.jinr.ru
Венгрия, 1121, Будапешт

Д. Меркель

Исследовательский центр Вигнера, Венгерская академия наук

Email: avd@nf.jinr.ru
Венгрия, 1121, Будапешт

М. Ердаулетов

Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка,
Объединенный институт ядерных исследований; Институт ядерной физики, Министерство энергетики Республики Казахстан; Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева

Email: avd@nf.jinr.ru
Россия, 141980, Московская область, Дубна; Казахстан, 050032, Алматы; Казахстан, 010000, Нур-Султан

Д. М. Джансейтов

Институт ядерной физики, Министерство энергетики Республики Казахстан; Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева

Email: avd@nf.jinr.ru
Казахстан, 050032, Алматы; Казахстан, 010000, Нур-Султан

Т. В. Тропин

Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка,
Объединенный институт ядерных исследований

Email: avd@nf.jinr.ru
Россия, 141980, Московская область, Дубна

Список литературы

  1. Петренко В.И., Косячкин Е.Н., Булавин Л.А., Авдеев М.В. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2020. № 13. С. 3.
  2. Rus E.D., Dura J.A. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2019. V. 11. P. 47553.
  3. Lee C.H., Dura J.A., LeBar A., DeCaluwe S.C. // J. Power Sources. 2019. V. 412. P. 725.
  4. Avdeev M.V., Rulev A.A., Ushakova E.E. et al. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 486. P. 287.
  5. Косячкин Е.Н., Гапон И.В., Рулев А.А. и др. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 8. С. 10.
  6. Бобриков И.А, Гапон И.В., Авдеев М.В. // Физ. эл. частиц и атом. ядра. 2022. Т. 53. № 3. С. 692.
  7. Li Y., Xu X., Chen J. et al // J. Phys. Chem. C 2020. V. 124. 15107.
  8. Avdeev M.V., Rulev A.A., Bodnarchuk V.I. et al. // Appl. Surf. Sci. 2017. V. 424. P. 378.
  9. Петренко В.И., Косячкин Е.Н., Булавин Л.А., Авдеев М.В. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2018. № 7. С. 20.
  10. Veres T., Cser L., Bodnarchuk V. et al. // Thin Solid Films. 2013. V. 540. P. 69.
  11. Гапон И.В., Кузьменко М.О., Авдеев М.В., Иванова Н.А. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. № 4. С.30.
  12. Sivaramalingam A., Thankaraj Salammal S., Soosaimanickam A. et al., Role of TiO2 in Highly Efficient Solar Cells. In: Rajendran, S., Karimi-Maleh, H., Qin, J., Lichtfouse, E. (eds) Metal, Metal-Oxides and Metal Sulfides for Batteries, Fuel Cells, Solar Cells, Photocatalysis and Health Sensors. Environmental Chemistry for a Sustainable World, V. 62. Springer, Cham., 2021. https://doi.org/10.1007/978-3-030-63791-0_5
  13. Матвеев В.А., Плешанов Н.К., Геращенко О.В., Байрамуков В.Ю. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2014. № 10. С. 34.
  14. Kovács-Mezei R., Krist Th., Révay Zs. // Nucl. Instr. Methods A. 2008. V. 586. № 1. P. 51.
  15. Bottyán L., Merkel D.G., Nagy B. et al. // Rev. Sci. Instr. 2013. V. 84. №. 1. 015112.
  16. Nelson A. // J. Appl. Cryst. 2006. V. 39. P. 273.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2.

Скачать (32KB)
3.

Скачать (52KB)
4.

Скачать (205KB)
5.

Скачать (314KB)

© М.В. Авдеев, И.В. Гапон, Д. Меркель, М. Ердаулетов, Д.М. Джансейтов, Т.В. Тропин, 2023

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах