On the Features of the Formation of Polar Distribution of Sputtered Atoms in the MD Model of the (001) Ni Face Sputtering

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Using a modern complete molecular dynamics model of single crystal sputtering taking into account ion incidence on the surface, the mechanisms of formation of the polar and azimuthal angle distribution of atoms sputtered from the surface of the (001) Ni face by Ar ions with an energy of 200 eV are studied. It is shown that the sputtered atoms, over focused by the azimuthal angle, eject only near the directions corresponding to the directions to the centers of lenses of two atoms in the surface plane neighboring to the ejecting atom. It is found that in the polar angular distribution of sputtered atoms with an energy of 2.5 ± 0.1 eV in the range of the azimuthal angle of 87° ± 1.5°, close to the center of the lens, three maxima formed by atoms with significantly different mechanisms of emission are observed. It is concluded that the formation of these maxima occurs only due to the surface mechanism of single crystal sputtering.

作者简介

A. Musin

Moscow State University of Technology "STANKIN", Institute of Digital Intelligent Systems; Vyatka State University, Institute of Mathematics and Information Systems

Email: samoilov@polly.phys.msu.ru
Moscow, 127994; Kirov, Kirov Region, 610000

V. Samoilov

Lomonosov Moscow State University, Faculty of Physics

Email: samoilov@polly.phys.msu.ru
Moscow, 119991

参考

  1. Михайленко М.С., Пестов А.Е., Зорина М.В., Чернышев А.К., Чхало Н.И., Шевчук И.Э. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. No 12. С. 25. https://doi.org/10.31857/S1028096023120154
  2. Андрианова Н.Н., Борисов А.М., Машкова Е.С., Овчинников М.А., Суминов И.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. No 4. С. 10. https://doi.org/10.31857/S1028096023040027
  3. Лядов Н.М., Базаров В.В., Вахитов И.Р., Гумаров А.И., Ибрагимов Ш.З., Кузина Д.М., Файзрахманов И.А., Хайбуллин Р.И., Шустов В.А. // Физика твердого тела. 2021. Т. 63. No 10. С. 1687. https://doi.org/10.21883/FTT.2021.10.51424.117
  4. Хисамов Р.Х., Тимиряев Р.Р., Сафаров И.М., Мулюков Р.Р. // Письма о материалах. 2020. Т. 10. No 2. С. 223. https://doi.org/10.22226/2410-3535-2020-2-223-226
  5. Борисов А.М., Машкова Е.С., Овчинников М.А., Хисамов Р.Х., Мулюков Р.Р. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2022. No 3. С. 71. https://doi.org/10.31857/S1028096022030062
  6. Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. V. 184. No 2. P. 383. https://doi.org/10.1103/PhysRev.184.383
  7. Самойлов В.Н. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1990. Т. 54. No 7. С. 1283.
  8. Мусин А.И., Самойлов В.Н. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2024. No 6. С. 20.
  9. Kornich G.V., Betz G. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1998. V. 143. No 4. P. 455. https://doi.org/10.1016/S0168-583X(98)00410-8
  10. Kornich G.V., Betz G., Bazhin A.I. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 153. No 1-4. P. 383. https://doi.org/10.1016/S0168-583X(99)00218-9
  11. Ackland G.J., Tichy G., Vitek V., Finnis M.W. // Phil. Mag. A. 1987. V. 56. No 6. P. 735. https://doi.org/10.1080/01418618708204485
  12. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. // Charge States and Dynamic Screening of Swift Ions in Solids. Proc. of the U.S.-Japan Seminar on Charged-Particle Penetration Phenomena, 25-29 January 1982, Honolulu, Hawaii, the U.S.A. The Oak Ridge National Laboratory Publ., Oak Ridge, Tennessee, U.S.A, 1983. P. 88.
  13. Gao F., Bacon D.J., Ackland G.J. // Phil. Mag. A. 1993. V. 67. No 2. P. 275. https://doi.org/10.1080/01418619308207158
  14. Самойлов В.Н., Мусин А.И. // Изв. РАН. Сер. физ. 2018. Т. 82. No 2. С. 171. https://doi.org/10.7868/S0367676518020084
  15. Самойлов В.Н., Мусин А.И., Ананьева Н.Г. // Изв. РАН. Сер. физ. 2016. Т. 80. No 2. С. 122. https://doi.org/10.7868/S0367676516020289
  16. Eltekov V.A., Samoylov V.N., Yurasova V.E., Motaweh H.A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1986. V. 13. No 1-3. P. 443. https://doi.org/10.1016/0168-583X(86)90544-6
  17. Wehner G.K. // J. Appl. Phys. 1955. V. 26. No 8. P. 1056. https://doi.org/10.1063/1.1722136
  18. Юрасова В.Е., Плешивцев Н.В., Орфанов И.В. // ЖЭТФ. 1959. Т. 37. Вып. 4. С. 966.
  19. Rübesame D., Niedrig H. // Radiat. Eff. Def. Solids. 1996. V. 138. No 1-2. P. 49. https://doi.org/10.1080/10420159608211508
  20. Samoilov V.N., Tatur A.E., Kovaleva N.A., Kozhanov A.E. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 153. No 1-4. P. 319. https://doi.org/10.1016/S0168-583X(99)00216-5
  21. Шпиньков В.И., Самойлов В.Н. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2009. No 3. С. 73.
  22. Voevodin Vl.V., Antonov A.S., Nikitenko D.A., Shvets P.A., Sobolev S.I., Sidorov I.Yu., Stefanov K.S., Voevodin Vad.V., Zhumatiy S.A. // Supercomputing Frontiers and Innovations. 2019. V. 6. No 2. P. 4. https://doi.org/10.14529/jsfi190201

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».