Синтез нанокомпозитных покрытий TiN-Cu на принципе сопряжения процессов вакуумно-дугового испарения, магнетронного распыления и распыления ионным пучком

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Получены сверхтвердые композитные покрытия TiN-Cu, синтез которых основан на принципе сопряжения режимов работы вакуумно-дугового испарителя, планарного магнетрона и плазменного источника ионов. Строение, структура и свойства композитных покрытий TiN-Cu не зависят от типа гибридных методов их синтеза. Показано, что покрытия имеют характерную однородную глобулярную структуру с размерами кристаллитов в пределах 20-50 нм и текстурируются по плоскости (111). Медь не образует собственной кристаллической фазы и не находится в кристаллической решетке других фаз, расположена на границах кристаллитов в аморфном, либо рентгеноаморфном состоянии. Содержание меди по всему профилю покрытий составляет 5-10 ат.%. Микротвердость покрытий 38-42 ГПа.

Об авторах

А. П Семенов

Институт физического материаловедения СО РАН

Email: alexandersemenov2018@mail.ru

Дмитрий Бадма-Доржиевич Цыренов

Институт физического материаловедения СО РАН

Email: dmitriyzak@mail.ru

И. А Семенова

Институт физического материаловедения СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: irene_sem@mail.ru

Список литературы

  1. He, J.L. Structure refinement and hardness enhancement of titanium nitride films by addition copper /j.L. He, Y. Setsuhara, I. Shimizu, S. Miyake // Surface Coat. Technol. 2001. V.137. P.38-42. Doi.org/10.1016/S0257-8972(00)01089-6.
  2. Ivanov, Yu.F. Superhard nanocrystalline Ti-Cu-N coatings deposited by vacuum arc evaporation of a sintered cathode / Yu.F. Ivanov, N.N. Koval, O.V. Krysina, T. Baumbach, S. Doyle, T. Slobodsky, N.A. Timchenko, R.M. Galimov, A.N. Shmakov // Surface Coat. Technol. 2012. V.207. P.430-434. Doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.07.037.
  3. Семенов, А.П. Установка вакуумного осаждения композитных покрытий TiN-Cu сопряженными вакуумно-дуговым и ионно-плазменным процессами / А.П. Семенов, Д.Б-Д. Цыренов, И.А. Семенова // Приборы и техника эксперимента. 2017. №6. С.119-122. doi: 10.7868/S0032816217060106.
  4. Семенов, А.П. Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником / А.П. Семенов, И.А. Семенова, Д.Б-Д. Цыренов, Э.О. Николаев // Приборы и техника эксперимента. 2020. №5. С.143-147. doi: 10.31857/S0032816220050213.
  5. Семенов, А.П. Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда / А.П. Семенов, И.А. Семенова, Д.Б-Д. Цыренов, Э.О. Николаев // Изв. вузов. Физика. 2020. Т.63. №10. С.102-108. doi: 10.17223/00213411/63/10/102.
  6. Семенов, А.П. Физическое распыление медного анода планарного магнетрона пучком ускоренных ионов аргона энергией 1-10 кэВ / А.П. Семенов, И.А. Семенова, Д.Б-Д. Цыренов, Э.О. Николаев // Приборы и техника эксперимента. 2021. №4. С.44-46. doi: 10.31857/S0032816221040261.
  7. Семенов, А.П. Планарный магнетрон с ротационным центральным анодом / А.П. Семенов, Д.Б-Д. Цыренов, И.А. Семенова // Вакуумная техника и технологии - 2022: тр. 29-й Всероссийской науч.-техн. конф. с междунар. участием (21-23 июня 2022, СПб.); под ред. Д.К. Кострина и С.А. Марцынюкова. - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2022. С.77-80). https://vtt.etu.ru/assets/files/2022/sbornik-vtt-2022isbn-1.pdf.
  8. Myung, H.S. Microstructure and mechanical properties of Cu doped TiN superhard nanocomposite coatings / H.S. Myung, H.M. Lee, L.R. Shaginyan, J.G. Han // Surface Coat. Technol. 2003. V.163-164. P.591-596. doi: 10.1016/S0257-8972(02)00627-8.
  9. Myung, H.S. A study on the synthesis and formation behavior of nanostructured TiN films by copper doping / H.S. Myung, J.G. Han, J.H. Boo // Surface Coat. Technol. 2004. V.177, 178. P.404-408. doi: 10.1016/j.surfcoat.2003.09.016.
  10. Eremenko, V.N. Phase diagram of the system titanium-copper / V.N. Eremenko, Yu.I. Buyanov, S.B. Prima // Powder Met. Metal Ceramics. 1966. V.5. Is.6. P.494-502. doi: 10.1007/BF00775543.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2023

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».