Dependence of Sputtering Coefficient on Energy and Incidence Angle of Bombarding Particles. Energy Spectrum and Average Energy of Sputtered Particles by the Example of a Tungsten Target - PDF (Russian)
Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).