Получение методом AACVD двухслойных тонкопленочных нанокомпозитов ZnO/Cr2O3 для хеморезистивных газовых сенсоров

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

В результате аэрозольного осаждения из газовой фазы (AACVD) получены двухслойные тонкопленочные нанокомпозиты ZnO/Cr2O3 и исследованы различными методами физико-химического анализа. С помощью ТГА/ДСК изучено термическое поведение прекурсоров – ацетилацетонатов цинка и хрома. Химический состав полученных покрытий подтвержден методом EDX, физический – методами рентгеновской дифракции и КР-спектроскопии. Микроструктурные особенности изучены с помощью СЭМ. Установлено, что варьирование концентрации прекурсора позволяет изменять морфологию получаемых покрытий от островковой структуры до сплошной пленки. Показано, что двухслойные пленки ZnO/Cr2O3 демонстрируют заметный хеморезистивный отклик при детектировании ацетона.

Об авторах

А. С. Мокрушин

Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН

Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119991 Россия

С. А. Дмитриева

Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева

Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119991 Россия; Москва, 125047 Россия

Ю. М. Горбань

Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева

Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119991 Россия; Москва, 125047 Россия

А. Р. Стройкова

Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева

Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119991 Россия; Москва, 125047 Россия

Н. П. Симоненко

Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН

Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119991 Россия

А. А. Аверин

Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН

Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119071 Россия

Е. П. Симоненко

Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: artyom.nano@gmail.com
Москва, 119991 Россия

Список литературы

  1. Damianos D., Mouly J., Delbos P. Status of the MEMS industry 2021 //“Status of the MEMS industry” Yole development. – 2021.
  2. Deng Y. // Semiconducting Metal Oxides for Gas Sensing. Elsеvier, 2019. https://doi.org/10.1007/978-981-13-5853-1
  3. Seiyama T., Kagawa S. // Anal. Chem. 1966. V. 38. № 8. P. 1069. https://doi.org/10.1021/ac60240a031
  4. Abegunde O.O., Akinlabi E.T., Oladijo O.P. et al. // AIMS Mater. Sci. 2019. V. 6. № 2. P. 174. https://doi.org/10.3934/matersci.2019.2.174
  5. Sun L., Yuan G., Gao L. et al. // Nature Rev. Methods Primers. 2021. V. 1. № 1. https://doi.org/10.1038/s43586-020-00005-y
  6. Kuzminykh Y., Dabirian A., Reinke M. et al. // Surf. Coat. Technol. 2013. V. 230. P. 13. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.06.059
  7. Hou X., Choy K.L. // Chem. Vap. Deposition. 2006. V. 12. № 10. P. 583. https://doi.org/10.1002/cvde.200600033
  8. Jeong S.Y., Kim J.S., Lee J.H. // Adv. Mater. 2020. V. 32. № 51. P. 2002075. https://doi.org/10.1002/adma.202002075
  9. Ahmad R., Majhi S.M., Zhang X. et al. // Adv. Colloid Interface Sci. 2019. V. 270. P. 1. https://doi.org/10.1016/j.cis.2019.05.006
  10. Mokrushin A.S., Nagornov I.A., Gorban Y.M. et al. // J. Alloys Compd. 2024. V. 1009. P. 176856. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2024.176856
  11. Mokrushin A.S., Nagornov I.A., Gorban Y.M. et al. // Ceram. Int. 2023. V. 49. № 11. Part A. P. 17600. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.02.126
  12. Sinha M., Neogi S., Mahapatra R. et al. // Sens. Actuators, B: Chem. 2021. V. 336. P. 129729. https://doi.org/10.1016/j.snb.2021.129729
  13. Mokrushin A.S., Gorban Y.M., Averin A.A. et al. // Biosensors. 2023. V. 13. № 445. P. 1. https://doi.org/10.3390/bios13040445
  14. Mokrushin A.S., Gorban Y.M., Averin A.A. et al. // Ceram. Int. 2024. V. 50. № 6. P. 8777. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.12.194
  15. Simonenko E.P., Nagornov I.A., Mokrushin A.S. et al. // Micromachines. 2023. V. 14. № 725. P. 1. https://doi.org/10.3390/mi14040725
  16. Woo H.S., Na C.W., Kim I.D. et al. // Nanotechnology. 2012. V. 23. № 24. P. 245501. https://doi.org/10.1088/0957-4484/23/24/245501
  17. Jayababu N., Poloju M., Reddy M.V.R. // AIP Conf. Proc. 2019. V. 2082. № March. P. 3. https://doi.org/10.1063/1.5093843
  18. Park S., Sun G.J., Jin C. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2016. V. 8. № 4. P. 2805. https://doi.org/10.1021/acsami.5b11485
  19. Najafi V., Zolghadr S., Kimiagar S. // Optik. 2019. V. 182. P. 249. https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2019.01.015
  20. Wang T. yang, Li Y. yuan, Li T. tian et al. // Solid State Ionics. 2018. V. 326. P. 173. https://doi.org/10.1016/j.ssi.2018.10.006
  21. Kamalianfar A., Naseri M.G., Jahromi S.P. // Chem. Phys. Lett. 2019. V. 732. P. 136648. https://doi.org/10.1016/j.cplett.2019.136648
  22. Selvaraj B., Karnam J.B., Rayappan J.B.B. // Ceram. Int. 2023. V. 49. № 23. P. 37106. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.08.308
  23. Al-Hardan N.H., Abdullah M.J., Aziz A.A. // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 270. P. 480. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.01.064
  24. Abdul Kareem S.M., Suhail M.H., Adehmash I.K. // Iraqi J. Sci. 2021. V. 62. № 7. P. 2176. https://doi.org/10.24996/ijs.2021.62.7.7
  25. Vallejos S., Pizúrová N., Gràcia I. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2016. V. 8. № 48. P. 33335. https://doi.org/10.1021/acsami.6b12992
  26. Roy A., Sood A.K. // Pramana: J. Phys. 1995. V. 44. № 3. P. 201. https://doi.org/10.1007/BF02848471
  27. Šćepanović M., Grujić-Brojčin M., Vojisavljević K. et al. // J. Raman Spectroscopy. 2010. V. 41. № 9. P. 914. https://doi.org/10.1002/jrs.2546
  28. Gomes A.S.O., Yaghini N., Martinelli A. et al. // J. Raman Spectroscopy. 2017. V. 48. № 10. P. 1256. https://doi.org/10.1002/jrs.5198
  29. Chen M., Wang Z., Han D. et al. // J. Phys. Chem. C. 2011. V. 115. № 26. P. 12763. https://doi.org/10.1021/jp201816d

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».