Влияние подслоя германия на процессы перколяции в ультратонких пленках меди и их оптические коэффициенты

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Исследованы оптические коэффициенты пленок меди толщиной 1…16 нм, выращенных на подслое германия, напыленного на поверхность подложек из кварцевого стекла толщиной 4 мм. Измерения выполнены в прямоугольном волноводе сечением 23 × 10 мм2 в диапазоне частот 8.5…12.5 ГГц. В диапазоне толщин 2…16 нм обнаружено плавное изменение оптических коэффициентов пленок меди, выращенных на германиевом подслое. Установлено, что перколяционная толщина медных пленок, выращенных на подслое германия, заключена в диапазоне между 1 и 2 нм. Обнаружен сильный размерный эффект в пленках, выращенных на Ge-подслое, обусловленный рассеянием электронов проводимости преимущественно на межкристаллитных границах. Установлено, что коэффициент отражения электронов от межкристаллитных границ в пленках с Ge-подслоем более чем в три раза превосходит аналогичный коэффициент в пленках, выращенных непосредственно на подложке.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. А. Вдовин

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

В. Г. Андреев

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

И. И. Пятайкин

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

Ю. В. Пинаев

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

Список литературы

  1. Каплан А. Е. // РЭ. 1964. Т. 9. № 10. С. 1781.
  2. Kaplan A. E. // J. Optical Soc.Am. B. 2018. V. 35. № 6. P. 1328. doi: 10.1364/JOSAB.35.001328
  3. Khorin I., Orlikovsky N., Rogozhin A. et al. // Proc. SPIE. 2016. V. 10224. Р. 1022407–1. doi: 10.1117/12.2266504
  4. Fuchs K. // Mathematical Proc. Cambridge Philosophical Soc. 1938. V. 34. № 1. P. 100. doi: 10.1017/S0305004100019952
  5. Dingle R. B. // Proc. Royal Soc. A. 1950. V. 201. № 1067. P. 545. doi: 10.1098/rspa.1950.0077
  6. Sondheimer E. H. // Adv. Phys. 1952. V. 1. № 1. P. 1. doi: 10.1080/00018735200101151
  7. Mayadas A. F., Shatzkes M., Janak J. F. // Appl. Phys. Lett. 1969. V. 14. № 11. P. 345. doi: 10.1063/1.1652680
  8. Mayadas A. F., Shatzkes M. // Phys. Rev. B. 1970. V. 1. № 4. P. 1382. doi: 10.1103/PhysRevB.1.1382
  9. Camacho J. M., Oliva A. I. // Thin Solid Films. 2006. V. 515. P. 1881. doi: 10.1016/j.tsf.2006.07.024
  10. Андреев В. Г., Вдовин В. А., Глазунов П. С. и др. // Оптика и спектроскопия. 2022. Т. 130. № 9. С. 1410. doi: 10.21883/OS.2022.09.53304.3539–22
  11. Barmak K., Darbal A., Ganesh K. J. et al. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 2014. V. 32. № 6. P. 061503–1. doi: 10.1116/1.4894453
  12. Вдовин В. А., Андреев В. Г., Глазунов П. С. и др. // Оптика и спектроскопия. 2019. Т. 127. № 5. С. 834. doi: 10.21883/OS.2019.11.48524.132–19

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Частотные зависимости микроволновых коэффициентов R, T и A медной пленки для двух геометрий падения волны: падение волны со стороны подложки (а) и падение волны со стороны пленки (б); символы – коэффициенты медной пленки толщиной 7.9 нм, напыленной непосредственно на подложку из кварцевого стекла, сплошные кривые – значения аналогичных коэффициентов для Cu-пленки такой же толщины, но выращенной на германиевом подслое.

Скачать (29KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Измеренные на частоте 11.5 ГГц зависимости коэффициентов R, T и A от толщины пленки меди, выращенной на подслое Ge, для случая падения волны со стороны пленки (а) и со стороны подложки (б).

Скачать (30KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Измеренные на частоте 11.5 ГГц зависимости коэффициентов R, T и A от толщины пленки меди, выращенной на подложке с подслоем Ge (закрашенные символы) и в его отсутствие (контурные символы). Приведенные на рисунке зависимости соответствуют случаю падения СВЧ-волны со стороны подложки.

Скачать (19KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Сплошная 5 нм пленка Cu, выращенная на германиевом подслое толщиной 1.8 нм, напыленном на SiO2 поверхность проводящего кремния (а) и островковая пленка Cu толщиной 5 нм на SiO2 поверхности проводящего кремния (б).

Скачать (31KB)
Метаданные
6. Рис. 5. Зависимость от толщины dc проводимости пленок меди, выращенных на подложке с подслоем Ge (точки), линией обозначен результат подгонки экспериментальных точек формулой (1) при фиксированном параметре σ0 = 5.95⋅105 См/см.

Скачать (11KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».