Система циркуляции газа для формирования газоструйной мишени в вакуумной камере лазерно-плазменного источника

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

Была разработана, собрана и введена в работу система циркуляции газа, используемого в качестве импульсной струйной мишени для лазерно-плазменного источника излучения. Была проведена пробная эксплуатация системы, также была продемонстрирована ее работоспособность. Описаны как основной циркуляционный, так и вспомогательные (откачка вакуумной камеры, откачка системы) режимы работы. Продемонстрирована высокая герметичность системы, что гарантирует малые потери рабочего газа и его чистоту. При условии использования одного рода газа сконструированная система может работать месяца без повторной откачки системы. Данная конструкция системы подачи газа позволяет многократно использовать рабочий газ в качестве мишени ЛПИ, что дает возможность расходовать дорогостоящие газы более рационально и экономно. Таким образом, использование систем циркуляции газа дает дополнительное преимущество для развития ЭУФ-литографии с использованием ЛПИ на газоструйной мишени.

About the authors

V. E. Guseva

Institute of Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences

Email: valeriegus@ipmras.ru

A. N. Nechay

Institute of Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences

Email: valeriegus@ipmras.ru

A. A. Perekalov

Institute of Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences

Email: valeriegus@ipmras.ru

N. I. Chkhalo

Institute of Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences

Author for correspondence.
Email: valeriegus@ipmras.ru

References

  1. Gullikson E.M., Underwood J.H., Batson P.C., Nikitin V. // J. X-ray Sci. Technol.1992. V. 3. № 4. P. 283. https://doi.org/10.3233/XST-1992-3402
  2. Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Клюенков Е.Б., Салащенко Н.Н., Чехонадских Д.П., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2003. Т. 2. С. 43.
  3. Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Lopatin A.Ya. et al. // AIP Advances. 2018. V. 8. № 10. P. 105003. https://doi.org/10.1063/1.5048288
  4. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я. и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. Т. 1. С. 5.
  5. Абраменко Д.Б., Анциферов П.С., Астахов Д.И. // УФН. 2019. Т. 189.С. 323. https://ufn.ru / ru / articles/2019/3/k/
  6. Guseva V.E., Nechay A.N., Perekalov A.A., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I. // Appl. Phys. B. 2023. V. 129. P. 155. https://doi.org/10.1007/s00340-023-08095-8
  7. Kalmykov S.G., Butorin P.S., Sasin M.E. // J. Appl. Phys. 2019. V. 126. P. 103301. https://doi.org/10.1063/1.5115785
  8. Kubiak G.D., Bernardez II L.J., Krenz K.D. // Proc. SPIE. 1998. V. 3331. P. 81. https://doi.org/10.1117/12.309560
  9. Butorin P.S., Zadiranov Y.M., Zuev S.Y., Kalmykov S.G., Polkovnikov V.N., Sasin M.E., Chkhalo N.I. // Tech. Phys. 2018. V. 63. P. 1507. https://doi.org/10.1134/S1063784218100080
  10. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Adv. 2013. V. 3. P. 082130. http://dx.doi.org/10.1063/1.4820354
  11. Bajt S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. P. 557. https://doi.org/10.1116/1.582224
  12. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A. et al. // Opt. Express. 2018. V. 26. P. 33718. https://doi.org/10.1364/OE.26.033718
  13. Болдарев А.С., Гасилов В.А., Левашов В.Е., Медников К.Н., Пирожков А.С., Пирожкова М.С., Рагозин Е.Н. // КЭ. 2004. T. 34. № 7. С. 679.
  14. Kranzusch S., Mann K. // Opt. Commun. 2001. V. 200. P. 223. https://doi.org/10.1016/s0030-4018(01)01639-x
  15. Holburg J., Müller M., Mann K., Wieneke S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2019. V. 37. P. 031303. https://doi.org/10.1116/1.5089201
  16. Капралов В.Г., Корде Р., Левашов В.Е., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н. // КЭ. 2002. Т. 32. № 2. С. 149.
  17. Shields H., Fornaca S.W., Petach M.B., Michaelia, M., McGregor R.D., Moyer R.H., Pierre R.J.S. // Proc. SPIE. 2002. V. 4688. https://doi.org/10.1117/12.472266
  18. Гусева В.Е., Корепанов М.А., Королева М.Р., Нечай А.Н., Перекалов А.А., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // ПТЭ. 2023. № 4. С. 145.
  19. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н. // ЖТФ. 2019. Т. 89. № 11. С. 1656. https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48324.131-19

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2025 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».