Methods for Forming Gas, Cluster Spray, and Liquid Targets in a Laser-Plasma Radiation Source

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Methods for the formation of liquid, microdroplet, cluster, and gas targets in vacuum for use in laser-plasma radiation sources are considered. The characteristics of the used target-formation systems and gas-supply systems based on them are given. These systems form pulsed and static jets with low mass flow, on the order of ~70 mL/h of liquid or 1500 cm3/h of gas, which allows pumping out the vacuum volume with one turbomolecular pump with a capacity of 1000 L/s.

Авторлар туралы

V. Guseva

Lobachevsky Nizhny Novgorod State University

Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
603950, Nizhny Novgorod, Russia

M. Korepanov

Udmurt Federal Research Center, Ural Branch, Russian Academy of Sciences

Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
426065, Izhevsk, Russia

M. Koroleva

Udmurt Federal Research Center, Ural Branch, Russian Academy of Sciences

Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
426065, Izhevsk, Russia

A. Nechay

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
603087, Nizhny Novgorod, Russia

A. Perekalov

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
603087, Nizhny Novgorod, Russia

N. Salashchenko

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
603087, Nizhny Novgorod, Russia

N. Chkhalo

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
603087, Nizhny Novgorod, Russia

Әдебиет тізімі

  1. Абраменко Д.Б., Анциферов П.С., Астахов Д.И., Виноходов А.Ю., Вичев И.Ю., Гаязов Р.Р., Якушкин А.А. // Успехи физических наук. 2019. Т. 189. № 3. С. 323. https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447
  2. Berglund M., Rymell L., Hertz H.M., Wilhein T. // Review of Scientific Instruments. 1998. V. 69. P. 2361. https://doi.org/10.1063/1.1148944
  3. Wieland M., Wilhein T., Faubel M., Ellert C., Schmidt M., Sublemontier O. // Applied Physics B. 2001. V. 72. P. 591. https://doi.org/10.1007/s003400100542
  4. De Groot J., Hemberg O., Holmberg A., Hertz H.M. // Journal of Applied Physics. 2003. V. 94. P. 3717. https://doi.org/10.1063/1.1602571
  5. Malmqvist L., Rymell L., Berglund M., Hertz H.M. // Review of Scientific Instruments. 1996. V. 12. P. 4150. https://doi.org/10.1063/1.1147561
  6. Düsterer S., Schwoerer H., Ziegler W., Ziener C., Sauerbrey R. // Applied Physics B. 2001. V. 73. P. 693. https://doi.org/10.1007/s003400100730
  7. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Сала-щенко Н.Н. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. № 19. С. 14. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.19.48310.17862
  8. Hansson B.A.M., Hertz H.M. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2004. V. 37. № 23. P. 3233. https://doi.org/10.1088/0022-3727/37/23/004
  9. Hansson B.A., Hemberg O., Hertz H.M., Berglund M., Choi H.J., Jacobsson B., Wilner M. // Review of Scientific Instruments. 2004. V. 75. № 6. P. 2122. https://doi.org/10.1063/1.1755441
  10. Fogelqvist E., Kördel M., Selin M., Hertz H.M. // Journal of Applied Physics. 2015. V. 118. № 17. P. 174902. https://doi.org/10.1063/1.4935143
  11. Holburg J., Müller M., Mann K., Wieneke S. // Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 2019. V 37. № 3. P. 031303. https://doi.org/10.1116/1.5089201
  12. Fiedorowicz H., Bartnik A., Szczurek M., Daido H., Sakaya N., Kmetik V., Wilhein T. // Optics Communications. 1999. V. 163. № 1–3. P. 103. https://doi.org/10.1016/S0030-4018(99)00100-5
  13. Гарбарук А.В., Демидов Д.А., Калмыков С.Г., Сасин М.Э. // ЖТФ. 2011. Т. 81. № 6. С. 20.
  14. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Забродин И.Г., Каськов И.А., Пестов А.Е. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. № 9. С. 83. https://doi.org/10.1134/S0207352819090099
  15. Koroleva M.R., Mitrukova E.A., Korepanov M.A. // Journal of Physics: Conference Series. VI All-Russian Conference “Thermophysics and Physical Hydrodynamicsˮ and the School for Young Scientists “Thermal Physics and Physical Hydrodynamics: Modern Challengesˮ. 2021. P. 012016. https://doi.org/10.1088/1742-6596/2057/1/012016
  16. Ramos A., Fernández J.M., Tejeda G., Montero S. // Phys. Rev. A. V. 72. № 5. P. 053204. https://doi.org/10.1103/PhysRevA.72.053204
  17. Hagena O.F. // Surface Science. 1981. V. 106. № 1. P. 101.
  18. Hagena O.F., Obert W. // The journal of Chemical physics. 1972. V. 56. № 5. P. 1793. https://doi.org/10.1063/1.1677455

© В.Е. Гусева, М.А. Корепанов, М.Р. Королева, А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, 2023

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».