Изучение влияния барьерных слоев Si и Be на кристаллизацию многослойного рентгеновского зеркала Cr/Sc

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Изучено влияние барьерных слоев Si и Be на процесс перемешивания тонких слоев многослойных рентгеновских зеркал на основе Cr и Sc в широком диапазоне температур методами рентгеновской рефлектометрии, рентгеновской дифракции, а также просвечивающей электронной микроскопии. Установлено, что отжиг системы Si/[Cr/Sc]200 является катализатором процесса перемешивания. В образце, нагретом при температуре 450°C в течение 1 ч, происходит полное перемешивание слоев. Структура становится текстурированной с предпочтительной ориентацией [001] слоя Sc перпендикулярно подложке. Введение барьерного слоя Be в систему Si/[Cr/Sc]200 ограничивает перемешивание слоев хрома и скандия при отжиге до 350°C, но при 450°C структура полностью деградирует. Бериллий в роли барьерного слоя предотвращает текстурирование и рост зерен в системе, но не препятствует процессу кристаллизации. Тонкая прослойка Si, вставленная между слоями Cr и Sc, ограничивает их перемешивание и сохраняет многослойность и аморфность системы при температурах до 450°C.

全文:

受限制的访问

作者简介

А. Соломонов

Санкт-Петербургский государственный университет

编辑信件的主要联系方式.
Email: asolomonov78@gmail.com
俄罗斯联邦, г. Санкт-Петербург

С. Сахоненков

Санкт-Петербургский государственный университет

Email: asolomonov78@gmail.com
俄罗斯联邦, г. Санкт-Петербург

Е. Филатова

Санкт-Петербургский государственный университет

Email: asolomonov78@gmail.com
俄罗斯联邦, г. Санкт-Петербург

参考

  1. O’Sullivan G., Li B., Dunne P. et al. // Phys. Scr. 2015. V. 90. P. 54002. https://doi.org/10.1088/0031-8949/90/5/054002
  2. Martz D.H., Selin M., von Hofsten O. et al. // Opt. Lett. 2012. V. 37. P. 4425. https://doi.org/10.1364/ol.37.004425
  3. Higashiguchi T., Otsuka T., Yugami N. et al. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 100. P. 014103. https://doi.org/10.1063/1.3673912
  4. Kopylets I., Devizenko O., Zubarev E. et al. // J. Nanosci. Nanotechnol. 2019. V. 19. P. 518. https://doi.org/10.1166/jnn.2019.16471
  5. Hatano T., Ejima T., Tsuru T. // J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 2017. V. 220. P. 14. https://doi.org/10.1016/j.elspec.2016.12.010
  6. Legall H., Blobel G., Stiel H. et al. // Opt. Express. 2012. V. 20. P. 18362. https://doi.org/10.1364/oe.20.018362
  7. Richter M., Gottwald A., Scholze F. et al. // Adv. Space Res. 2006. V. 37. P. 265. https://doi.org/10.1016/j.asr.2004.12.043
  8. Ackermann W., Asova G., Ayvazyan V. et al. // Nat. Photonics. 2007. V. 1. P. 336. https://doi.org/10.1038/nphoton.2007.76
  9. Van Kuiken B.E., Cho H., Hong K. et al. // J. Phys. Chem. Lett. 2016. V. 7. P. 465. https://doi.org/10.1021/acs.jpclett.5b02509
  10. Haase A., Bajt S., Hönicke P., Soltwisch V. et al. // J. Appl. Cryst. 2016. V. 49. P. 2161. https://doi.org/10.1107/S1600576716015776
  11. Polkovnikov V.N., Garakhin S.A., Kvashennikov D.S. et al. // Tech. Phys. 2020. V. 65. P. 1809. https://doi.org/10.1134/S1027451019010129
  12. Windt D.L. // Comput. Phys. 1998. V. 12. P. 360. https://doi.org/10.1063/1.168689
  13. Ghafoor N., Eriksson F., Mikhaylushkin A.S. et al. // J. Mater. Res. 2009. V. 24. P. 79. https://doi.org/10.1557/JMR.2009.0004
  14. Kuhlmann T., Yulin S., Feigl T. et al. // Appl. Opt. 2002. V. 41. №. 10. P. 2048. https://doi.org/10.1364/AO.41.002048
  15. Prasciolu M., Leontowich A.F.G., Beyerlein K.R., Bajt S. // Appl. Opt. 2014. V. 53. № 10. P. 2126. https://doi.org/10.1364/AO.53.002126
  16. Eriksson F., Ghafoor N., Hultman L. et al. // J. Appl. Phys. 2008. V. 104. P. 63516. https://doi.org/10.1063/1.2980051
  17. Majkova E., Chushkin Y., Jergel M. et al. // Thin Solid Films. 2006. V. 497. P. 115. https://doi.org/10.1063/1.2980051
  18. Chkhalo N.I., Pariev D.E., Polkovnikov V.N. et al. // Thin Solid Films. 2017. V. 631. P. 106. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2017.04.020
  19. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A. et al. // Opt. Express. 2018. V. 26. P. 33718. https://doi.org/10.1364/oe.26.033718
  20. Zhong Q., Zhang Z., Qi R. et al. // Opt. Express. 2013. V. 21. P. 14399. https://doi.org/10.1364/oe.21.014399
  21. Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Svechnikov M.V. et al. // Uspekhi Fizicheskih Nauk. 2020. V. 190. P. 92. https://doi.org/10.3367/ufnr.2019.05.038623
  22. Venkatraman M., Neumann J.P. // Bull. Alloy Phase Diagrams. 1985. V. 1. P. 422. https://doi.org/10.1007/BF02869500
  23. Das A., Singh D., Choudhari R.J. et al. // J. Appl. Cryst. 2018. V. 51. P. 1295. https://scripts.iucr.org/cgi-bin/paper? S1600576718010579

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载
2. Fig. 1. Images of the Si/[Cr/Sc]200 sample obtained by TEM methods with different magnification (a, b) and electron spectroscopy at the L-edge of absorption of Sc (c) and Cr (d).

下载 (136KB)
索引源数据
3. Fig. 2. X-ray reflection curves obtained for multilayer structures Si/[Cr/Sc]200 (a), Si/[Cr/Be/Sc]200 (b) and Si/[Cr/Si/Sc]200 (c) before and after annealing at 250, 350 and 450°C.

下载 (57KB)
索引源数据
4. 3. X-ray diffraction patterns of multilayer systems Si/[Cr/Sc]200, Si/[Cr/Be/Sc]200 and Si/[Cr/Si/Sc]200 annealed at 350 (1) and 450°C (2).

下载 (26KB)
索引源数据
5. Fig. 4. TEM images obtained with different magnification of samples Si/[Cr/Be/Sc]200 (a, b) and Si/[Cr/Si/Sc]200 (c, d) annealed at 450°C.

下载 (134KB)
索引源数据

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».