Исследование свойств поверхностных акустических волн в монокристалле ниобата лития с пленкой диоксида кремния методом конечных элементов

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Приведены результаты расчетов характеристик поверхностных акустических волн в структурах монокристалл ниобата лития/пленка диоксида кремния, используемых для повышения термостабильности акустоэлектронных устройств на монокристаллических подложках. Выполнено моделирование методом конечных элементов в пакете COMSOL и рассчитаны скорость, коэффициент электромеханической связи и температурный коэффициент частоты в структурах с ниобатом лития различных срезов. Сравнение полученных результатов с известными данными из литературных источников показало хорошее совпадение. Практическая значимость заключается в использовании полученных параметров при разработке различных классов акустоэлектронных устройств.

Толық мәтін

Рұқсат жабық

Авторлар туралы

О. Балышева

Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: balysheva@mail.ru
Ресей, г. Санкт-Петербург

А. Койгеров

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)

Email: balysheva@mail.ru
Ресей, г. Санкт-Петербург

Б. Ракшаев

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)

Email: balysheva@mail.ru
Ресей, г. Санкт-Петербург

Әдебиет тізімі

  1. Двоешерстов М.Ю., Петров С.Г., Чередник В.И и др. // ЖТФ. 2001. Т. 71. № 4. С. 89.
  2. Туркин И.А. // T-Comm: Телекоммуникации и транспорт. 2020. Т. 14. № 3. С. 24.
  3. Сучков С.Г. // Радиотехника и электроника. 2006. Т. 51. № 4. С. 504.
  4. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Дорофеева С.С. // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2017. Т. 17. № 1. С. 1.
  5. Zhgoon S., Shvetsov A., Patel M.S. et al. // 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium. 2009. P. 2647.
  6. Yamanouchi K., Sato H., Meguro T. et al. // IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control. 1995. V. 42. P. 392.
  7. Балышева О.Л. // Радиотехника. 2017. № 5. С. 57.
  8. Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах: Материалы, технология, конструкция, применения: Пер. с чешск. М.: Мир, 1990. 584с.
  9. Дьелесан Э., Руайе Д. Упругие волны в твердых телах. Применение для обработки сигналов. Пер. с франц. / Под ред. Леманова В.В. М.: Наука, 1982. 424 с.
  10. Kovacs G., Anhorn M., Engan H. et al. // Proc. 1990 IEEE Ultrasonics Symposium. 1990. V. 1. P. 435.
  11. Wang Y., Liu X., Shang S. et al. // 2019 14th Symposium on Piezoelectrcity, Acoustic Waves and Device Applications (SPAWDA). 2019. P. 1.
  12. Aslam M.Z., Jeoti V., Karuppanan S. et al. // International Conference on Intelligent and Advanced System (ICIAS). 2018. P. 1.
  13. Morgan D. Surface Acoustic Wave Filters With Applications to Electronic Communications and Signal Processing. Amsterdam; London: Academic Press. 2007, 448р.
  14. Campbell C.K. Surface Acoustic Wave Devices for Mobile and Wireless Communications. San Diego: Academic Press, 1998. 631 p.
  15. Smith R.T., Welsh F.S. // J. Appl. Phys. 1971. Т. 42. № 6. P. 2219.
  16. Ma R., Liu W., Sun X. et al. // Micromachines. 2022. V. 13. P. 202.
  17. Hao W., Luo W., Zhao G. et al. // 2019 13th Symposium on Piezoelectricity, Acoustic Waves and Device Applications (SPAWDA). 2019. P. 362.
  18. Кузнецова И.Е., Смирнов А.В., Плеханова Ю.В. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2020. Т. 84. № 6. С. 790.
  19. Tomar M., Gupta V., Sreenivas K. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. 1773.
  20. Andrew J., Slobodnik Jr. // IEEE Trans. on Son. and Ultrason. 1973. V. SU-20. № 4. P. 315.
  21. Койгеров А.С., Корляков А.В. // Микроэлектроника. 2022. Т. 51. № 4. С. 272.
  22. Койгеров А.С., Балышева О.Л. // Изв. вузов России. Радиоэлектроника. 2022. Т. 25. № 5. С. 67.
  23. Parker T.E., Schulz M.B. // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 1974. P. 295.
  24. Hickernell F.S. // Advances in Surface Acoustic Wave Technology, Systems and Applications. V. 1. Eds. Ruppel C.C.W., Fieldly T.A. Singapore: World Scientific, 2001. 324 p.
  25. Goto R., Fujiwara J., Nakamura H. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2018. V. 57. 07LD50.
  26. Goto R., Nakamura H., Hashimoto K.-y. // 2019 International Ultrasonics Symposium. 2019. P. 2075.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу
2. Fig. 1. Fragment of a periodic electrode structure on a piezoelectric substrate: Ω1 is the substrate, Ω2 are metal electrodes, p is the period of the structure, a is the width of the electrode, Hm is the thickness of the metallized layer, λ is the wavelength (size of the test cell), Ω3 is the area of the ideally matching layer, Yi are the boundaries of the elements.

Жүктеу (14KB)
Метадеректер
3. Fig. 2. Test structures: an electrode structure with a period p = λ/2 (a), a picture of mechanical displacements for one of the natural frequencies (b), an electrode structure with a SiO2 layer (c), an example of grid construction (d), a picture of mechanical displacements for one of the natural frequencies of a layered structure (e). Model features: 1 – piezoelectric crystal, 2 – metal electrodes, 3 – SiO2 layer, 4 – perfectly matched layer.

Жүктеу (60KB)
Метадеректер
4. Рис. 3. Картины механических смещений (а) и соответствующие частотные зависимости модуля проводимости периодического преобразователя (б) для различных пьезоэлектрических подложек: 1 – 128°г–х кристалла linbo3, 2 – Г–З кристалла linbo3, 3 – 64°Г–Х кристалла linbo3, 4 – 49°г–х кристалла linbo3.

Жүктеу (32KB)
Метадеректер
5. Рис. 4. Наличие КМС (а) и ТК (б) от тольяттинской группы для различных географических объектов: 1 – 128°северной широты, 2 – Южной широты, 3 – 64°южной широты, 4 – 49°южной широты. X LiNbO3.

Жүктеу (29KB)
Метадеректер
6. Fig. 5. Surfactant velocity for a substrate of 128°Y–X LiNbO3: 1 – on a free surface (calculation), 2 – under a shorted surface (calculation), 3 – on a free surface (experiment [6]), 4 – under a shorted surface (experiment [6]).

Жүктеу (11KB)
Метадеректер
7. Fig. 6. Admittance and patterns of mechanical displacements for a test electrode structure on a 128°Y–X LiNbO3 substrate.

Жүктеу (19KB)
Метадеректер

© Russian Academy of Sciences, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».