Synthesis of 28SiC from 28SiF4 and Methane in Radiofrequency (13.56 MHz) Arc Hydrogen Plasma


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Some features of atmospheric-pressure radiofrequency (13.56 MHz) arc discharge and its use for obtaining bulk samples of isotope-enriched silicon carbide via the reaction between SiF4 and methane in a hydrogen medium have been considered. It has been shown that power in this type of discharge is released mainly in the near-electrode regions. The deposition of silicon and graphite occurs in a layer-by-layer mode, so that the product carbide contains up to 40% free carbon; therefore, the process requires optimization. At the same time, the proposed type of RF arc discharge with the product deposition zone localized at the ends of the electrodes makes it possible to avoid not only additional heating of the reactor space and walls, but also the loss of expensive isotope-enriched silicon fluoride.

Ключевые слова

Об авторах

A. Potapov

Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: kornev@ihps.nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950

R. Kornev

Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Автор, ответственный за переписку.
Email: kornev@ihps.nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950

P. Sennikov

Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: kornev@ihps.nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950

V. Nazarov

Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: kornev@ihps.nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950

A. Bulanov

Institute of Chemistry of High-Purity Substances

Email: kornev@ihps.nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2018

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».