Самораспространяющийся высокотемпературный синтез композиций в системе Si3N4–Yb2O3

Cover Page

Cite item

Full Text

Abstract

Представлены результаты исследования закономерностей синтеза композиций в системе Si3N4–Yb2O3 методом СВС. В процессе исследований содержание оксида иттербия в композициях изменяли от 4 до 20 мас.%. Показано влияние оксида иттербия на температуру горения, морфологию и фазовый состав продуктов синтеза. Установлено, что при увеличении доли оксида иттербия в реакционной шихте температура горения возрастает. Определены оптимальные условия синтеза композиций с высоким содержанием альфа-фазы нитрида кремния.

Full Text

Введение

Керамика из нитрида кремния обладает уникальными свойствами по сравнению с другими керамическими материалами, такими как оксид алюминия, оксид циркония, карбид кремния. Низкая плотность, небольшой коэффициент теплового расширения, хорошая прочность, высокая твердость, превосходная устойчивость к тепловому удару, высокотемпературные механические свойства и хорошая коррозионная устойчивость к расплавам металлов и окислению. Разнообразие свойств определяет широкий диапазон применения нитрида кремния. Нитрид кремния используется для изготовления узлов и деталей, работающих в условиях жесткой тепловой и механической нагрузки, например режущих пластин, шарикоподшипников, роторов турбин, броневых элементов, радиопрозрачной керамики [1–5].

В настоящее время перспективным направлением повышения высокотемпературных свойств керамики на основе нитрида кремния считается использование в качестве спекающих добавок оксидов редкоземельных металлов, которые могут образовывать в системе Si–N–O–M высокотемпературные кристаллические фазы.

Большинство добавок редкоземельных элементов не образуют твердый раствор с Si3N4, жидкая фаза после охлаждения формируется на границах зерен в виде аморфной или частично кристаллической фазы [6]. Зерна нитрида кремния окружены межкристаллитным стеклом или межкристаллитной пленкой, содержащей редкоземельный элемент. Было отмечено, что стекловидная фаза ухудшает высокотемпературную прочность керамики [7]. Ион редкоземельного элемента в стеклах способствует упрочнению матрицы, с уменьшением его радиуса увеличивается прочность связи с окружающим кислородом [8] и, соответственно, прочность материала. Из ряда редкоземельных элементов наименьшим радиусом иона обладают иттербий и лютеций [9], которые образуют соединения Lu4Si2O7N2 и Yb4Si2O7N2. Температура плавления Yb4Si2O7N2 очень высока (1870°С), поэтому соединение желательно в качестве межзеренной фазы. Таким образом, повышение высокотемпературных свойств керамики на основе нитрида кремния сводится к синтезу особо чистого порошка нитрида кремния, к которому предъявляется целый комплекс требований по примесному, фазовому и гранулометрическому составу, а также подбору спекающей добавки, которая бы обеспечила образование кристаллической межзеренной фазы с высокой температурой плавления.

Традиционно оксидные, армирующие и упрочняющие добавки смешиваются с порошком нитрида кремния в аттриторах, шаровых или планетарных мельницах. С помощью этих методик трудно получить однородную гомогенную смесь. Однородность распределения спекающих добавок между частицами Si3N4 оказывает большое влияние на микроструктуру и механические свойства керамики [10].

Создание высокопрочной конструкционной керамики из композиционных порошков (Si3N4 + оксид), полученных в одну стадию, мало изучено. В таких порошках спекающие добавки равномерно распределены по поверхности частиц основного вещества и состоят из промежуточных соединений. Керамика, полученная методом горячего прессования из композиционных порошков a-Si3N4 + Y2O3, a-Si3N4 + MgO, полученных методом плазмохимического синтеза, показала очень высокие прочностные свойства [11]. Однако использование композиционных порошков, полученных методом плазмохимического синтеза, значительно удорожает стоимость керамических материалов и, соответственно, ограничивает область их применения. В связи с этим актуально получение композиционных порошков на основе нитрида кремния (a-Si3N4 + MeO) методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) [12, 13]. Метод СВС позволяет получать соединения в одну стадию. Такой подход важен с точки зрения однородного распределения вторичных фаз, формирования межзеренной фазы на этапе синтеза порошка и предотвращения образования крупных скоплений стеклофазы в спекаемом материале [10, 14, 15], а также удешевляет производство керамики.

Целью данной работы является изучение закономерностей СВС материалов в системе Si3N4–Yb2O3.

Экспериментальная часть

Эксперименты по синтезу композиций Si3N4–Yb2O3 выполняли в промышленном реакторе СВС-30 с рабочим объемом 30 л в режиме горения шихты состава Si + Si3N4 + Yb2O3. Начальное давление азота: 4 МПа. Характеристики исходных компонентов показаны в табл. 1. Смешивание компонентов шихты осуществляли в шаровой мельнице в течение 1 ч. Шихту массой 2–3 кг засыпали в графитовую лодочку и помещали в реактор. Реактор продували азотом по показаниям манометра 0–5–0 атм. Воспламенение шихты осуществляли с помощью вольфрамовой спирали. Время синтеза: около 30 мин. После охлаждения продуктов синтеза осуществляли сброс остаточного давления из реактора. Затем лодочку со спеком извлекали из реактора и направляли на дальнейшую обработку.

 

Таблица 1. Характеристика исходных компонентов

Компонент

Кислород, мас.%

Удельная поверхность, м2

Средний размер частиц d50, мкм

Альфа-фаза, мас.%

Si

0.6

6.5

1.75

Si3N4 (СВС)

1.0

7.0

95

Yb2O3, марка ИБО-Д

3.1

3.83

Азот высокой чистоты (99.99 об.%)

 

Удельную поверхность измеряли методом БЭТ по низкотемпературной адсорбции азота на установке “Сорби-М”. Рентгенофазовый анализ (РФА) порошков проводили с помощью рентгеновского дифрактометра ДРОН-3М, пользуясь картотекой АSTM. Морфологию частиц исследовали на сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) LEO 1450 VP Carl Zeiss, Германия. Распределение частиц по размерам изучали на лазерном анализаторе “Микросайзер-201C”. Окончательное измельчение композиционных порошков выполняли в шаровой мельнице с использованием шаров из диоксида циркония и на струйной мельнице фирмы Hosokava Alpine Jet Mill с приставкой 100AFG. Температуры горения реакционных смесей измеряли с помощью вольфрам-рениевых термопар ВР5-ВР20, градуировка А-3.

Результаты и обсуждение

Для синтеза образцов Si3N4–Yb2O3 использовали реакционные смеси состава Si + Si3N4 + Yb2O3. Содержание оксида иттербия в шихте рассчитывали таким образом, чтобы после синтеза содержание Yb2O3 во вторичной фазе составляло 4, 8, 12, 16 и 20 мас.% с учетом прироста азота. Оптимальное содержание оксида иттербия для данной системы, по данным [16], составляет 12–16 мас.%.

Сначала изучали влияние содержания кремния в шихте на температуру горения при постоянном содержании оксида иттербия 12 и 16 мас.%. Измерения показали, что с увеличением доли кремния в шихте температура горения возрастает (рис. 1). Также установлено, что температура горения смесей с 16 мас.% Yb2O3 на 55–70°С выше температуры горения смесей с 12 мас.% оксида иттербия. Увеличение температуры горения, видимо, связано с положительным тепловым эффектом реакций между Yb2O3 и примесью кислорода (SiO2) в шихте с образованием силикатов иттербия:

2SiO2 + Yb2O3 = Yb2Si2O7 + Q,

SiO2 + Yb2O3 = Yb2SiO5 + Q,

SiO2 + 4Yb2O3 + Si3N4 = 2Yb4Si207N2 + Q.

 

Рис. 1. Влияние содержания кремния в шихте на температуру горения: 1 – 12, 2 – 16 мас.% Yb2O3.

 

Изучено также влияние количества оксида иттербия на температуру горения реакционных смесей. Измерение температур горения при постоянном содержании кремния 21 и 23 мас.% показало, что при увеличении содержания Yb2O3 в шихте от 4 до 20 мас.% температура горения возрастает (рис. 2). Полученные результаты подтвердили влияние реакций между оксидами (SiO2 + Yb2O3) на энергетику процесса СВС. Также установлено, что при увеличении доли Yb2O3 в шихте скорость горения возрастает от 0.3 до 0.9 мм/с в зависимости от содержания кремния в шихте (рис. 3). Это можно объяснить ростом температуры горения.

 

Рис. 2. Влияние содержания оксида иттербия в шихте на температуру горения: 1 – 21, 2 – 23 мас.% Si. 

 

Рис. 3. Влияние содержания оксида иттербия в шихте на скорость горения: 1 – 23, 2 – 21 мас.% Si.

 

Изучено влияние состава шихты на содержание альфа-фазы нитрида кремния в продукте синтеза. Для качественного спекания нитрида кремния содержание альфа-фазы должно быть не менее 90 мас.% [17]. Установлено, что с увеличением доли кремния в шихте содержание альфа-фазы снижается (рис. 4). Из рис. 4 видно, что наиболее оптимальное содержание кремния в шихте составляет 21–22 мас.%. При увеличении доли Yb2O3 в шихте содержание альфа-фазы также снижается (рис. 5), что обусловлено значительным ростом температуры горения.

 

Рис. 4. Влияние содержания кремния в шихте на содержание альфа-фазы в продукте синтеза: 1 – 16, 2 – 12 мас.% Yb2O3. 

 

Рис. 5. Влияние содержания оксида иттербия в шихте на содержание альфа-фазы в продукте синтеза: 1 – 23, 2 – 21 мас.% Si.

 

Зависимость содержания альфа-фазы в продукте синтеза от температуры горения показана на рис. 6. Видно, что основное влияние на содержание альфа-фазы оказывает температура горения реакционной шихты. Влияние содержания оксида иттербия 12 и 16 мас.% на количество альфа-фазы незначительно и заметно лишь при сравнении концентраций 4 и 16 мас.%: содержание альфа-фазы для 4 мас.% Yb2O3 составляет 98.3 мас.% при температуре 1540°С, а для 16 мас.% Yb2O3 – 94.0 мас.% при температуре 1570°С.

 

Рис. 6. Влияние температуры синтеза на содержание альфа-фазы в продукте: 1 – 16, 2 – 12 мас.% Yb2O3.

 

При измерении температур горения установлено, что по вертикальному сечению горящей шихты формируется градиент температур между центральной областью и поверхностью шихты, величина которого составляет 150–300°С. Наличие градиента обусловлено низкой скоростью горения (0.3–0.9 мм/с) и сильным теплоотводом в объем реактора. Установлено, что в приповерхностном слое температура горения минимальна и составляет от 1400 до 1600°С в зависимости от содержания кремния и оксида иттербия в шихте. Температуры горения, указанные на рис. 1, были измерены в центральной области шихты. Наличие градиента температур обусловливает неоднородное содержание альфа-фазы по вертикальному сечению спека. Так, в приповерхностном слое толщиной 5 мм содержание альфа-фазы составляет 98 мас.% при 20 мас.% кремния в шихте и снижается до 76 мас.% при 27 мас.% кремния в шихте. В центральной части содержание альфа-фазы снижается от 96 до 0 мас.%. При уменьшении доли кремния в шихте до оптимальной (21–22 мас.%) градиент температур уменьшается, а общее содержание альфа-фазы возрастает. После измельчения и усреднения спеков содержание альфа-фазы имеет промежуточное значение между центром спека и приповерхностным слоем (рис. 7).

 

Рис. 7. Содержание альфа-фазы в образцах с 16 мас.% Yb2O3 и различным содержанием кремния: 1 – приповерхностный слой (5 мм), 2 – после измельчения и усреднения спека, 3 – центральная часть спека.

 

Фазовый состав оксидной части образцов может зависеть от количества оксида, введенного в состав реакционной шихты, и температуры синтеза. РФА оксидной составляющей показал, что при содержании 4 и 8 мас.% Yb2O3 и 23 мас.% Si в шихте образуется дисиликат иттербия Yb2Si2O7 (рис. 8а, б). При 12 мас.% Yb2O3 и 23 мас.% Si в шихте помимо Yb2Si2O7 образуется Yb2SiO5 (рис. 8в). При дальнейшем увеличении Yb2O3 в шихте до 16 и 20 мас.% в основном образуется оксинитрид кремния-иттербия Yb4Si2N2O7 в сочетании с дисиликатом иттербия (рис. 8г, д). При этом температура горения возросла от 1550°С для 4 мас.% Yb2O3 до 1788°С для 20 мас.% Yb2O3 (рис. 2). Установлено, что пики на рентгенограмме, присущие фазе Yb4Si2N2O7, смещены вправо относительно углов, указанных в карточке. Смещение пиков свидетельствует о нестабильности структуры. Возможны дробные коэффициенты в формуле, то есть фаза Yb4Si2N2O7 имеет нестехиометрический состав и находится в метастабильном состоянии. При снижении доли кремния в шихте с 23 до 21 мас.% для составов с 16 и 20 мас.% Yb2O3 температура горения снизилась (рис. 2, кривая 1), при этом возросла интенсивность пиков альфа-фазы и Yb4Si2N2O7 относительно фазы дисиликата иттербия.

 

Рис. 8. Изменение фазового состава образцов в зависимости от содержания оксида иттербия в шихте.

 

Установлено, что при содержании в шихте 4 мас.% оксида иттербия морфология композиции представлена частицами удлиненной и равноосной формы (рис. 9а). Удлиненные частицы имеют толщину 0.3–1мкм и длину до 5 мкм. Размер равноосных частиц 0.5–3мкм. Распределение оксидной фазы неоднородное, очаговое (рис. 9б). Это можно объяснить низким содержанием оксида иттербия, а также крупными частицами исходного порошка Yb2O3. Оксидная фаза на фотографии выделяется ярким цветом. При увеличении содержания оксида иттербия до 8 мас.% морфология частиц нитрида кремния не изменилась, но распределение оксидной фазы стало более однородным. При 12 мас.% Yb2O3 наряду с удлиненными и равноосными частицами Si3N4 в образце обнаружено небольшое количество столбчатых кристаллов бета-фазы нитрида кремния толщиной 0.3–0.5 мкм и длиной до 4 мкм (рис. 10а). Также в образце формируются конгломераты из частиц нитрида кремния, объединенные оксидной фазой (рис. 10б).

 

Рис. 9. Морфология частиц композита Si3N4/Yb2Si2O7, полученного при содержании в шихте 4 мас.% Yb2O3: а – размер и форма частиц, б – распределение оксидных фаз иттербия. 

 

Рис. 10. Морфология частиц композита Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7, полученного при содержании в шихте 12 мас.% Yb2O3: а – размер и форма частиц, б – распределение оксидных фаз иттербия.

 

Морфология частиц композиции, полученной из шихты с 16 мас.% Yb2O3 и 23 мас.% кремния, представлена частицами равноосной формы и столбчатыми кристаллами (“усами”) бета-фазы нитрида кремния. Размер кристаллов β-Si3N4 изменяется в широком диапазоне: толщина от 0.2 до 2 мкм, длина до 12 мкм. Частицы равноосной формы, характерные для α-Si3N4, имеют размер 0.5–2 мкм (рис. 11а). При 20 мас.% Yb2O3 и 23 мас.% кремния в шихте количество кристаллов бета-фазы нитрида кремния значительно возросло (рис. 11б). Также установлено, что увеличение доли Yb2O3 привело к однородному распределению оксидных фаз иттербия (рис. 12).

 

Рис. 11. Морфология частиц композита Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7, полученного из шихты с 23 мас.% кремния при содержании 16 (а), 20 мас.% Yb2O3 (б).

  

Рис. 12. Распределение оксидных фаз иттербия в композите Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7, полученном из шихты с 23 мас.% кремния и 16 мас.% Yb2O3.

 

На рис. 13 показана морфология композиционного порошка с 20 мас.% Yb2O3 после оптимизации состава шихты. Видно, что образец, синтезированный при температуре 1620°С, состоит из частиц равноосной формы размером до 3 мкм и частиц удлиненной формы толщиной до 1 мкм и длиной до 3 мкм. Кристаллы β-Si3N4 отсутствуют. Распределение оксидных фаз однородное (рис. 14).

 

Рис. 13. Морфология частиц композита Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7, полученного из шихты с 21 мас.% кремния и 20 мас.% Yb2O3. 

 

Рис. 14. Распределение оксидных фаз иттербия в композите Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7, полученном из шихты с 21 мас.% кремния и 20 мас.% Yb2O3.

 

Чтобы получить порошок, пригодный для спекания, спеки предварительно измельчали в шаровой мельнице в течение 1 ч, а затем проводили диспергирование и классификацию на струйной мельнице. Таким образом были получены композиционные порошки с удельной поверхностью 3.7–4.2 м2/г и средним размером частиц 1.7–2.3 мкм (рис. 15а). Видно, что в процессе диспергирования не происходит разрушения отдельных кристаллитов нитрида кремния, а только расщепление конгломератов на отдельные частицы. Для увеличения дисперсности порошков проведено измельчение в аммиачной воде в шаровой мельнице шарами из диоксида циркония в течение 24 ч. В результате получены порошки с удельной поверхностью 7.4–9.6 м2/г и средним размером частиц 1 мкм (рис. 15б) с равномерным распределением оксидных фаз (рис. 15в).

 

Рис. 15. Морфология частиц образца a-Si3N4–Yb2O3 с 16 мас.% Yb2O3: а – после диспергирования на струйной мельнице, б – после измельчения в аммиачной воде; в – распределение оксидной фазы.

 

Заключение

Проведены исследования по синтезу материалов a-Si3N4–Yb2O3 с содержанием оксида иттербия 4, 8, 12, 16 и 20 мас.% методом СВС. Экспериментально определено, что оптимальное содержание кремния в шихте при синтезе образцов с 4–12 мас.% Yb2O3 составляет 23 мас.%, с 16–20 мас.% Yb2O3 – 21 мас.%. Показано, что оксид иттербия повышает энергетику процесса синтеза.

Разработана методика синтеза композиций на основе альфа-фазы нитрида кремния методом СВС в промышленном реакторе. Установлено, что наиболее оптимальный фазовый и химический состав композиций достигается при температуре синтеза не более 1650°С. При содержании Yb2O3 в шихте 16 мас.% и более вторичная фаза формируется в основном в виде оксинитрида Yb4Si2N2O7. Изготовлены композиционные порошки a-Si3N4–Yb2O3 с 12 и 16 мас.% Yb2O3 со средним размером частиц 1 мкм и содержанием альфа-фазы более 90 мас.%.

Благодарность

Исследование выполнено с использованием оборудования Распределенного центра пользователей Федерального государственного бюджетного учреждения науки “Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Мержанова” Российской академии наук.

Финансирование работы

Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 24-23-00085, https://rscf.ru/project/24-23-00085/.

Конфликт интересов

Авторы заявляют, что у них нет конфликта интересов.

×

About the authors

В. В. Закоржевский

Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Мержанова Российской академии наук

Author for correspondence.
Email: zakvl@ism.ac.ru
Russian Federation, ул. Академика Осипьяна, 8, Черноголовка, Московская обл., 142432

И. А. Шибаков

Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Мержанова Российской академии наук

Email: zakvl@ism.ac.ru
Russian Federation, ул. Академика Осипьяна, 8, Черноголовка, Московская обл., 142432

И. Д. Ковалев

Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Мержанова Российской академии наук

Email: zakvl@ism.ac.ru
Russian Federation, ул. Академика Осипьяна, 8, Черноголовка, Московская обл., 142432

Н. И. Мухина

Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Мержанова Российской академии наук

Email: zakvl@ism.ac.ru
Russian Federation, ул. Академика Осипьяна, 8, Черноголовка, Московская обл., 142432

References

  1. Heinrich J.D., Kruner H. Silicon nitride materials for engine applications // CFI, Ceram. Forum Int. 1995. V. 72. № 4. P. 167–174.
  2. Klemm Hagen. Silicon Nitride for High-Temperature Applications // J. Am. Ceram. Soc. 2010. V. 93. № 6. P. 1501–1522. https://doi.org/10.1111/j.1551-2916.2010.03839.x
  3. Strobla S., Lubeb T., Supancicb P., Stoisera M., Schöppl O., Danzer R. Mechanical properties of silicon nitride rolling elements in dependence of size and shape // J. Eur. Ceram. Soc. 2014. V. 34. P. 4167–4176. https://doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2014.06.029
  4. Berroth K. Silicon nitride ceramics for product and process innovations // Adv. Sci. Technol. 2005. V. 65. P. 70–77. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AST.65.70
  5. Ивахненко Ю.А., Варрик Н.М., Максимов В.Г. Высокотемпературные радиопрозрачные керамические композиционные материалы для обтекателей антенн и других изделий авиационной техники (обзор) // Тр. ВИАМ. 2016. № 5 (41). С. 36–43. https://dx.doi.org/10.18577/2307-6046-2016-0-5-6-6
  6. Chihara K., Hiratsuka D., Shinoda Y., Akatsu T., Wakai F., Tatami J. et al. High-temperature compressive deformation of β-SiAlON polycrystals containing minimum amount of intergranular glass phase // Mater. Sci. Eng., B. 2008. V. 148. P. 203–206. https://doi.org/10.1016/j.mseb.2007.09.008
  7. Meléndez-Martínez J., Domínguez-Rodríguez A. Creep of silicon nitride. // Mater Sci. 2004. V. 49. № 1. P. 19–107. https://doi.org/10.1016/S0079-6425(03)00020-3
  8. Tanabe S., Hirao K., Soga N. Elastic properties and molar volume of rare-earth aluminosilicate glasses // J. Am. Ceram. Soc. 1992. V. 75. № 3. P. 503–509. https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1992.tb07833.x
  9. Матюха В.А., Матюха С.В. Оксалаты редкоземельных элементов и актиноидов. 3-е изд., перераб. и доп. М.: ИздАт, 2008. 608 с. ISBN 978-5-86656-226-8.
  10. Wang L., Roy S., Sigmund W., Aldinger F. In situ Incorporation of Sintering Additives in Si3N4 Powder by a Combustion Process // J. Eur. Ceram. Soc. 1999. V. 19. P. 61–65. https://doi.org/10.1002/chin.199915293
  11. Ткачева И.И. Горячепрессованная керамика из ультрадисперсных композиционных порошков // Огнеупоры. 1994. № 2. C. 13–20.
  12. Закоржевский В.В., Боровинская И.П., Чевыкалова Л.А., Келина И.Ю. Особенности синтеза композиций a-Si3N4-(MgO,Y2O3) в режиме горения // Порошковая металлургия. 2007. № 1/2. C. 10–14. https://doi.org/10.1007/s11106-007-0002-z
  13. Чевыкалова Л.А., Келина И.Ю., Михальчик И.Л., Плясункова Л.А., Аракчеев А.В., Закоржевский В.В., Лорян В Э. Керамический материал на основе отечественныx композиционныx порошков нитрида кремния, полученных методом СВС // Новые огнеупоры. 2014. № 10. C. 31–36. https://doi.org/10.17073/1683-4518-2014-10-31-36
  14. Zakorzhevski V.V., Sharivker S.Yu., Borovinskaya I.P., Ignatieva T.I., Sachkova N.V. Specific Features of Self-Propagating High-Temperature Synthesis of the AlN-Y2O3 System and Some Properties of the Final Products // Int. J. Self.-Propag. High-Temp. Synth. 1999. V. 8. № 2. P. 165–176.
  15. Pampuch R., Lis J., Stoberski L., Ermer E. Improvement Sinterabilitty and Microstructure of Covalent Ceramics by Solid Combustion Synthesis // Int. J. Self.-Propag. High-Temp. Synth. 1993. V. 2. № 3. P. 49–55.
  16. Park Hyoungjoon, Kim Hyoun-Ee, Niihara Koichi. Microstructural Evolution and Mechanical Properties of Si3N4 with Yb2O3 as a Sintering Additive // J. Am. Ceram. Soc. 1997. V. 80. № 3. P. 750–756. https://doi.org/10.1002/chin.199725011.
  17. Андриевский Р.А., Спивак И.И. Нитрид кремния и материалы на его основе. М.: Металлургия, 1984. 137 с.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
2. Fig. 1. Effect of silicon content in the batch on combustion temperature: 1 – 12, 2 – 16 wt.% Yb2O3.

Download (58KB)
3. Fig. 2. Effect of ytterbium oxide content in the batch on combustion temperature: 1 – 21, 2 – 23 wt.% Si.

Download (53KB)
4. Fig. 3. Effect of ytterbium oxide content in the batch on combustion rate: 1 – 23, 2 – 21 wt.% Si.

Download (45KB)
5. Fig. 4. Effect of silicon content in the batch on the alpha phase content in the synthesis product: 1 – 16, 2 – 12 wt.% Yb2O3.

Download (47KB)
6. Fig. 5. Effect of ytterbium oxide content in the batch on the alpha phase content in the synthesis product: 1 – 23, 2 – 21 wt.% Si.

Download (45KB)
7. Fig. 6. Effect of synthesis temperature on the alpha phase content in the product: 1 – 16, 2 – 12 wt.% Yb2O3.

Download (41KB)
8. Fig. 7. Alpha phase content in samples with 16 wt.% Yb2O3 and different silicon content: 1 – surface layer (5 mm), 2 – after grinding and averaging of the sinter, 3 – central part of the sinter.

Download (56KB)
9. Fig. 8. Change in the phase composition of the samples depending on the ytterbium oxide content in the batch.

Download (417KB)
10. Fig. 9. Morphology of particles of the Si3N4/Yb2Si2O7 composite obtained with a content of 4 wt.% Yb2O3 in the batch: a – particle size and shape, b – distribution of ytterbium oxide phases.

Download (374KB)
11. Fig. 10. Morphology of particles of the Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7 composite obtained with a batch containing 12 wt.% Yb2O3: a – particle size and shape, b – distribution of ytterbium oxide phases.

Download (321KB)
12. Fig. 11. Morphology of particles of the Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7 composite obtained from a batch with 23 wt.% silicon and a content of 16 (a), 20 wt.% Yb2O3 (b).

Download (285KB)
13. Fig. 12. Distribution of ytterbium oxide phases in the Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7 composite obtained from a batch with 23 wt.% silicon and 16 wt.% Yb2O3.

Download (156KB)
14. Fig. 13. Morphology of Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7 composite particles obtained from a batch with 21 wt.% silicon and 20 wt.% Yb2O3.

Download (150KB)
15. Fig. 14. Distribution of ytterbium oxide phases in the Si3N4/Yb4Si2N2O7/Yb2Si2O7 composite obtained from a batch with 21 wt.% silicon and 20 wt.% Yb2O3.

Download (132KB)
16. Fig. 15. Morphology of a-Si3N4–Yb2O3 sample particles with 16 wt.% Yb2O3: a – after dispersion in a jet mill, b – after grinding in ammonia water; c – distribution of the oxide phase.

Download (445KB)

Copyright (c) 2024 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».