Отправить статью по E-mail Светодиодный холоэллипсометр с бинарной модуляцией поляризации рассеяния света одноосным двумерным кристаллом
- Авторы: Али М.1, Кирьянов А.П.2, Ковалёв В.И.3, Кваша И.В.4
-
Учреждения:
- Национальный исследовательский университет МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН
- Филиал Института электроники и радиотехники им. В.А. Котельникова РАН
- Российский университет дружбы народов
- Выпуск: № 2 (2013)
- Страницы: 201-209
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.rcsi.science/2658-4670/article/view/328621
- ID: 328621
Цитировать
Аннотация
Представлен холоэллипсометр почти нормального рассеяния света оптически одно-осным кристаллом с использованием бинарной модуляции поляризации света. Он актуален для топометрических систем, широко используемых в нанотехнологиях и медицине. Получены основные уравнения холоэллипсометрии нормального рассеяния света.
Об авторах
Мохаммед Али
Национальный исследовательский университет МГТУ им. Н.Э. Баумана
Email: mohammedali2206@gmail.com
Анатолий Павлович Кирьянов
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН
Email: kiryanov37@mail.ru
Виталий Иванович Ковалёв
Филиал Института электроники и радиотехники им. В.А. Котельникова РАН
Email: ellipsometry@yandex.ru
Ирина Викторовна Кваша
Российский университет дружбы народовExperimental Physics Department
Дополнительные файлы
