Автор туралы ақпарат
Umanskii, S. Ya.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 10, № 5 (2016) | Surface Reactions | Gas–surface reactions in the growth of dielectric films by chemical vapor deposition: The role of nonequilibrium surface diffusion of adsorbed precursors |