ИЗМЕНЕНИЕ ЗАРЯДОВОГО СОСТОЯНИЯ МОП-СТРУКТУР ПРИ РАДИАЦИОННОМ ОБЛУЧЕНИИ И СИЛЬНОПОЛЕВОЙ ИНЖЕКЦИИ В РЕЖИМЕ ПОСТОЯННОГО НАПРЯЖЕНИЯ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Исследованы особенности накопления радиационно-индуцированного положительного заряда в пленке подзатворного диэлектрика при сильнополевой инжекции электронов в режиме постоянного напряжения. Определены условия, при которых можно использовать данный режим инжекции электронов для повышения дозовой чувствительности МОП-сенсоров (МОП - металл-оксид-полупроводник) и сенсоров RADFET (Radiation sensing Field Effect Transistor) радиационных излучений. Скорректированы модельные представления о физических процессах, протекающих в подзатворном диэлектрике и на границах раздела МОП-структур при одновременном воздействии радиационных излучений и сильнополевой инжекции электронов в режиме постоянного напряжения. Показано, что поглощенную дозу радиационного излучения при постоянном напряжении на образце можно определять из изменений плотности тока сильнополевой инжекции электронов, которая может увеличиваться на несколько порядков вследствие накопления в подзатворном диэлектрике радиационно-индуцированного положительного заряда. Определено влияние интенсивности излучения на процессы накопления радиационно-индуцированного положительного заряда в подзатворном диэлектрике МОП-сенсоров.

Об авторах

Д. В. Андреев

Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Калужский филиал

Email: dmitrii_andreev@bmstu.ru
Калуга, 248000 Россия

С. А. Корнев

Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Калужский филиал

Email: dmitrii_andreev@bmstu.ru
Калуга, 248000 Россия

В. В. Андреев

Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Калужский филиал

Email: dmitrii_andreev@bmstu.ru
Калуга, 248000 Россия

Список литературы

  1. Yilmaz E., Kaleli B., Turan R. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2007. V. 264. P. 287. http://doi.org/10.1016/j.nimb.2007.08.081
  2. Kahraman A., Yilmaz E., Aktag A., Kaya S. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2016. V. 63. No 2. P. 1284. http://doi.org/10.1109/TNS.2016.2524625
  3. Aktağ A., Yilmaz E., Mogaddam N.A.P., Aygün G., Cantas A., Turan R. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2010. V. 268. No 22. P. 3417. http://doi.org/10.1016/j.nimb.2010.09.007
  4. Yilmaz E., Turan R. // Sensors Actuators. A. 2008. V. 141. No 1. Р. 1. http://doi.org/10.1016/j.sna.2007.07.001
  5. Holmes-Siedle A., Adams L. // Radiat. Phys. Chem. 1986. V. 28. P. 235. http://doi.org/10.1016/1359-0197(86)90134-7
  6. Pejović M.M. // Radiat. Phys. Chem. 2017. V. 130. P. 221. http://doi.org/10.1016/j.radphyschem.2016.08.027
  7. Ristic G.S., Vasovic N.D., Kovacevic M., Jaksic A.B. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2011. V. 269. P. 2703. http://doi.org/10.1016/j.nimb.2011.08.015
  8. Ristic G.S., Ilic S.D., Andjelkovic M.S., Duane R., Palma A.J., Lalena A.M., Krstic M.D., Jaksic A.B. // Nuclear Instrum. Methods Phys. Res. A. 2022. V. 1029. P. 166473. http://doi.org/10.1016/j.nima.2022.166473
  9. Lipovetzky J., Holmes-Siedle A., Inza M.G., Carbonetto S., Redin E., Faigon A. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2012. V. 59. P. 3133. http://doi.org/10.1109/TNS.2012.2222667
  10. Siebel O.F., Pereira J.G., Souza R.S., Ramirez-Fernandez F.J., Schneider M.C., Galup-Montoro C. // Radiat. Measur. 2015. V. 75. P. 53. http://doi.org/10.1016/j.radmeas.2015.03.004
  11. Kulhar M., Dhoot K., Pandya A. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2019. V. 66. P. 2220. http://doi.org/10.1109/TNS.2019.2942955
  12. Camanzi B., Holmes-Siedle A.G. // Nature Mater. 2008. V. seven. P. 343. http://doi.org/10.1038/nmat2159
  13. Oldham T.R., McLean F.B. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2003. V. 50. P. 483. http://doi.org/10.1109/TNS.2003.812927
  14. Schwank J.R., Shaneyfelt M.R., Fleetwood D.M., Felix J.A., Dodd P.E., Paillet P., Ferlet-Cavrois V. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2008. V. 55. P. 1833. http://doi.org/10.1109/TNS.2008.2001040
  15. Lipovetzky J., Redin E.G., Faigon A. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2007. V. 54. P. 1244. http://doi.org/10.1109/TNS.2007.895122
  16. Peng L., Hu D., Jia Y., Wu Y., An P., Jia G. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2017. V. 64. P. 2633. http://doi.org/10.1109/TNS.2017.2744679
  17. Andreev D.V., Bondarenko G.G., Andreev V.V., Stolyarov A.A. // Sensors. 2020. V. 20. P. 2382. http://doi.org/10.3390/s20082382
  18. Andreev V.V., Maslovsky V.M., Andreev D.V., Stolyarov A.A. // Proc. SPIE. 2019. V. 11022. P. 1102207. http://doi.org/10.1117/12.2521985
  19. Andreev D.V., Bondarenko G.G., Andreev V.V. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2023. V. 17. P. 48. http://doi.org/10.1134/S1027451023010056
  20. Lai S.K. // J. Appl. Phys. 1983. V. 54. P. 2540. http://doi.org/10.1063/1.332323
  21. Arnold D., Cartier E., DiMaria D.J. // Phys. Rev. B. 1994. V. 49. P. 10278. http://doi.org/10.1103/PhysRevB.49.10278
  22. Strong A.W., Wu E.Y., Vollertsen R., Sune J., Rosa G.L., Rauch S.E., Sullivan T.D. Reliability Wearout Mechanisms in Advanced CMOS Technologies. Wiley-IEEE Press, 2009. 624 p.
  23. Palumbo F., Wen C., Lombardo S., Pazos S., Aguirre F., Eizenberg M., Hui F., Lanza M. // Adv. Funct. Mater. 2019. V. 29. P. 1900657. http://doi.org/10.1002/adfm.201900657

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Институт физики твердого тела РАН, Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».