Влияние методов травления на диэлектрические потери кубитов-трансмонов
- Авторы: Чудакова Т.А1,2,3, Мажорин Г.С1,2,3, Трофимов И.В4, Руденко Н.Ю1, Мумляков А.М4, Казьмина А.С1,2,3, Егорова Е.Ю1,2,3, Гладилович П.А1, Чичков М.В1, Малеева Н.А1, Тархов М.А4, Чичков В.И1
-
Учреждения:
- Национальный исследовательский технологический университет МИСИС
- Российский квантовый центр
- Московский физико-технический институт
- Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН
- Выпуск: Том 120, № 3-4 (2024)
- Страницы: 304–311
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.rcsi.science/0370-274X/article/view/262267
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0370274X24080244
- EDN: https://elibrary.ru/EKUVIW
- ID: 262267
Цитировать
Аннотация
Об авторах
Т. А Чудакова
Национальный исследовательский технологический университет МИСИС; Российский квантовый центр; Московский физико-технический институт
Email: sidelnikova.ta@phystech.edu
Москва, Россия; Москва, Россия; Долгопрудный, Россия
Г. С Мажорин
Национальный исследовательский технологический университет МИСИС; Российский квантовый центр; Московский физико-технический институтМосква, Россия; Москва, Россия; Долгопрудный, Россия
И. В Трофимов
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАНМосква, Россия
Н. Ю Руденко
Национальный исследовательский технологический университет МИСИСМосква, Россия
А. М Мумляков
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАНМосква, Россия
А. С Казьмина
Национальный исследовательский технологический университет МИСИС; Российский квантовый центр; Московский физико-технический институтМосква, Россия; Москва, Россия; Долгопрудный, Россия
Е. Ю Егорова
Национальный исследовательский технологический университет МИСИС; Российский квантовый центр; Московский физико-технический институтМосква, Россия; Москва, Россия; Долгопрудный, Россия
П. А Гладилович
Национальный исследовательский технологический университет МИСИСМосква, Россия
М. В Чичков
Национальный исследовательский технологический университет МИСИСМосква, Россия
Н. А Малеева
Национальный исследовательский технологический университет МИСИСМосква, Россия
М. А Тархов
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАНМосква, Россия
В. И Чичков
Национальный исследовательский технологический университет МИСИСМосква, Россия
Список литературы
- A. Somoroff, Q. Ficheux, A.R. Mencia, H. Xiong, R. Kuzmin, and V.E. Manucharyan, Phys. Rev. Lett. 130, 267001 (2023).
- Z. Li, P. Liu, P. Zhao, Z. Mi, H. Xu, X. Liang, T. Su, W. Sun, G. Xue, J.-N. Zhang,W. Liu, Y. Jin, and H. Yu, npj Quantum Inf. 9, 111 (2023).
- I.N. Moskalenko, I.A. Simakov, N.N. Abramov, A.A. Grigorev, D.O. Moskalev, A.A. Pishchimova, N. S. Smirnov, E.V. Zikiy, I.A. Rodionov, and I. S. Besedin, npj Quantum Inf. 8, 130 (2022).
- L. Ding, M. Hays, Y. Sung et al. (Collaboration), Phys. Rev. X 13, 031035 (2023).
- F. Arute, K. Arya, and R. Babbush, Nature 574, 505 (2019).
- J.D. Franson, M.M. Donegan, M. J. Fitch, B.C. Jacobs, and T.B. Pittman, Phys. Rev. Lett. 89, 137901 (2002).
- R. Acharya, I. Aleiner, R. Allen et al. (Collaboration), Nature 614, 676 (2023).
- S. Krinner, N. Lacroix, A. Remm, A. Di Paolo, E. Genois, C. Leroux, C. Hellings, S. Lazar, F. Swiadek, J. Herrmann, G. J. Norris, C.K. Andersen, M. M¨uller, A. Blais, C. Eichler, and A. Wallraff, Nature 605, 669 (2022).
- F. Arute, K. Arya, R. Babbush, et al. (Collaboration), Nature 369, 1084 (2020).
- A. Kandala, A. Mezzacapo, K. Temme, M. Takita, M. Brink, J.M. Chow, and J.M. Gambetta, Nature 369, 1084 (2020).
- C. Muller, J.H. Cole, and J. Lisenfeld, Rep. Prog. Phys. 82, 124501 (2019).
- A. Premkumar, C. Weiland, S. Hwang, et al. (Collaboration), Commun. Mater. 2, 72 (2021).
- R. McDermott, IEEE Trans. Appl. Supercond. 19, 2 (2009).
- J.H. B´ejanin, C.T. Earnest, A. S. Sharafeldin, and M. Mariantoni, IEEE Trans. Appl. Supercond. 19, 2 (2009).
- D.P. Pappas, M.R. Vissers, D. S. Wisbey, J. S. Kline, and J. Gao, IEEE Trans. Appl. Supercond. 21, 871 (2011).
- P.V. Klimov, J. Kelly, Z. Chen et al. (Collaboration), Phys. Rev. Lett. 121, 090502 (2018).
- D. Niepce, J. Burnett, M.G. Latorre, and J. Bylander, Supercond. Sci. Technol. 33, 025013 (2020).
- J. Burnett, L. Faoro, and T. Lindstr¨om, Supercond. Sci. Technol. 29, 044008 (2016).
- M¨uller, Clemens, J.H. Cole, and J. Lisenfeld, Rep. Prog. Phys. 82, 124501 (2019).
- J. Wenner, R. Barends, R.C. Bialczak et al. (Collaboration), Appl. Phys. Lett. 99, 113513 (2011).
- J.H. B´ejanin, C.T. Earnest, A. S. Sharafeldin, and M. Mariantoni, Phys. Rev. B 104, 094106 (2021).
- C. M¨uller, J. Lisenfeld, A. Shnirman, and S. Poletto, Phys. Rev. B 92, 035442 (2015).
- C. Wang, C. Axline, Y.Y. Gao, T. Brecht, L. Frunzio, M.H. Devoret, R. J. Schoelkopf, Appl. Phys. Lett. 107, 16 (2015).
- N. S. Smirnov, E.A. Krivko, A.A. Solovyova, A. I. Ivanov, and I.A. Rodionov, Sci. Rep. 14, 7326 (2024).
- C. M¨uller, A. Shnirman, and Y. Makhlin, Phys. Rev. B 80, 134517 (2009).
- R.W. Simmonds, M. S. Allman, F. Altomare, K. Cicak, K.D. Osborn, J.A. Park, M. Sillanp¨a¨a, A. Sirois, J.A. Strong, and J.D. Whittaker, Quantum Information Processing 8, 117 (2009).
- A. Shnirman, G. Sch¨on, I. Martin, and Y. Makhlin, Phys. Rev. Lett. 94, 127002 (2005).
- P. Dutta and P.M. Horn, Rev. Mod. Phys. 53, 497 (1981).
- J. Lisenfeld, C. Muller, J.H. Cole, P.A. Bushev, A. Lukashenko, A. Shnirman, and A.V. Ustinov, Phys. Rev. Lett. 105, 230504 (2010).
- J. Burnett, L. Faoro, I. Wisby, V. L. Gurtovoi, A.V. Chernykh, G.M. Mikhailov, V.A. Tulin, R. Shaikhaidarov, V. Antonov, P. J. Meeson, A.Ya. Tzalenchuk, and T. Lindstr¨om, Nat. Commun. 5, 4119 (2014).
- E. Paladino, Y.M. Galperin, G. Falci, and B. L. Altshuler, Rev. Mod. Phys. 86, 361 (2013).
- S. Eun, S.H. Park, K. Seo, K. Choi, and S. Hah, J. Phys. D: Appl. Phys. 56, 505306 (2023).
- J. Lisenfeld, G. J. Grabovskij, C. Muller, J.H. Cole, G. Weiss, and A.V. Ustinov, Nat. Commun. 6, 6182 (2015).
- I.A. Simakov, G. S. Mazhorin, I.N. Moskalenko, S. S. Seidov, and I. S. Besedin, Phys. Rev. Appl. 21, 044035 (2024).
- I.A. Simakov, G. S. Mazhorin, I.N. Moskalenko, N.N. Abramov, A.A. Grigorev, D.O. Moskalev, An.A. Pishchimova, N. S. Smirnov, E.V. Zikiy, I.A. Rodionov, and I. S. Besedin, PRX Quantum 4, 040321 (2023).
- C.T. Earnest, J.H. B´ejanin, T.G. McConkey, E.A. Peters, A. Korinek, H. Yuan, and M. Mariantoni, Supercond. Sci. Technol 31, 125013 (2018).
- S. Probst, F.B. Song, P.A. Bushev, A.V. Ustinov, and M. Weides, Rev. Sci. Instrum. 86, 024706 (2015).
- E.V. Zikiy, A. I. Ivanov, N. S. Smirnov, D.O. Moskalev, V. I. Polozov, A.R. Matanin, E. I. Malevannaya, V.V. Echeistov, T.G. Konstantinova, and I.A. Rodionov, Sci. Rep. 13, 15536 (2023).
- F. Lecocq, I. Pop, Zhihui Peng, I. Matei, T. Crozes, T. Fournier, C. Naud, W. Guichard, and O. Buisson, Nanotechnology 22, 315302 (2011).
- M.H. Devoret and R. J. Schoelkopf, Science 339, 1169 (2013).
- P. Krantz, M. Kjaergaard, F. Yan, T. P. Orlando, S. Gustavsson, and W.D. Oliver, Appl. Phys. Rev. 6, 021318 (2019).
- J. Burnett, A. Bengtsson, M. Scigliuzzo, D. Niepce, M. Kudra, P. Delsing, and J. Bylander, npj Quantum Inf. 5, 9 (2019).
- P. J. de Visser, J. J.A. Baselmans, P. Diener, S. J.C. Yates, A. Endo, and T.M. Klapwijk, Phys. Rev. Lett. 106, 167004 (2011)
- D. Rist`e, C.C. Bultink, M. J. Tiggelman, R.N. Schouten, K.W. Lehnert, and L. DiCarlo, Nat. Commun. 4, 1913 (2013).
- J.M. Martinis, K.B. Cooper, R. McDermott, M. Steffen, M. Ansmann, K.D. Osborn, K. Cicak, S. Oh, D.P. Pappas, R.W. Simmonds, and C.C. Yu, Phys. Rev. Lett. 95, 210503 (2005).
- S. Schl¨or ,J. Lisenfeld, C. M¨uller, A. Bilmes, A. Schneider, D.P. Pappas, A.V. Ustinov, and M. Weides, Phys. Rev. Lett. 123, 190502 (2019).
- F. Yan, S. Gustavsson, J. Bylander, X. Jin, F. Yoshihara, D.G. Cory, Y. Nakamura, T. P. Orlando, and W.D. Oliver, Nat. Commun. 4, 2337 (2013).
- L.V. Abdurakhimov, I. Mahboob, H. Toida, K. Kakuyanagi, Y. Matsuzaki, and Shiro Saito, Phys. Rev. B 102, 100502 (2020).
- Y. Sung, A. Veps¨al¨ainen, J. Braum¨uller et. al. (Collaboration), Nat. Commun. 12, 967 (2021).
- S. Matityahu, J. Lisenfeld, A. Bilmes, A. Shnirman, G. Weiss, A.V. Ustinov, and M. Schechter, Phys. Rev. 95, 241409 (2017).
- J. Bylander, S. Gustavsson, F. Yan, F. Yoshihara, K. Harrabi, G. Fitch, D.G. Cory, Y. Nakamura, J.-S. Tsai, andW.D. Oliver, Nature Phys. 7, 565 (2011).