ОБЗОР СОВРЕМЕННЫХ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ НАСОСОВ ДЛЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА В УСКОРИТЕЛЯХ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ И УСТАНОВКАХ ТЕРМОЯДЕРНОГО СИНТЕЗА

Обложка
  • Авторы: Краснов А.А1,2,3, Нечаев П.Г4, Семенов А.М1,5
  • Учреждения:
    1. Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт ядерной физики имени Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук»
    2. Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский национальный исследовательский государственный университет»
    3. Центр коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов (СКИФ)», Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Института катализа имени Г.К. Борескова Сибирского отделения Российской академии наук
    4. Общество с ограниченной ответственностью «Оптикон»
    5. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
  • Выпуск: Том 89, № 9 (2025)
  • Страницы: 1404-1411
  • Раздел: Синхротронное излучение и излучение лазеров на свободных электронах: генерация и применение
  • URL: https://journals.rcsi.science/0367-6765/article/view/364258
  • DOI: https://doi.org/10.7868/S30346460525090083
  • ID: 364258

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Рассмотрены отечественные современные насосы на базе нераспыляемых геттеров и ионно-геттерные насосы для получения сверхвысокого вакуума порядка 10–1 Торр. Проанализированы экспериментальные результаты измерений быстроты откачки в зависимости от давления газа для различных типов ионно-геттерных насосов. Для насосов на базе нераспыляемых геттеров представлены результаты измерения быстроты откачки по H2, CO и D2.

Об авторах

А. А Краснов

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт ядерной физики имени Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук»; Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский национальный исследовательский государственный университет»; Центр коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов (СКИФ)», Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Института катализа имени Г.К. Борескова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия; Новосибирск, Россия; Кольцово, Россия

П. Г Нечаев

Общество с ограниченной ответственностью «Оптикон»

Новосибирск, Россия

А. М Семенов

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт ядерной физики имени Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук»; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»

Email: A.M.Semenov@inp.nsk.su
Новосибирск, Россия; Новосибирск, Россия

Список литературы

  1. Krasnov A. // Proc. SFR’20 (Novosibirsk, 2020). P. 1.
  2. Schulz L. // Proc. CERN Accelerator School: Vacuum Technology (Copenhagen, 1999). P. 1.
  3. Deichuli P., Davydenko V., Belov V. et al. // Rev. Sci. Instrum. 2012. V. 83. No. 2. Art. No. 02B114.
  4. ISO DIN 3556. Sputter-ion pumps. Measurement of performance characteristics.
  5. Jousten K. // Proc. CERN Accelerator School: Vacuum Technology (Platja d’Aro, 2006). P. 1.
  6. Анашин В.В., Краснов А.А., Семенов А.М. // ПТЭ. 2020. No. 6. P. 109
  7. Anashin V.V., Krasnov A.A., and Semenov A.M. // Instrum. Exp. Tech. 2020. V. 63. No. 6. P. 893.
  8. Краснов А.А., Семенов А.М. // Изв. РАН. Сер. физ. 2023. Т. 87. № 5. С. 646
  9. Krasnov A.A., and Semenov A.M. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2023. V. 87. No. 5. P. 568.
  10. Смирницкая Г.В., Рейхрудель Э.М. // Электрон. И ее прим. 1976. Т. 8. С. 43.
  11. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964. 716 с.
  12. https://www.agilent.com/cs/library/usermanuals/public/VP20n-crop.pdf
  13. https://www.saesgetters.com/products-functions/Products

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».