Прямой одностадийный плазмохимический синтез наноструктурированных тонких пленок системы β-Ga2O3-GaN различного состава

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Впервые наноструктурированные тонкие пленки системы β-Ga2O3−GaN были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) на подложках из с-сапфира. Металлический высокочистый галлий, а также высокочистые газообразные азот и кислород использовали в качестве источников макрокомпонентов. Низкотемпературная неравновесная плазма индуктивно-связанного ВЧ (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр) являлась инициатором химических превращений между исходными веществами. В качестве плазмообразующего газа использовали смесь кислорода и азота. Плазмохимический процесс был изучен с помощью метода оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС). Полученные тонкие пленки системы β-Ga2O3−GaN с содержанием фазы GaN от 2 до 7% были охарактеризованы различными аналитическими методами.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

Л. А. Мочалов

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород

М. А. Кудряшов

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород

М. А. Вшивцев

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Автор, ответственный за переписку.
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород

Ю. П. Кудряшова

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород

И. О. Прохоров

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород

А. В. Князев

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород

А. В. Алмаев

ООО “Фокон”

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга

Н. Н. Яковлев

ООО “Фокон”

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга

Е. В. Черников

ООО “Фокон”

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга

Н. Н. Ерзакова

ООО “Фокон”

Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга

Список литературы

  1. Afzal A. // J. Materiomics. 2019. V. 5. № 4. P. 542.
  2. Jang S., Jung S., Kim J. et al. // ECS J Solid State Sci Technol. 2018. V. 7. № 7. P. 3180.
  3. Hoefer U., Frank J., Fleischer M. // Sens. Actuators B Chem. 2001. V. 78. № 1. P. 6.
  4. Lampe U., M. Fleischer M., Meixner H. // Sens. Actuators B Chem. 1994. V. 17. P. 187.
  5. Fleischer M., Hanrieder W., Meixner H. // Thin Solid Films. 1990. V. 190. P. 93.
  6. Liu Y., Parisi J., Sun X., Lei Y. // J. Mater. Chem. A. 2014. V. 2 P.9919.
  7. Ghosh A., Zhang C., Shi S.Q., Zhang H. // Clean – Soil, Air, Water. 2019. V. 47. P. 1800491.
  8. Fleischer M., Giber J., Meixner H. // Appl. Phys. 1992. V. 54. P. 560.
  9. Bartic M. // Phys Status Solidi. 2016. V. 213. P. 457.
  10. Liu Z., Yamazaki T., Shen Y. et al. // Sens Actuators B Chem. 2008. V. 129. P. 666.
  11. Pandeeswari R., Jeyaprakash B.G. // Sens Actuators B Chem. 2014. V. 195. P. 206.
  12. Li Y., Trinchi A., Wlodarski W. et al. // Sens Actuators B Chem. 2003. V. 93. P. 431.
  13. Mochalov L., Logunov A., Kudryashov M. et al. // ECS J. Solid State Sci. Technol. 2021. V. 10. P. 073002.
  14. Mochalov L.A., Logunov A.A., Prokhorov I.O. // Journal of Physics: Conference Series. 2021. V. 1967. P. 012036.
  15. Zhang H., Deng J.X., Kong L. et al. // Micro & Nano Lett. 2019. V. 14. P. 62.
  16. Suzhen L., Linpeng D. Xiaofan M. J. // J. Alloys Compd. 2020. V. 812. P. 1520262.
  17. Liu L.L., Li M.K., Yu D.Q. // Appl. Phys. A. 2010. V. 98. P. 831.
  18. Sun R., Zhang H.-Y., Wang G.-G. et al. // Superlattices Microstruct. 2014. V. 65. P. 146.
  19. Zhang Y., Yan J., Li Q. et al. // Physica B. V. 406. P. 3079.
  20. Roehrens D. // J. Solid State Chem. 2010. V. 183. P. 532.
  21. Mochalov L.A., Logunov A.A., Kudryashov M.A. // Journal of Physics: Conference Series. 2021. V. 1967. P. 012037.
  22. Mochalov L., Logunov A., Gogova D. et al. // Opt Quantum Electron. 2020. V. 52. P. 510.
  23. Bagolini A., Gaiardo A., Crivellari M. et al. // Sens Actuator B Chem. 2019. V. 292. P. 225.
  24. Mochalov L., Logunov A., Vorotyntsev V. // Sep. Purif. Technol. 2021 V. 258. P. 118001.
  25. Mochalov L., Logunov A., Kitnis A. et al. // Sep. Purif. Technol. 2020. V. 238. P.116446.
  26. Logunov A., Mochalov L., Gogova D., Vorotyntsev V. // International Conference on Transparent Optical Networks. 2019. P. 8840331.
  27. Yanyan Z., Ray L. Frost. // J. Raman Spectrosc. 2008. V. 39. P. 1494.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Схематическое изображение плазмохимической установки синтеза тонких пленок β-Ga2O3−GaN

Скачать (259KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Эмиссионный спектр плазмы смеси Ga-H2-O2-N2 при различном содержании азота: a – 1%; b – 3%; c – 7%. Во вставке представлен участок спектра в диапазоне 280–1100 нм

Скачать (203KB)
Метаданные
4. Рис. 3. СЭМ-изображения образцов оксида галлия, легированных нитридом галлия. Верхний ряд шкала – 1 мкм, нижний ряд шкала – 100 нм

Скачать (537KB)
Метаданные
5. Рис. 4. АСМ-изображение поликристаллического образца оксида галлия, легированного нитридом галлия (β-Ga2O3−95%−GaN−5%)

Скачать (193KB)
Метаданные
6. Рис. 5. Спектры КРС пленок оксида галлия, допированных GaN с разной концентрацией легирования

Скачать (216KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».