Influence of the parameters of plasma-induced decomposition of tetramethylsilane on the chemical and phase compositions and particle size of resulting silicon carbide

Autores: Berestenko V.I.¹, Kurkin E.N.², Torbov V.I.¹, Domashnev I.A.²
Afiliações:
1. Institute of Problems of Chemical Physics
2. Scientific Center
Edição: Volume 50, Nº 3 (2016)
Páginas: 221-223
Seção: Short Communications Plasma Chemistry
URL: https://journals.rcsi.science/0018-1439/article/view/156974
DOI: https://doi.org/10.1134/S0018143916030036
ID: 156974

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Silicon Carbide, High Energy Chemistry, Excess Carbon, Hydrogen Flow Rate, Ethylsilane

Institute of Problems of Chemical Physics

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